用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法制造方法及图纸

实施方式提供了用于改进的装载端口的系统、装置及方法，改进的装载端口包括背板组件，所述背板组件支撑对接拖盘及基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在校平块与背板之间。锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至校平块；螺纹块，耦接至背板；以及调整螺栓，耦接至锥形孔块及螺纹块。亦揭示了许多额外方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法相关申请本案要求享有于2016年11月10日提交的名称为“SYSTEMS,APPARATUS,ANDMETHODSFORANIMPROVEDLOADPORTBACKPLANE(用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法)”的美国非临时专利申请案第15/348,964号(代理人案号24538-01/USA)的优先权，在此出于所有目的通过引用将该案的全文并入本文中。
本申请案涉及电子器件制造系统，且更特别地涉及用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法。
技术介绍
设备前端模块(EFEM)，有时称为工厂界面(FI)，提供了用于将基板从载具传送至处理工具的非反应性环境。此举通过尽可能地密封EFEM的内部容积且将与基板材料大致不反应的气体(诸如氮)注入内部容积来达成。非反应性气体迫使任何反应性气体(诸如氧)离开EFEM。用于对接基板载具的装载端口通常附接至EFEM的前面。装载端口包括理想上抵靠EFEM的所述面而密封的背板。然而，抵靠EFEM而可靠地密封常规背板可为困难的。因此，需要用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法。
技术实现思路
在一些实施方式中，提供一种装载端口系统。所述系统包括背板组件，所述背板组件支撑对接拖盘及基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在校平块与背板之间。所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至校平块；螺纹块，耦接至背板；以及调整螺栓，耦接至锥形孔块及螺纹块。在一些其他实施方式中，提供一种背板组件。所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在校平块与背板之间。所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至校平块；螺纹块，耦接至背板；以及调整螺栓，耦接至锥形孔块及螺纹块。在另外的其他实施方式中，提供一种将装载端口背板密封至设备前端模块(EFEM)的方法。所述方法包括以下步骤：提供包括背板组件的装载端口，所述背板组件具有校平块，所述校平块经由锥形孔调整组件和狭缝调整组件而耦接至所述装载端口的背板；将校平块耦接至EFEM；以及旋转锥形孔调整组件中的校平调整螺栓以调整背板的滚转。实施方式的又一些特征、方面及优点将从以下详细描述、随附权利要求书及附图通过示出数个示例实施方式及实现方式而变得更加完全清楚，这些示例实施方式及实现方式包括预期用于执行实施方式的最佳模式。实施方式亦可有其他及不同的应用，且在不脱离所揭示的实施方式的范围的情况下，可在多个方面对实施方式的若干细节进行修改。据此，附图及描述应视为说明性的而非限制性的。附图并非必须按照比例绘制。说明书意欲覆盖落入权利要求的范围中的所有修改、等同物及替代物。附图说明图1为根据一些实施方式描绘电子器件处理系统的示例的方块图。图2A为根据一些实施方式描绘示例装载端口的前等距视图。图2B为根据一些实施方式描绘示例装载端口的后等距视图。图3为根据一些实施方式描绘示例装载端口背板组件的后平面视图。图4A为根据一些实施方式描绘第一背板调整机构的截面视图。图4B为根据一些实施方式描绘第二背板调整机构的截面视图。图5为根据一些实施方式示出示例方法的流程图。具体实施方式本文描述的实施方式提供用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法，所述系统、装置及方法允许将装载端口可靠地密封至电子器件制造系统的设备前端模块(EFEM)。EFEM通常包括处于封闭的、正压、非反应性气体(例如，氮)环境中的传送机器人，且EFEM被安装至基板处理工具。EFEM使得能够在对接于装载端口(例如，在洁净室环境中)上的基板载具与基板处理工具之间传送基板(例如，无须暴露至反应性气体或其他污染物)。在装载端口的背板与EFEM之间维持密封。然而，归因于装载端口的重量，将常规装载端口背板固定至EFEM的前面而使得两个表面共面且均匀地压缩密封件可能是困难的。换言之，常规背板不包括使得能够容易地相对于EFEM的前面调整背板的安装硬件。不同于常规背板安装系统，本文所描述的新颖实施方式包括使用具有球形垫圈及锥形孔安装块的校平块，其促进调整背板的定向的俯仰和滚转两者，使得背板的表面可与EFEM的前表面对准且共面，因此可均匀地压缩密封构件。转到图1，图示了根据一些实施方式的示例电子器件处理系统100的方块图。系统100包括耦接至EFEM104的基板处理工具102。EFEM104耦接至装载端口108的背板106。装载端口108的对接拖盘110适于支撑基板载具112，基板载具112可由装载端口108的基板载具开启器114开启。背板106安装在EFEM104上，可压缩密封件116沿着背板106的主表面的周边延伸。为了均匀地压缩密封件116，面向EFEM104的背板106的主表面被调整为与EFEM104的向面前的表面对准且共面。图2A及图2B分别描绘了装载端口108的前等距视图及后等距视图。可压缩密封件116被图示为在背板106的后表面上。转到图3，图示了背板组件106’的详细前平面图。除了背板106之外，背板组件106’包括校平块302、锥形孔调整硬件304、狭缝调整硬件306及下部附接组件308(例如，螺栓、螺钉或其他紧固件)。校平块302附接至EFEM104的面。举例而言，校平块302可直接栓接至EFEM104的面向前的表面。如下文关于图4A及图4B更详细地描述，锥形孔调整硬件304及狭缝调整硬件306均支撑背板106，且允许调整背板106的俯仰(例如，向后倾斜至纸面中及向前倾斜出纸面)及滚转(例如，顺时针及逆时针旋转)。图4A为锥形孔调整硬件304的放大的截面视图。校平调整螺栓402A从校平块302延伸至背板106。校平调整螺栓402A经由锥形孔块404A耦接至校平块302，锥形孔块404A经由螺栓405A耦接至校平块302。校平调整螺栓402A经由螺纹孔块406A耦接至背板106，螺纹孔块406A经由螺栓407A耦接至背板106。校平调整螺栓402A的头部408A放置在第一球形垫圈对410A上，第一球形垫圈对410A放置在锥形孔块404A上。在锥形孔块404A下方，第二球形垫圈对412A通过第一锁紧螺母414A抵靠锥形孔块404A而固定。第二锁紧螺母416A用于将校平调整螺栓402A固定在螺纹孔块406A中。锥形孔块404A包括孔洞，所述孔洞在块体的下部分中扩张以在校平调整螺栓402A周围建立环形间隙418A。此环形间隙418A提供空间以用于在进行调整时旋转校平调整螺栓402A。在一些实施方式中，环形间隙418A可通过使锥形孔块404A中的通孔具有两个不同直径(例如，在上部分中较小且在下部分中较大)而形成，或通过形成具有锥形或渐缩的形状的通孔而形成。如图4A中所示，锥形孔块404A中的通孔的顶部及底部开口可为倾斜的，以为校平调整螺栓402A的旋转提供进一步的空隙。在一些实施方式中，环形间隙418A足够大以在调整期间容纳大约0.25度至大约2度的旋转。在一些实施方式中，锥形孔块404A中的通孔为校平调整螺栓402A的直径的大约1.05倍至大约1.1倍。此外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载端口系统，包含：背板组件，支撑对接拖盘和基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间，其中所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述锥形孔块和所述螺纹块。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.10 US 15/348,9641.一种装载端口系统，包含：背板组件，支撑对接拖盘和基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间，其中所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述锥形孔块和所述螺纹块。2.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述狭缝孔调整组件包括：狭缝块，在第二端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述狭缝块和所述螺纹块。3.如权利要求2所述的装载端口系统，其中邻接所述调整螺栓上的所述锥形孔块而设置球形垫圈。4.如权利要求3所述的装载端口系统，其中邻接所述调整螺栓上的所述狭缝块而设置球形垫圈。5.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述背板包括密封件，且所述锥形孔调整组件和所述狭缝孔调整组件能操作以将所述密封件与所述EFEM对准。6.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述锥形孔块包括通孔，所述通孔在下端处具有足够大的直径以允许所述调整螺栓在所述通孔中旋转，且在上端处具有足够小的直径以将所述调整螺栓保持在固定位置处。7.如权利要求4所述的装载端口系统，进一步包含在所述校平块的所述第一端处的第一俯仰调整螺栓及在所述校平块的所述第二端处的第二俯仰调整螺栓。8.一种背板组件，包含：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·B·路透，道格拉斯·B·鲍姆加滕，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US