【技术实现步骤摘要】
本技术属于自动晶圆研磨机,涉及一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅,高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅,硅晶棒在经过切割后,会在晶圆片上留下细微的痕迹,所以需要经过自动晶圆研磨机的研磨工序,帮助晶圆片进行抛光。
2、现有自动晶圆研磨机一次可以装载二十五片晶圆,由于没有专门的取放辅助结构,一般是将晶圆周转盒直接放在机体内部,需要打开机罩才能进行备料,这样每次备料比较麻烦,因此,设计出一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构是很有必要的。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构。
2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座,其特征在,还包括旋转摇臂和储存箱,所述旋转摇臂一端和安装座转动连接,所述旋转摇臂另一端和储存箱相连,所述储存箱上具有用于存放晶圆的储存腔,且储存腔的取放口位于上部,所述储存腔内设置有高度调控盘,所述高度调控盘和推杆电机的推杆相连,所述推杆电机的机身安装在储存箱上,所述储存箱上还水平安装有用于放置吸盘的放置台,所述吸盘上安装有把手。
3、所述储存箱上安装有拉手一。
4、所述储存箱上安装有电控按钮,所述推杆电机通过线路与该电控按钮电联。
5、所述放置台上还具有防滑垫。
>6、所述高度调控盘上具有连接耳,所述连接耳和推杆电机的推杆相连。
7、所述高度调控盘上还开设有若干过孔。
8、所述储存箱上通过可拆卸的方式还设置有集料抽屉,所述集料抽屉上具有拉手二。
9、与现有技术相比,本用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构具有该优点:
10、本技术中可在外部就事先将需要研磨的晶圆储存在储存箱内,在需要装载晶圆时,在旋转摇臂的配合下,可将储存箱移动到机体内部所需的位置,通过推杆电机带动高度调控盘上下移动,使储存箱内最上层的晶圆位于合适的位置,且可以利用吸盘对晶圆进行取放。
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1.一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座(1),其特征在,还包括旋转摇臂(2)和储存箱(3),所述旋转摇臂(2)一端和安装座(1)转动连接,所述旋转摇臂(2)另一端和储存箱(3)相连,所述储存箱(3)上具有用于存放晶圆的储存腔(3a),且储存腔(3a)的取放口位于上部,所述储存腔(3a)内设置有高度调控盘(4),所述高度调控盘(4)和推杆电机(9)的推杆相连,所述推杆电机(9)的机身安装在储存箱(3)上,所述储存箱(3)上还水平安装有用于放置吸盘(13)的放置台(8),所述吸盘(13)上安装有把手(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,其特征在于,所述储存箱(3)上安装有拉手一(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,其特征在于,所述储存箱(3)上安装有电控按钮(5),所述推杆电机(9)通过线路与该电控按钮(5)电联。
4.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,其特征在于,所述放置台(8)上还具有防滑垫(7)。
< ...【技术特征摘要】
1.一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,包括用于与自动晶圆研磨机机架相连的安装座(1),其特征在,还包括旋转摇臂(2)和储存箱(3),所述旋转摇臂(2)一端和安装座(1)转动连接,所述旋转摇臂(2)另一端和储存箱(3)相连,所述储存箱(3)上具有用于存放晶圆的储存腔(3a),且储存腔(3a)的取放口位于上部,所述储存腔(3a)内设置有高度调控盘(4),所述高度调控盘(4)和推杆电机(9)的推杆相连,所述推杆电机(9)的机身安装在储存箱(3)上,所述储存箱(3)上还水平安装有用于放置吸盘(13)的放置台(8),所述吸盘(13)上安装有把手(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取放辅助机构,其特征在于,所述储存箱(3)上安装有拉手一(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于自动晶圆研磨机的取...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘烽,郁曹佳,沈新杰,杨琦,
申请(专利权)人:浙江联康沃源电子股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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