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本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种低温键合夹具，属于低温键合的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述低温键合夹具，包括用于收容待低温键合硅片的硅片收容器、用于支撑所述硅片收容器的支撑座以及用于控制硅片收容器开闭状态的容器开闭连杆机构，...
该专利属于苏州美图半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州美图半导体技术有限公司授权不得商用。

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