数据处理方法、数据处理装置、数据处理系统及记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。处理多个单位处理数据的数据处理方法包括：基准数据变更步骤(S300)，变更基准数据(是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据)；以及基准数据扩展步骤(S310～S340)，将通过基准数据变更步骤(S300)变更后的基准数据即新基准数据扩展到除了变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。

Data Processing Method, Data Processing Device, Data Processing System and Recording Media

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法、数据处理装置、数据处理系统及记录介质
本专利技术涉及数字数据处理，尤其涉及一种处理时序数据的方法。
技术介绍
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并分析将测定结果按发生顺序排列得到的时序数据的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且通过分析该异常的时序数据，来确定异常发生目标或异常的原因。此外，近年来，计算机的数据处理能力显著提高。因此，即使数据量非常大，在很多情况下也可以在实际可行的时间内获得需要的结果。由此，时序数据的分析逐渐普及。例如，半导体制造装置在各种工艺中获得时序数据。因此，在半导体制造装置的领域也进行时序数据的分析或在画面上显示时序数据等。另外，关于本专利技术，日本的特开2017-83985号公报公开了一种以使用者容易分析的方式显示时序数据的时序数据处理装置的专利技术。在该时序数据处理装置中，多个时序数据被分为多个组，计算每个组的异常度及各组内的时序数据的异常度。然后，将基于异常度对组或者时序数据进行排序的结果显示在显示部中。
技术实现思路
作为半导体制造装置的一种，清洗装置等基板处理装置通常具有多个腔室(处理室)。在这些多个腔室中执行了相同规程的情况下，优选在该多个腔室中得到相同的产物。因此，优选一个基板处理装置所包括的多个腔室具有相同的处理性能。然而，实际上多个腔室间的处理性能具有差异。因此，有可能在某一腔室内正常进行对基板的处理时在其他腔室内并未正常地进行同样的处理。因此，在基板处理装置领域，为了实现早期发现异常、预防异常，如上所述，逐渐对于在各种工艺中得到的时序数据进行分析。另外，为了判断同样变化的多个时序数据中包括的各时序数据是否异常，需要将作为评价对象的各时序数据与具有理想的时序的值(数据值)的时序数据进行比较。例如，考虑使用由多个时序数据的平均值构成的时序数据作为具有理想的时序的值的时序数据。然而，在作为计算平均值的基础的多个时序数据中包括具有与其他值相差甚远的值的数据或大量具有异常的值的数据的情况下，计算出的平均值不一定是理想的值，因此不能高精度地检测异常。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。第1专利技术是一种数据处理方法，一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：基准数据变更步骤，变更基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及基准数据扩展步骤，将通过所述基准数据变更步骤变更后的基准数据即新基准数据，扩展到除了在所述基准数据变更步骤中变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。第2专利技术根据第1专利技术，其特征在于，将一个单位要素设为主单位要素并且将除了所述主单位要素以外的单位要素设为从单位要素，在所述基准数据变更步骤中，变更所述主单位要素的基准数据，在所述基准数据扩展步骤中，将所述新基准数据扩展到所述从单位要素中。第3专利技术根据第2专利技术，其特征在于，所述基准数据扩展步骤包括：基准数据上传步骤，从所述主单位要素向用于管理所述基准数据的扩展的扩展管理部发送所述新基准数据，以及基准数据下载步骤，从所述扩展管理部向所述从单位要素发送在所述基准数据上传步骤中发送给所述扩展管理部的新基准数据。第4专利技术根据第2专利技术，其特征在于，所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理，针对每个规程设定所述主单位要素及所述从单位要素。第5专利技术根据第4专利技术，其特征在于，所述基准数据扩展步骤包括：基准数据上传步骤，从所述主单位要素向用于管理所述基准数据的扩展的扩展管理部发送所述新基准数据以及表示变更了基准数据的变更通知，扩展目标确定步骤，在所述扩展管理部中，基于所述新基准数据及所述变更通知来确定基准数据发生变更的规程，并将针对所确定出的规程而被设为从单位要素的单位要素确定为所述新基准数据的扩展目标，基准数据下载步骤，从所述扩展管理部向在所述扩展目标确定步骤中被确定为扩展目标的单位要素发送在所述基准数据上传步骤中被发送给所述扩展管理部的新基准数据以及用于指示基准数据的更新的更新指示通知，以及基准数据更新步骤，在所述从单位要素中，基于所述更新指示通知将在所述扩展目标确定步骤中所确定出的规程的基准数据更新为所述新基准数据。第6专利技术根据第1～第5中任一项专利技术，其特征在于，所述数据处理方法还包括单位处理数据评价步骤，在所述单位处理数据评价步骤中，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据，计算作为所述评价对象的单位处理数据的评价值，在所述基准数据变更步骤中，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值变更所述基准数据。第7专利技术根据第1～第6中任一项专利技术，其特征在于，所述单位要素是一个基板处理装置。第8专利技术根据第1～第6中任一项专利技术，其特征在于，所述单位要素是包括在基板处理装置中用于处理基板的一个处理单元的结构体。第9专利技术是一种数据处理方法，应用于由多个单位要素构成的数据处理系统中，所述数据处理系统将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理系统具有：设置在每个单位要素中的第一基准数据储存部，储存基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，由所有单位要素共用的第二基准数据储存部，储存所述基准数据，以及扩展管理部，用于管理所述基准数据的扩展；所述数据处理方法包括：构成信息发送步骤，在追加了单位要素时，从所追加的单位要素即新单位要素向所述扩展管理部发送所述新单位要素的构成信息，基准数据获取步骤，在所述扩展管理部中，基于所述构成信息从所述第二基准数据储存部获取应扩展到所述新单位要素中的基准数据，基准数据发送步骤，从所述扩展管理部向所述新单位要素发送在所述基准数据获取步骤中获取的基准数据，以及基准数据储存步骤，在所述新单位要素中，将在所述基准数据发送步骤中发送来的基准数据储存在所述第一基准数据储存部中。第10专利技术是一种数据处理装置，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：设置在每个单位要素中的基准数据储存部，储存基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及基准数据扩展部，将在一个单位要素的基准数据储存部中储存的基准数据扩展到其他单位要素中。第11专利技术是一种数据处理系统，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理系统具有：设置在每个单位要素中的基准数据储存部，储存基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及基准数据扩展部，将在一个单位要素的基准数据储存部中储存的基准数据扩展到其他单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：基准数据变更步骤，变更基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及基准数据扩展步骤，将通过所述基准数据变更步骤变更后的基准数据即新基准数据，扩展到除了在所述基准数据变更步骤中变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。

【技术特征摘要】
2018.02.08 JP 2018-0207981.一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：基准数据变更步骤，变更基准数据，所述基准数据是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及基准数据扩展步骤，将通过所述基准数据变更步骤变更后的基准数据即新基准数据，扩展到除了在所述基准数据变更步骤中变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，将一个单位要素设为主单位要素并且将除了所述主单位要素以外的单位要素设为从单位要素，在所述基准数据变更步骤中，变更所述主单位要素的基准数据，在所述基准数据扩展步骤中，将所述新基准数据扩展到所述从单位要素中。3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，所述基准数据扩展步骤包括：基准数据上传步骤，从所述主单位要素向用于管理所述基准数据的扩展的扩展管理部发送所述新基准数据，以及基准数据下载步骤，从所述扩展管理部向所述从单位要素发送在所述基准数据上传步骤中发送给所述扩展管理部的新基准数据。4.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理，针对每个规程设定所述主单位要素及所述从单位要素。5.根据权利要求4所述的数据处理方法，其特征在于，所述基准数据扩展步骤包括：基准数据上传步骤，从所述主单位要素向用于管理所述基准数据的扩展的扩展管理部发送所述新基准数据以及表示变更了基准数据的变更通知，扩展目标确定步骤，在所述扩展管理部中，基于所述新基准数据及所述变更通知来确定基准数据发生变更的规程，并将针对所确定出的规程而被设为从单位要素的单位要素确定为所述新基准数据的扩展目标，基准数据下载步骤，从所述扩展管理部向在所述扩展目标确定步骤中被确定为扩展目标的单位要素发送在所述基准数据上传步骤中被发送给所述扩展管理部的新基准数据以及用于指示基准数据的更新的更新指示通知，以及基准数据更新步骤，在所述从单位要素中，基于所述更新指示通知将在所述扩展目标确定步骤中所确定出的规程的基准数据更新为所述新基准数据。6.根据权利要求1～5中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，所述数据处理方法还包括单位处理数据评价步骤，在所述单位处理数据评价步骤中，基于作为评价对象的单位处理数据与所述基准数据，计算作为所述评价对象的单位处理数据的评价值，在所述基准数据变更步骤中，基于在所述单位处理数据评价步骤中计算出的评价值变更所述基准数据。7.根据权利要求1～6中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，所述单位要素是一个基板处理装置。8.根据权利要求1～6中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，所述单位要素是包括在基板处理装置中用于处理基板的一个处理单元的结构体。9.一种数据处理方法，应用于由多个单位要素构成的数据处理系统中，所述数据处理系统将在单位处理中得到的多个时序数据作为...

【专利技术属性】
技术研发人员：犹原英司，池内崇，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP