触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置制造方法及图纸

本申请公开了一种触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置。该触控阵列基板包括：基板；薄膜晶体管，位于基板上；像素电极，与薄膜晶体管的漏极电连接；公共电极，与像素电极形成电容，并提供触控感应信号；第一金属层，形成与薄膜晶体管的栅极相连的多条扫描线；第二金属层，形成与薄膜晶体管的源极相连的多条数据线；第三金属层，形成与公共电极电连接的多条感应线，多条感应线分别传输相应的触控感应信号；隔离层，位于第二金属层和第三金属层之间，其中，多条感应线在第三金属层所在平面内的延伸方向与多条数据线在第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行。该触控阵列基板的感应线与数据线互不平行，从而减小数据线对感应线的耦合作用。

【技术实现步骤摘要】
触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置
本专利技术涉及显示
，更具体地，涉及一种触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置。
技术介绍
随着显示技术的飞速发展，触摸屏(touchpanel)已经遍及人们生活中的各个方面。随着触控技术的不断进步，人们对触控产品的要求也越来越高，在关注灵敏度的同时还要考虑轻薄，使得显示面板厂商制程成本大幅度提升。目前，触摸屏按照组成结构可以分为：覆盖表面式触摸屏(On-celltouchpanel)以及内嵌式触摸屏(In-celltouchpanel)。内嵌式触摸屏是将触摸屏的触控电极内嵌在显示屏内部，例如将触控电极内嵌在阵列基板上。以内嵌式触摸屏为例，图1示出了根据现有技术的触控阵列基板的平面示意图，如图1所示，现有的一种触控阵列基板上设有公共电极层与感应线路层，其中公共电极层包括呈阵列排布且相互绝缘的多个公共电极150，感应线路层包括相互绝缘的多条感应线140，多条感应线140与所述多个公共电极150分别一一对应电连接。具体地，公共电极层与感应线路层之间设有绝缘层，绝缘层中在与每个公共电极150相对应的位置设有导通孔143，感应线路层中每条感应线140的一端通过导通孔143与一个对应的公共电极150电连接，感应线路层中每条感应线140的另一端与触控驱动集成芯片170电连接。图2示出了根据现有技术的触控阵列基板上像素单元的结构示意图，如图2所示，所述阵列基板上还设有由扫描线142与数据线141绝缘交叉限定的多个像素单元，每个像素单元内设有像素电极160和薄膜晶体管。图2所示为感应线路层的各条感应线140与数据线141在同一层且紧邻并排设置。图3示出了根据现有技术的触控阵列基板上像素单元的截面图，如图3所示，所述阵列基板在制作时，包括以下步骤：在基板101上进行第一道蚀刻制程，以制作薄膜晶体管的栅极110以及扫描线，以及形成第一绝缘层121；进行第二道蚀刻制程，以制作薄膜晶体管的第一沟道层131和第二沟道层132；进行第三道蚀刻制程，以制作薄膜晶体管的源极112、漏极111以及数据线和感应线路层的感应线，以及形成第二绝缘层122；第四道蚀刻制程用于制作导通公共电极的导通孔(图中未示出)；进行第五道蚀刻制程，以制作公共电极150，以及形成第三绝缘层123；第六道蚀刻制程用于制作像素电极160的导通孔，第七道蚀刻制程用于制作像素电极160，像素电极160通过导通孔与薄膜晶体管的漏极111接触。上述的触控阵列基板的结构中，感应线路层的各条感应线与数据线在同一层且紧邻并排设置，会导致电路产生寄生电容，感应线的负载过重，灵敏度变差，并且感应线与数据线紧邻会导致像素的穿透率下降。因此，亟需对现有技术的触控阵列基板进行进一步改进，以解决上述问题。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置，其中，多条感应线在第三金属层所在平面内的延伸方向与多条数据线在第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行，从而减小数据线对感应线的耦合作用。根据本专利技术的一方面，提供一种触控阵列基板，包括：基板；薄膜晶体管，位于所述基板上；像素电极，与所述薄膜晶体管的漏极电连接；公共电极，与所述像素电极形成电容，并提供触控感应信号；第一金属层，形成与所述薄膜晶体管的栅极相连的多条扫描线；第二金属层，形成与所述薄膜晶体管的源极相连的多条数据线；第三金属层，形成与所述公共电极电连接的多条感应线，所述多条感应线分别传输相应的所述触控感应信号；隔离层，位于所述第二金属层和第三金属层之间，以将所述第二金属层与所述第三金属层电隔离，其中，所述多条感应线在所述第三金属层所在平面内的延伸方向与所述多条数据线在所述第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行。优选地，所述公共电极包括排列成m行n列且相互电隔离的多个子电极，每个所述子公共电极分别与相应的所述感应线通过至少一个电连接结构相连，其中，每列所述子电极中的m个所述子电极分别与对应的m条相邻所述感应线电连接，其中m和n为非零自然数。优选地，每条所述感应线在所述多个子电极的列方向上呈折线形延伸。优选地，每条所述感应线包括直线型的m个顺次相连的子部分，每条所述感应线中相邻的两个所述子部分之间形成锐角、直角或钝角。优选地，每个所述子部分在所述第二金属层所在平面内的投影与多条所述数据线相交。优选地，位于同一个所述子电极上方的所述子部分相互平行分布。优选地，与同一行所述子电极对应的各个所述子部分相互平行分布。优选地，各条所述感应线在所述公共电极上方、在所述第三金属层所在平面内的延伸长度相同。根据本专利技术的另一方面，提供一种触控显示装置，包括：如上所述的触控阵列基板；彩膜基板，与所述阵列基板相对设置；液晶层，位于所述彩膜基板和所述阵列基板之间；以及触控检测单元，与所述多条感应线相连，以接收所述触控感应信号。根据本专利技术的另一方面，提供一种触控阵列基板的制造方法，包括：在基板上形成薄膜晶体管；形成像素电极，所述像素电极与所述薄膜晶体管的漏极电连接；形成公共电极，与所述像素电极形成电容，并提供触控感应信号；利用第一金属层形成与所述薄膜晶体管的栅极相连的多条扫描线；利用第二金属层形成与所述薄膜晶体管的源极相连的多条数据线；利用第三金属层形成与所述公共电极电连接的多条感应线，所述多条感应线分别传输相应的所述触控感应信号；形成隔离层，所述隔离层位于所述第二金属层和第三金属层之间，以将所述第二金属层与所述第三金属层电隔离，其中，所述多条感应线在所述第三金属层所在平面内的延伸方向与所述多条数据线在所述第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行。本专利技术提供的触控阵列基板、制作方法及液晶显示装置，在第二金属层和第三金属层之间设置隔离层，将第二金属层与第三金属层电隔离，并且多条感应线在第三金属层所在平面内的延伸方向与多条数据线在第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行，从而减小感应线与数据线之间的寄生电容，减小数据线对感应线的耦合作用。进一步地，感应线与数据线的距离变远有利于提高显示面板的透过率。附图说明通过以下参照附图对本专利技术实施例的描述，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：图1示出了根据现有技术的触控阵列基板的平面示意图；图2示出了根据现有技术的触控阵列基板上像素单元的结构示意图；图3示出了根据现有技术的触控阵列基板上像素单元的截面图；图4示出了根据本专利技术实施例的触控阵列基板的平面示意图；图5示出了根据本专利技术实施例的触控阵列基板上像素单元的结构示意图；图6a至6g示出了根据本专利技术实施例的制造触控阵列基板的方法的各个阶段的截面图。附图标记如下：101基板110栅极111源极112漏极121第一绝缘层122第二绝缘层123第三绝缘层124隔离层131第一沟道层132第二沟道层140感应线141数据线142扫描线143导通孔150公共电极160像素电极170触控驱动集成芯片具体实施方式以下将参照附图更详细地描述本专利技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本专利技术的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本专利技术。但正如本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种触控阵列基板，其特征在于，包括：基板；薄膜晶体管，位于所述基板上；像素电极，与所述薄膜晶体管的漏极电连接；公共电极，与所述像素电极形成电容，并提供触控感应信号；第一金属层，形成与所述薄膜晶体管的栅极相连的多条扫描线；第二金属层，形成与所述薄膜晶体管的源极相连的多条数据线；第三金属层，形成与所述公共电极电连接的多条感应线，所述多条感应线分别传输相应的所述触控感应信号；隔离层，位于所述第二金属层和第三金属层之间，以将所述第二金属层与所述第三金属层电隔离，其中，所述多条感应线在所述第三金属层所在平面内的延伸方向与多条所述数据线在所述第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行。

【技术特征摘要】
1.一种触控阵列基板，其特征在于，包括：基板；薄膜晶体管，位于所述基板上；像素电极，与所述薄膜晶体管的漏极电连接；公共电极，与所述像素电极形成电容，并提供触控感应信号；第一金属层，形成与所述薄膜晶体管的栅极相连的多条扫描线；第二金属层，形成与所述薄膜晶体管的源极相连的多条数据线；第三金属层，形成与所述公共电极电连接的多条感应线，所述多条感应线分别传输相应的所述触控感应信号；隔离层，位于所述第二金属层和第三金属层之间，以将所述第二金属层与所述第三金属层电隔离，其中，所述多条感应线在所述第三金属层所在平面内的延伸方向与多条所述数据线在所述第二金属层所在平面内的延伸方向互不平行。2.根据权利要求1所述的触控阵列基板，其特征在于，所述公共电极包括排列成m行n列且相互电隔离的多个子电极，每个所述子公共电极分别与相应的所述感应线通过至少一个电连接结构相连，其中，每列所述子电极中的m个所述子电极分别与对应的m条相邻所述感应线电连接，其中m和n为非零自然数。3.根据权利要求2所述的触控阵列基板，其特征在于，每条所述感应线在所述多个子电极的列方向上呈折线形延伸。4.根据权利要求3所述的触控阵列基板，其特征在于，每条所述感应线包括直线型的m个顺次相连的子部分，每条所述感应线中相邻的两个所述子部分之间形成锐角、直角或钝角。5.根据权利要求4所述的触控阵列基板，其特征在于，每个所述子部分在所述第二金属层所在平...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗建芳，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32