The invention discloses a vapor deposition furnace, which comprises a shell. The inner chamber of the shell is provided with a greenhouse with a bottom opening. The bottom opening of the insulation chamber is provided with a sealing plate and the sealing plate is completely separated from the insulation chamber. The sealing plate is penetrated with a guide rod and is fixedly connected with the sealing plate. The upper segment of the guide rod extends to the said sealing plate. The insulation chamber and the top of the guide rod are provided with a material plate for carrying workpiece. The lower part of the guide rod runs through the bottom plate of the shell and the guide rod is completely separated from the shell. The bottom of the guide rod extends all the way to the outside of the shell and the bottom of the guide rod is provided with a weight sensor. The gas deposition furnace provided by the invention can monitor on-line the weight change of the workpiece undergoing gas deposition through its structural design, and effectively improve the processing quality of the workpiece.
【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉
本专利技术涉及化工设备领域,更具体地说,特别涉及一种气相沉积炉。
技术介绍
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺,它大致包含三步:(1)形成挥发性物质;(2)把上述物质转移至沉积区域;(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积法是生产碳碳、碳化硅、氮化硼等复合材料的常用方法,在沉积工艺的进行过程中,产品重量会逐渐增加,但由于目前气相沉积炉结构设计的局限性,现有气相沉积炉都不能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化,只能是工艺完成后再取出工件进行称量,如此,在气相沉积工艺过程中,操作者无法根据工件的具体沉积状态调整设备的工艺参数及沉积时间,极大影响了工件的处理质量。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题为提供一种气相沉积炉,该气相沉积炉通过其结构设计,能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化,有效提高工件的处理质量。一种气相沉积炉,包括壳体,所述壳体内腔设置有底部开口的保温室,所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离,所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接,所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板,所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离,所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。优选地,所述料板的前后左右四个角均设置有导力杆。优选地,所述导力杆下段套设有波纹管,所述波纹管顶面压紧在所述壳体底板的下表面上,所述波纹管底面压紧在所述重量传感器上。优选地,所 ...
【技术保护点】
1.一种气相沉积炉,其特征在于,包括壳体,所述壳体内腔设置有底部开口的保温室,所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离,所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接,所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板,所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离,所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉,其特征在于,包括壳体,所述壳体内腔设置有底部开口的保温室,所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离,所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接,所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板,所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离,所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉,其特征在于,所述料板的前后左右四个角均设置有导力杆。3.根据权利要求1所述的气相沉积炉,其特征在于,所述导力杆下段套设有波纹管,所述波纹管顶面压紧在所述壳体底板的下表面上,所述波纹管底面压紧在所述重量传感器上。4.根据权利要求1所述的气相沉积...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴煜,胡祥龙,周岳兵,
申请(专利权)人:湖南顶立科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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