The utility model relates to a clamp, in particular to a low-temperature bonding clamp, belonging to the technical field of low-temperature bonding. According to the technical scheme provided by the utility model, the low-temperature bonding fixture includes a silicon wafer receiver for holding the silicon wafer to be bonded at low temperature, a support seat for supporting the silicon wafer receiver and a container opening and closing link mechanism for controlling the opening and closing state of the silicon wafer receiver. The support seat is installed on the rotating motor through the rotating support plate, and the support can be driven by the rotating motor The seat rotates synchronously with the silicon chip receiver. The utility model has the advantages of compact structure, automatic lamination of silicon wafer after plasma activation in vacuum environment, effective completion of low-temperature bonding process, convenient use, safety and reliability.
【技术实现步骤摘要】
低温键合夹具
本技术涉及一种夹具,尤其是一种低温键合夹具,属于低温键合的
技术介绍
在微纳米
,低温激活键合工艺是一种新型硅硅键合工艺。目前,在进行低温激活键合时,先将硅片放在真空腔体内进行等离子体激活,然后将硅片从真空环境取出在进行键合。然而激活后的硅片在脱离真空环境后,其表面活性会急速下降,这会对键合强度产生致命影响,难以满足实际的工艺需要。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种低温键合夹具,其结构紧凑,能实现硅片在真空环境中进行等离子体激活后自动贴合,能有效完成低温键合工艺,使用方便,安全可靠。按照本技术提供的技术方案,所述低温键合夹具,包括用于收容待低温键合硅片的硅片收容器、用于支撑所述硅片收容器的支撑座以及用于控制硅片收容器开闭状态的容器开闭连杆机构,所述支撑座通过旋转支撑板安装于旋转电机上,通过旋转电机能驱动支撑座与硅片收容器同步转动。所述容器开闭连杆机构包括位于硅片收容器下方的拉杆以及位于所述拉杆一端部的连接杆,在所述连接杆的端部均设置连接臂,所述连接臂的一端与连接杆铰接,连接臂的另一端与托盘连接头的一端铰接,所述两托盘连接头的另一端与硅片收容器适配连接,通过拉杆带动连接杆运动时,通过连接臂、托盘连接头与硅片收容器配合能使得硅片收容器处于张开状态或闭合状态。所述硅片收容器包括第一硅片托盘以及能与所述第一硅片托盘适配连接的第二硅片托盘,利用第一硅片托盘、第二硅片托盘能收容硅片,第一硅片托盘、第二硅片托盘能分别与一托盘连接 ...
【技术保护点】
1.一种低温键合夹具,其特征是:包括用于收容待低温键合硅片(2)的硅片收容器、用于支撑所述硅片收容器的支撑座(6)以及用于控制硅片收容器开闭状态的容器开闭连杆机构,所述支撑座(6)通过旋转支撑板(11)安装于旋转电机(12)上,通过旋转电机(12)能驱动支撑座(6)与硅片收容器同步转动。/n
【技术特征摘要】
1.一种低温键合夹具,其特征是:包括用于收容待低温键合硅片(2)的硅片收容器、用于支撑所述硅片收容器的支撑座(6)以及用于控制硅片收容器开闭状态的容器开闭连杆机构,所述支撑座(6)通过旋转支撑板(11)安装于旋转电机(12)上,通过旋转电机(12)能驱动支撑座(6)与硅片收容器同步转动。
2.根据权利要求1所述的低温键合夹具,其特征是:所述容器开闭连杆机构包括位于硅片收容器下方的拉杆(10)以及位于所述拉杆(10)一端部的连接杆(9),在所述连接杆(9)的端部均设置连接臂(8),所述连接臂(8)的一端与连接杆(9)铰接,连接臂(8)的另一端与托盘连接头(13)的一端铰接,所述托盘连接头(13)的另一端与硅片收容器适配连接,通过拉杆(10)带动连接杆(9)运动时,通过连接臂(8)、托盘连接头(13)与硅片收容器配合能使得硅片收容器处于张开状态或闭合状态。
3.根据权利要求2所述的低温键合夹具,其特征是:所述硅片收容器包括第一硅片托盘(1)以及能与所述第一硅片托盘(1)适配连接的第二硅片托盘(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王云翔,冒薇,段仲伟,马冬月,许爱玲,李晓帅,
申请(专利权)人:苏州美图半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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