金属掩膜板缺陷的判断方法和制造设备技术

技术编号:20881605 阅读:22 留言:0更新日期:2019-04-17 13:06
一种金属掩膜板(700)缺陷的判断方法以及一种用于判断金属掩膜板(700)缺陷的制造设备(100),金属掩膜板(700)用于贴合像素基板(800)以辅助像素基板(800)形成多个基板像素点(820)。判断方法包括步骤:(S112)获取金属掩膜板(700)的图像,图像包括图像像素点;(S114)在同一参考坐标系下,建立图像像素点和基板像素点(820)的位置关系;(S116)测试基板像素点(820)以判断基板像素点(820)是否异常并获取异常的基板像素点(820)的坐标位置;和(S118)根据异常的基板像素点(820)的坐标位置和位置关系确定金属掩膜板(700)的缺陷位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请,权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,...

【专利技术属性】
技术研发人员:张耀宇王彤康慧
申请(专利权)人:深圳市柔宇科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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