【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】 一种硅片生产中的载片器，在载片器的两侧有导轨，其特征在于，在导轨上设置紧贴导轨的高出载片器的防断头部件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】 技术研发人员：刘卓， 申请(专利权)人：刘卓， 类型：发明 国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。