下载用于滤波和混合的MEMS谐振器的技术资料

文档序号:7134768

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一种操作微机电系统对多个信号进行滤波和混合的方法,所述机电系统包括谐振器、激励电极以及第一检测电极。所述方法包括将第一交流电压信号施加于激励电极,其中产生频率带宽大于且包括谐振器机械频率响应的谐振带宽的激励力,以及其中产生谐振器位移,所述位...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

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