【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备
本技术涉及机械设备领域，尤其涉及一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备。
技术介绍
改良西门子法是生产多晶硅的主流技术，其核心设备为还原炉。还原炉的工作原理是通过通电高温硅芯将含硅气体(常用的含硅气体为三氯氢硅和硅烷)与氢气的混和气体反应生成硅单质并沉积在硅芯上形成多晶硅，最终以多晶硅棒作为采出产品。还原炉在多晶硅沉积反应过程中会以辐射传热的方式散失大量的能量，为了有效降低多晶硅生产能耗，将还原炉钟罩内部抛光到足够的光洁度，可以有效减少硅芯的热辐射能量散失，是一种多晶硅生产节能技术。现有技术一般是使用旋转抛光头来对抛光腔体内壁进行局部抛光，通过移动旋转抛光头来完成整个内壁的抛光作业。多晶硅还原炉钟罩腔体大，并不适合使用这种抛光方式，因为这种抛光结果是局部抛光的叠加，很容易导致产品抛光后的光洁度不均匀，而且长期局部抛光操作后，容易对内壁造成伤害结构，比如某些抛光重叠位置出现小坑。而保持多晶硅还原炉钟罩内壁的完整性和均匀的光洁度是减少硅芯的热辐射能量散失的关键点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备，用于解决现有技术中存在的多晶硅还原炉钟罩内壁抛光后光洁度不均匀的问题。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备，包括平台和抛光机构，所述平台内设置有凹槽，所述抛光机构包括设置在凹槽底部的电机，所述电机上连接有主轴，所述主轴上至少设置有三个抛光件，所述抛光件上均设置有用于对钟罩内壁进行抛光的抛光作用面，所述抛光件沿主轴周向设置，所述抛光件的抛光作用面与钟罩内壁相匹配，所述抛光作...
【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备，包括平台和抛光机构，其特征在于，所述平台内设置有凹槽，所述抛光机构包括设置在凹槽底部的电机，所述电机上连接有主轴，所述主轴上至少设置有三个抛光件，所述抛光件上均设置有用于对钟罩内壁进行抛光的抛光作用面，所述抛光件沿主轴周向设置，所述抛光件的抛光作用面与钟罩内壁相匹配，所述抛光作用面上覆盖设置有抛光材料。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备，包括平台和抛光机构，其特征在于，所述平台内设置有凹槽，所述抛光机构包括设置在凹槽底部的电机，所述电机上连接有主轴，所述主轴上至少设置有三个抛光件，所述抛光件上均设置有用于对钟罩内壁进行抛光的抛光作用面，所述抛光件沿主轴周向设置，所述抛光件的抛光作用面与钟罩内壁相匹配，所述抛光作用面上覆盖设置有抛光材料。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备，其特征在于，所述抛光件包括支撑杆和抛光框架，所述支撑杆一端连...
【专利技术属性】
技术研发人员：张宝顺，任长春，相承满，宗冰，王体虎，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海有限公司，
类型：新型
国别省市：青海,63
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