有机器件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种有机器件(1)的制造方法，该制造方法包括：第一形成工序(S02、S03)，在支撑基板(3)上形成第一电极层(5)及至少一层的有机功能层(7)，制造带有有机功能层的支撑基板(10)；卷绕工序(S05)，在有机功能层(7)上配置保护膜(13)，卷绕带有有机功能层的支撑基板(10)及保护膜(13)；剥离工序(S06)，送出经过卷绕的带有有机功能层的支撑基板(10)及保护膜(13)，剥离保护膜(13)；加热工序(S07)，在剥离工序(S06)后，加热带有有机功能层的支撑基板(10)；以及第二形成工序(S08)，在加热工序(S07)后，在带有有机功能层的支撑基板(10)上形成选自第一形成工序(S03)中没有形成的有机功能层(7)以及第二电极层(9)中的至少一层。

Manufacturing Methods of Organic Devices

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机器件的制造方法
本专利技术涉及一种有机器件的制造方法。
技术介绍
作为以往的有机器件的制造方法，例如已知有专利文献1中记载的方法。专利文献1中记载的有机器件的制造方法包括：在具有挠曲性的支撑基板上形成阳极层的工序、在阳极层上形成有机功能层的工序以及在有机功能层上形成阴极层的工序。专利文献1的有机器件的制造方法中，在形成各种层的任意一种后卷绕支撑基板时，在该层上配置保护膜，将支撑基板与保护膜一起卷绕。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006－294536号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题如上所述，有机器件的制造方法中，例如在有机功能层上配置保护膜，由此实现对有机功能层与支撑基板接触而损伤、或者污垢及尘土等接触有机功能层的抑制。此处，在保护膜中，通常含有水分或从保护膜中渗出的单体、低聚物、有机溶剂等成分(以下称作水分等。)。因此，在将配置有保护膜的支撑基板卷绕后保管的情况下，保护膜中所含的水分等会接触(渗透)有机功能层。若在有机功能层中含有水分等，例如会产生在有机功能层的功能发挥区域(有机电致发光的情况下是发光区域)中非功能发挥区域扩大等不佳状况。由此，有机器件的特性劣化，有机器件的可靠性有可能降低。本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种可以实现有机器件的可靠性的提高的有机器件的制造方法。用于解决问题的方法本专利技术的一个方面的有机器件的制造方法是在具有挠曲性的支撑基板的一个主面上依次配置有第一电极层、单层或多层的有机功能层及第二电极层的有机器件的制造方法，包括：第一形成工序，在支撑基板上形成第一电极层及至少一层的有机功能层，制造带有有机功能层的支撑基板；卷绕工序，在第一形成工序后，在有机功能层上配置保护膜，卷绕带有有机功能层的支撑基板及保护膜；剥离工序，将经过卷绕的带有有机功能层的支撑基板及保护膜送出，在形成选自构成多层的有机功能层的层当中的第一形成工序中没有形成的有机功能层以及第二电极层中的至少一层前剥离保护膜；加热工序，在剥离工序后、且在形成选自构成多层的有机功能层的层当中的第一形成工序中没有形成的有机功能层以及第二电极层中的至少一层前，加热带有有机功能层的支撑基板；以及第二形成工序，在加热工序后，在带有有机功能层的支撑基板上，形成选自构成多层的有机功能层的层当中的第一形成工序中没有形成的有机功能层以及第二电极层中的至少一层。本专利技术的一个方面的有机器件的制造方法中，在剥离保护膜后、且在形成选自构成多层的有机功能层的层当中的第一形成工序中没有形成的有机功能层以及第二电极层中的至少一层前，加热支撑基板。由此，即使在与支撑基板同时卷绕的保护膜中含有水分等、该水分等接触(渗透)有机功能层的情况下，也可以利用加热工序除去有机功能层的水分等。因而，有机器件的制造方法中，可以在利用保护膜保护有机功能层的同时，抑制由有机功能层的水分等引起的有机器件的特性劣化。其结果是，有机器件的制造方法中，可以实现有机器件的可靠性的提高。在一个实施方式中，在第二形成工序中，可以利用真空蒸镀法或溅射法形成第二电极层。由此，可以在不暴露于大气中的状态下形成第二电极层。因而，有机器件的制造方法中，在形成第二电极层的第二形成工序中，可以抑制水分等接触有机功能层及第二电极层。在一个实施方式中，在加热工序中，可以向带有有机功能层的支撑基板照射红外线。由此，有机器件的制造方法中，可以除去有机功能层的水分等。在一个实施方式中，在加热工序中，可以仅加热带有有机功能层的支撑基板的一个主面。如此所述，有机器件的制造方法中，由于对形成有有机功能层的带有有机功能层的支撑基板的一个主面进行加热，因此可以更加有效地除去有机功能层的水分等。在一个实施方式中，在加热工序中，可以在非活性气体、真空、或干燥空气的气氛下加热带有有机功能层的支撑基板。由此，有机器件的制造方法中，可以在加热工序中抑制水分等接触有机功能层。在一个实施方式中，保护膜可以具有基材及设于该基材的粘合粘接部，且在卷绕工序中以使粘合粘接部不与有机功能层重叠的方式，将保护膜配置于有机功能层上。由此，有机器件的制造方法中，在将带有有机功能层的支撑基板与保护膜一起卷绕时，可以利用粘合粘接部抑制保护膜错移。另外，有机器件的制造方法中，由于在有机功能层上没有配置粘合粘接部，因此在剥离保护膜时，可以避免因有机功能层的表面剥离等而使有机功能层破损。在一个实施方式中，保护膜可以具有基材及设于该基材的粘合粘接部，且在卷绕工序中以使粘合粘接部不与有机功能层的功能发挥区域重叠的方式，将保护膜配置于有机功能层上。由此，有机器件的制造方法中，在将带有有机功能层的支撑基板与保护膜一起卷绕时，可以利用粘合粘接部抑制保护膜错移。另外，有机器件的制造方法中，由于以不与有机功能层的功能发挥区域重叠的方式配置粘合粘接部，因此即使在有机功能层上的一部分配置粘合粘接部，在将保护膜剥离时有机功能层的表面的一部分发生剥离，也不会对功能发挥的品质造成影响。在一个实施方式中，可以在第一形成工序中在第一电极层上涂布有机材料并使之干燥，由此形成有机功能层。在像这样利用涂布法形成有机功能层的情况下，有机功能层特别易于受到水分等的影响。因此，在利用涂布法形成有机功能层的情况下，如下的上述制造方法特别有效，即，在剥离保护膜后，在形成构成有机功能层的多个层当中的其余的层或第二电极层前，加热带有有机功能层的支撑基板的上述制造方法。在一个实施方式中，从加热工序到第二形成工序为止，可以在真空、非活性气体或干燥空气的气氛下，运送带有有机功能层的支撑基板。由此，有机器件的制造方法中，在带有有机功能层的支撑基板被从加热工序运送到第二形成工序的期间，有机功能层不暴露于大气中。因此，有机器件的制造方法中，可以抑制水分等接触有机功能层。专利技术效果根据本专利技术的一个方面，可以实现有机器件的可靠性的提高。附图说明图1是利用第一实施方式的有机器件的制造方法制造的有机EL元件的剖视图。图2是示意性地表示利用卷对卷方式的有机EL元件的制造方法的图。图3是示意性地表示利用卷对卷方式的有机EL元件的制造方法的图。图4是表示有机EL元件的制造方法的图。图5是利用第二实施方式的有机器件的制造方法制造的有机EL元件的剖视图。图6是表示另一实施方式的有机EL元件的制造方法的图。图7是表示另一实施方式的有机EL元件的制造方法的图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的合适的实施方式进行详细说明。需要说明的是，在附图的说明中对同一或相应要素使用同一符号，省略重复的说明。(第一实施方式)如图1所示，利用本实施方式的有机器件的制造方法制造的有机EL元件(有机器件)1具备：支撑基板3、阳极层(第一电极层)5、有机功能层7、阴极层(第二电极层)9和密封构件11。[支撑基板]支撑基板3由对可见光(波长400nm～800nm的光)具有透射性的树脂构成。支撑基板3是膜状的基板(柔性基板、具有挠曲性的基板)。支撑基板3的厚度例如为30μm以上且500μm以下。在支撑基板3为树脂的情况下，从卷对卷方式的连续进行时的基板晃动(ヨレ)、褶皱以及伸长的观点出发，优选为45μm以上，从挠曲性的观点出发优选为125μm以下。支撑基板3例如为塑料膜。支撑基板3的材料例如包括聚醚砜(PES)；聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机器件的制造方法，是在具有挠曲性的支撑基板的一个主面上依次配置有第一电极层、单层或多层的有机功能层及第二电极层的有机器件的制造方法，所述制造方法包括：第一形成工序，在所述支撑基板上形成所述第一电极层及至少一层的所述有机功能层，制造带有有机功能层的支撑基板；卷绕工序，在所述第一形成工序后，在所述有机功能层上配置保护膜，卷绕所述带有有机功能层的支撑基板及所述保护膜；剥离工序，送出经过卷绕的所述带有有机功能层的支撑基板及所述保护膜，在形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层前剥离所述保护膜；加热工序，在所述剥离工序后、且在形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层前，加热所述带有有机功能层的支撑基板；以及第二形成工序，在所述加热工序后，在所述带有有机功能层的支撑基板上，形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.10 JP 2017-0018811.一种有机器件的制造方法，是在具有挠曲性的支撑基板的一个主面上依次配置有第一电极层、单层或多层的有机功能层及第二电极层的有机器件的制造方法，所述制造方法包括：第一形成工序，在所述支撑基板上形成所述第一电极层及至少一层的所述有机功能层，制造带有有机功能层的支撑基板；卷绕工序，在所述第一形成工序后，在所述有机功能层上配置保护膜，卷绕所述带有有机功能层的支撑基板及所述保护膜；剥离工序，送出经过卷绕的所述带有有机功能层的支撑基板及所述保护膜，在形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层前剥离所述保护膜；加热工序，在所述剥离工序后、且在形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层前，加热所述带有有机功能层的支撑基板；以及第二形成工序，在所述加热工序后，在所述带有有机功能层的支撑基板上，形成选自构成多层的所述有机功能层的层当中的所述第一形成工序中没有形成的有机功能层以及所述第二电极层中的至少一层。2.根据权利要求1所述的有机器件的制造方法，其中，所述第二形成工序中，利用真空蒸镀法或溅射法形成所述第二电...

【专利技术属性】
技术研发人员：森岛进一，岸川英司，下河原匡哉，赤对真人，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP