用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法制造方法及图纸

实施方式提供了用于改进的装载端口的系统、装置及方法，改进的装载端口包括背板组件，所述背板组件支撑对接拖盘及基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在校平块与背板之间。锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至校平块；螺纹块，耦接至背板；以及调整螺栓，耦接至锥形孔块及螺纹块。亦揭示了许多额外方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法相关申请本案要求享有于2016年11月10日提交的名称为“SYSTEMS,APPARATUS,ANDMETHODSFORANIMPROVEDLOADPORTBACKPLANE(用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法)”的美国非临时专利申请案第15/348,964号(代理人案号24538-01/USA)的优先权，在此出于所有目的通过引用将该案的全文并入本文中。
本申请案涉及电子器件制造系统，且更特别地涉及用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法。
技术介绍
设备前端模块(EFEM)，有时称为工厂界面(FI)，提供了用于将基板从载具传送至处理工具的非反应性环境。此举通过尽可能地密封EFEM的内部容积且将与基板材料大致不反应的气体(诸如氮)注入内部容积来达成。非反应性气体迫使任何反应性气体(诸如氧)离开EFEM。用于对接基板载具的装载端口通常附接至EFEM的前面。装载端口包括理想上抵靠EFEM的所述面而密封的背板。然而，抵靠EFEM而可靠地密封常规背板可为困难的。因此，需要用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法。
技术实现思路
在一些实施方式中，提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载端口系统，包含：背板组件，支撑对接拖盘和基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间，其中所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述锥形孔块和所述螺纹块。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.10 US 15/348,9641.一种装载端口系统，包含：背板组件，支撑对接拖盘和基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间，其中所述锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述锥形孔块和所述螺纹块。2.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述狭缝孔调整组件包括：狭缝块，在第二端处耦接至所述校平块；螺纹块，耦接至所述背板；以及调整螺栓，耦接至所述狭缝块和所述螺纹块。3.如权利要求2所述的装载端口系统，其中邻接所述调整螺栓上的所述锥形孔块而设置球形垫圈。4.如权利要求3所述的装载端口系统，其中邻接所述调整螺栓上的所述狭缝块而设置球形垫圈。5.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述背板包括密封件，且所述锥形孔调整组件和所述狭缝孔调整组件能操作以将所述密封件与所述EFEM对准。6.如权利要求1所述的装载端口系统，其中所述锥形孔块包括通孔，所述通孔在下端处具有足够大的直径以允许所述调整螺栓在所述通孔中旋转，且在上端处具有足够小的直径以将所述调整螺栓保持在固定位置处。7.如权利要求4所述的装载端口系统，进一步包含在所述校平块的所述第一端处的第一俯仰调整螺栓及在所述校平块的所述第二端处的第二俯仰调整螺栓。8.一种背板组件，包含：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在所述校平块与所述背板之间；以及狭...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·B·路透，道格拉斯·B·鲍姆加滕，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US