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实施方式提供了用于改进的装载端口的系统、装置及方法，改进的装载端口包括背板组件，所述背板组件支撑对接拖盘及基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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