液处理装置和液处理装置的示教方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供液处理装置和液处理装置的示教方法，在使进行液处理用的喷嘴的卡合部与喷嘴搬送体的被卡合部卡合来搬送喷嘴的液处理装置中，能够容易且准确地设定用于形成卡合的被卡合部的位置。装置构成为，具备：摄像部，其设置于喷嘴搬送体，以分别检测喷嘴搬送体的被卡合部分别位于第一高度和第二高度时的被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，并且所述摄像部在被卡合部分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；控制部，其基于用于在被卡合部与卡合部之间形成卡合的第三高度，求出用于形成所述卡合的横向上的第三位置，并且输出控制信号以在第三高度以及第三位置形成卡合。

Teaching method of liquid treatment unit and liquid treatment unit

【技术实现步骤摘要】
液处理装置和液处理装置的示教方法
本专利技术涉及一种向基板供给处理液来进行处理的液处理装置和该液处理装置的示教方法。
技术介绍
在半导体装置的制造工序中，进行对作为基板的半导体晶圆(以下记载为晶圆)供给处理液的液处理。关于该液处理，例如存在向晶圆供给抗蚀剂等涂布液来形成涂布膜的处理。形成该涂布膜的装置有时构成为：喷嘴用臂从多个喷嘴进行待机的待机部选择一个喷嘴并且保持该喷嘴，将该喷嘴搬送到晶圆上方来进行处理。例如，将设置于臂侧的突起插入到设置于喷嘴侧的凹部中来使该突起与凹部卡合，由此进行该喷嘴的保持。喷嘴用臂构成为，除了沿横向移动以外，还能够进行垂直移动以进行该卡合。例如，在专利文献1、2中记载有这样的涂布膜形成装置。在对晶圆进行处理之前，进行以下位置调整作业(示教)：决定相对于各喷嘴的凹部插入突起的位置(插入位置)，并且将该位置存储到设置于装置的控制部。而且，在进行位置调整作业后臂接受喷嘴以对晶圆进行处理时，在调整臂在横向上的位置之后，使臂下降来使突起移动到所决定的插入位置。例如，有时由操作员手动地使臂动作来调整上述的插入位置。另外，需要在喷嘴被臂保持时抑制该喷嘴的摆动，以向晶圆的规定位置喷出处理液来进行准确的处理。因此，需要减小将上述的突起插入凹部时的、形成于突起与凹部之间的空间。而且还需要以防止在将突起插入凹部时产生摩擦的方式设定上述的插入位置。具体地说，寻求以在将突起插入凹部时在该突起的侧壁的周围形成空间的方式设定插入位置。根据这样的情况，能够设定为插入位置的适当的范围非常小。因而，当基于操作员的视觉和感觉来进行位置调整作业时，导致需要长的作业时间。另外，还具有以下担忧：操作员之间的调整精度产生偏差，由此产生晶圆的不良，使得由晶圆制成的产品质量下降。并且，装置持续动作而对装置的各部施加力、振动，由此有时向凹部插入凸部时的位置随时间发生变化，需要重复进行上述的位置调整作业，因此操作负担大。在上述的专利文献1、2中未示出解决这样的问题的方法。专利文献1：日本特开2002-198304号公报专利文献2：日本特开2012-23071号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是基于这样的情况而完成的，其目的在于提供如下一种技术：关于使进行液处理用的喷嘴的卡合部与喷嘴搬送体的被卡合部卡合来搬送喷嘴的液处理装置，能够容易且准确地设定用于形成卡合的被卡合部的位置。用于解决问题的方案本专利技术的液处理装置的特征在于，具备：喷嘴，其具备第一卡合部，并且向被所述基板保持部保持的基板喷出处理液来进行处理；喷嘴用待机区域，使所述喷嘴在该喷嘴用待机区域进行待机；喷嘴搬送体，其具备被卡合部，该被卡合部与所述第一卡合部之间形成第一卡合以装卸自如地保持所述喷嘴，所述喷嘴搬送体进行升降移动以及横向移动，以在所述喷嘴用待机区域与所述基板上的处理位置之间搬送所述喷嘴；摄像部，其拍摄分别位于第一高度和第二高度的所述被卡合部来获取图像数据，以分别检测所述被卡合部分别位于所述第一高度和所述第二高度时的该被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，或者，所述摄像部设置于所述喷嘴搬送体并且用于在所述被卡合部分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于在所述喷嘴用待机区域进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；高度检测机构，其用以检测用于形成所述第一卡合的所述被卡合部的第三高度；以及控制部，其基于所述图像数据和所述第三高度求出用于形成所述第一卡合的横向上的第三位置，并且输出控制信号以在该第三高度以及第三位置形成卡合。本专利技术的液处理装置的示教方法的特征在于，所述液处理装置具备：喷嘴，其具备第一卡合部，并且向被所述基板保持部保持的基板喷出处理液来进行处理；喷嘴用待机区域，使所述喷嘴在该喷嘴用待机区域进行待机；喷嘴搬送体，其具备被卡合部，所述被卡合部与所述第一卡合部之间形成第一卡合以装卸自如地保持所述喷嘴，所述喷嘴搬送体进行升降移动以及横向移动，以在所述喷嘴用待机区域与所述基板上的处理位置之间搬送所述喷嘴；以及控制部，其输出控制信号，以对所述基板进行所述处理，在所述示教方法中，所述液处理装置检测形成所述第一卡合的被卡合部的位置并将该位置存储于所述控制部，所述示教方法包括以下工序：利用设置于所述液处理装置的摄像部拍摄分别位于第一高度和第二高度的所述被卡合部来获取图像数据，以分别检测所述被卡合部分别位于第一高度和第二高度时的该被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，或者，在所述被卡合部分别位于第一高度和第二高度时利用设置于所述喷嘴搬送体的摄像部拍摄设置于在所述喷嘴用待机区域进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；检测用于形成所述第一卡合的所述被卡合部的第三高度；以及基于所述图像数据和所述第三高度求出用于形成所述第一卡合的所述被卡合部在横向上的第三位置，并且将该第三位置存储于所述控制部。专利技术的效果根据本专利技术，利用摄像部拍摄位于不同的高度的喷嘴搬送体的被卡合部，或者，利用设置于喷嘴搬送体的摄像部从不同的高度拍摄喷嘴的目标物来获取图像数据。装置构成为，能够基于该图像数据和由高度检测机构检测出的用于与喷嘴的卡合部之间形成卡合的上述被卡合部的高度求出用于形成卡合的横向上的位置。因而，能够容易且准确地设定用于形成卡合的被卡合部的位置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式所涉及的抗蚀剂涂布装置的立体图。图2是所述抗蚀剂涂布装置的俯视图。图3是所述抗蚀剂涂布装置的纵剖侧视图。图4是表示所述抗蚀剂涂布装置的喷嘴的凹部和喷嘴搬送臂的垂直突起的纵剖侧视图。图5是所述搬送臂和所述喷嘴的立体图。图6是所述抗蚀剂涂布装置的概要结构图。图7是分别装设有治具的状态的所述搬送臂和所述喷嘴的立体图。图8是带摄像机的治具的立体图。图9是带摄像机的治具的仰视图。图10是所述喷嘴和带摄像目标的治具的立体图。图11是所述带摄像目标的治具的纵剖侧视图。图12是所述带摄像目标的治具的俯视图。图13是设置于所述抗蚀剂涂布装置的控制部的结构图。图14是表示由所述抗蚀剂涂布装置进行的位置调整作业的过程的说明图。图15是表示在进行所述位置调整作业时获取的图像数据的说明图。图16是表示在进行所述位置调整作业时获取的图像数据的说明图。图17是表示为了决定插入位置而求出的各坐标的位置关系的说明图。图18是表示喷嘴的凹部和喷嘴搬送臂的垂直突起的侧视图。图19是表示带摄像目标的治具的变形例的纵剖侧视图。图20是表示带摄像目标的治具的变形例的纵剖侧视图。图21是设置于本专利技术的第二实施方式所涉及的抗蚀剂涂布装置的喷嘴和喷嘴搬送臂的立体图。图22是设置于所述第二实施方式的抗蚀剂涂布装置的控制部的结构图。图23是表示关于获取的图像进行的处理的一例的说明图。图24是由第二实施方式所涉及的抗蚀剂涂布装置进行的处理的流程图。图25是表示喷嘴和喷嘴搬送臂的其它结构例的立体图。图26是表示摄像目标的其它例子的俯视图。图27是表示喷嘴和喷嘴搬送臂的另一其它结构例的立体图。图28是表示摄像机的其它配置例的俯视图。附图标记说明W：晶圆W；1、8：抗蚀剂涂布装置；10、80：控制部；12：旋转卡盘；21A～21D：喷嘴；24：垂直凹部；3：摄像机移动机构；33：喷嘴搬送臂；34：圆柱；39：接触式传感器；4：带摄像机的治具；43：摄像机；5：带摄像目标的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液处理装置，其特征在于，具备：喷嘴，其具备第一卡合部，并且向被基板保持部保持的基板喷出处理液来进行处理；喷嘴用待机区域，使所述喷嘴在该喷嘴用待机区域进行待机；喷嘴搬送体，其具备被卡合部，该被卡合部与所述第一卡合部之间形成第一卡合以装卸自如地保持所述喷嘴，所述喷嘴搬送体进行升降移动以及横向移动，以在所述喷嘴用待机区域与所述基板上的处理位置之间搬送所述喷嘴；摄像部，其拍摄分别位于第一高度和第二高度的所述被卡合部来获取图像数据，以分别检测所述被卡合部分别位于所述第一高度和所述第二高度时的该被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，或者，所述摄像部设置于所述喷嘴搬送体并且用于在所述被卡合部分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于在所述喷嘴用待机区域进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；高度检测机构，其用以检测用于形成所述第一卡合的所述被卡合部的第三高度；以及控制部，其基于所述图像数据和所述第三高度求出用于形成所述第一卡合的所述被卡合部在横向上的第三位置，并且输出控制信号以在该第三高度以及第三位置形成卡合。

【技术特征摘要】
2018.02.02 JP 2018-0174321.一种液处理装置，其特征在于，具备：喷嘴，其具备第一卡合部，并且向被基板保持部保持的基板喷出处理液来进行处理；喷嘴用待机区域，使所述喷嘴在该喷嘴用待机区域进行待机；喷嘴搬送体，其具备被卡合部，该被卡合部与所述第一卡合部之间形成第一卡合以装卸自如地保持所述喷嘴，所述喷嘴搬送体进行升降移动以及横向移动，以在所述喷嘴用待机区域与所述基板上的处理位置之间搬送所述喷嘴；摄像部，其拍摄分别位于第一高度和第二高度的所述被卡合部来获取图像数据，以分别检测所述被卡合部分别位于所述第一高度和所述第二高度时的该被卡合部在横向上的第一位置和第二位置，或者，所述摄像部设置于所述喷嘴搬送体并且用于在所述被卡合部分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于在所述喷嘴用待机区域进行待机的所述喷嘴的目标物来获取图像数据；高度检测机构，其用以检测用于形成所述第一卡合的所述被卡合部的第三高度；以及控制部，其基于所述图像数据和所述第三高度求出用于形成所述第一卡合的所述被卡合部在横向上的第三位置，并且输出控制信号以在该第三高度以及第三位置形成卡合。2.根据权利要求1所述的液处理装置，其特征在于，所述摄像部设置于所述喷嘴搬送体且在该喷嘴搬送体分别位于第一高度和第二高度时拍摄设置于在所述喷嘴用待机区域进行待机的喷嘴的目标物。3.根据权利要求2所述的液处理装置，其特征在于，所述摄像部具备第二卡合部，所述第二卡合部与所述被卡合部之间形成第二卡合，以使所述喷嘴搬送体装卸自如地保持所述摄像部，所述液处理装置设置有摄像部用待机区域，在所述喷嘴搬送体保持所述喷嘴时，使所述摄像部在所述摄像部用待机区域进行待机。4.根据权利要求2所述的液处理装置，其特征在于，所述摄像部设置于所述喷嘴搬送体。5.根据权利要求4所述的液处理装置，其特征在于，所述控制部在求出所述第三位置之后，基于由所述摄像部拍摄所述目标物而得到的图像数据，来判定是否重新求出所述第三高度和所述第三位置。6.根据权利要求5所述的液处理装置，其特征在于，所述控制部基于多次求出的第三高度和第三位置的位移的历史记录，来判定所述液处理装置有无异常。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的液处理装置，其特征在于，所述第一卡合部为上侧开口的凹部，所述目标物设置于该凹部。8.根据权利要求7所述的液处理装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：桾本裕一朗，水篠真一，羽山隆史，饭田成昭，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP