The invention relates to a method and device for measuring the axial clearance of a post-splitting pupil laser differential confocal lens group, belonging to the technical field of optical precision measurement. In this method, half of the measured beam is occluded by the posterior pupil, and the measured beam is detected by the differential confocal laser detection system. The absolute zeros of the differential confocal response curve are used to fix the focal points of each surface position of the measured lens group, and the axial clearances of the lens group are calculated by ray tracing and compensation model. For the first time, the post-splitting pupil laser differential confocal technology is applied to the high-precision detection of the axial clearance of the lens set. Differential confocal focusing can be achieved by only one detector. The laser differential confocal technology and ray tracing technology are organically fused to eliminate the influence between the parameters of the fixed surface, and the fast trigger focusing can be realized by linearly fitting the data near the absolute zero point, thus avoiding the problem. The change of the measured mirror may result in the decrease of the focusing accuracy, and the improvement of the measuring speed, accuracy and anti-scattering ability.
【技术实现步骤摘要】
后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置
本专利技术涉及后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置,可用于镜组内轴向间隙的非接触式高精度测量,属于光学精密测量
技术介绍
在光学领域中,镜组内轴向间隙的测量具有重要意义。光刻机物镜、航天相机等高性能光学系统的装配过程中,需要根据镜头中透镜的曲率半径和折射率对透镜轴向间隙、径向偏移和光轴偏角进行精密的调整。以光刻机物镜为例,每个单透镜的轴向间隙偏差都会造成光刻物镜的球差、像散、慧差、畸变等像差,影响物镜的成像质量。为了把轴向偏差控制到最小,需要对透镜轴向间隙的测量精度达到微米量级。目前,镜组内各透镜之间的间隙主要依靠机械加工与装配的精度来保证,装配过程中可以通过接触式测高的方法,结合单透镜的厚度计算透镜间的间隙。Mirau干涉仪可以通过代替接触式方法对安装过程中的单片透镜外表面进行高精度定位,实现准确的透镜装配,但却无法深入镜组内部对多个透镜表面进行高精度定位。国内外现有的轴向间隙测量的方法可分为接触式测量和非接触式测量两大类。接触式测量通常有两种:一是测量前一透镜的上顶点与后一透镜的上顶点的距离,然后减去透镜厚度。二是测量球面顶点到镜座端面的距离。接触式测量的主要缺点是容易划伤透镜表面。为避免划伤,通常在测量头与被测表面之间加一层保护纸,因此测量精度较低。有些镀有特殊膜层的表面,严禁接触式测量。对于已经装配完成的镜组,则需要拆卸后进行测量,拆卸和重新装配过程都会引入误差,所以接触式测量不适用于间隙的高精度测量。非接触式间隙测量主要有图像测量法、白光共焦法和干涉法。2005年《传感器技术 ...
【技术保护点】
1.后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一、点光源(1)发出的测量光束经分束镜(2)、准直透镜(4)和会聚透镜(5)后形成测量光束照射在被测透镜组(6)上;步骤二、调整被测透镜组(6),使被测透镜组(6)与测量光束共光轴,由被测透镜组(6)反射回来的光通过会聚透镜(5)和准直透镜(4)后被分束镜(2)反射,被后置光瞳遮挡一半,透过的一半光束则聚焦为测量光斑,进入分光瞳差动共焦探测系统(11);步骤三、沿光轴方向移动被测透镜组(6),使测量光束的焦点与被测透镜组(6)内各透镜的表面顶点位置,即每个透镜的前表面顶点和后表面顶点重合;在各表面顶点位置扫描被测透镜,由分光瞳差动共焦探测系统(11)得到差动共焦响应曲线,通过差动共焦响应曲线(17)的过零点来确定测量光束精确定焦在被测透镜组(6)内各透镜的表面顶点位置,并将顶点位置依次记为Z1,Z1,Z2,…,Zm,m为被测透镜组(6)内透镜的总透光面数;步骤四、根据建立的光线追迹及其补偿模型,依次计算得到被测透镜组(6)内第N个表面SN与第N+1个表面SN+1之间的轴向间隙dN=lN′。
【技术特征摘要】
1.后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法,其特征在于:具体步骤如下:步骤一、点光源(1)发出的测量光束经分束镜(2)、准直透镜(4)和会聚透镜(5)后形成测量光束照射在被测透镜组(6)上;步骤二、调整被测透镜组(6),使被测透镜组(6)与测量光束共光轴,由被测透镜组(6)反射回来的光通过会聚透镜(5)和准直透镜(4)后被分束镜(2)反射,被后置光瞳遮挡一半,透过的一半光束则聚焦为测量光斑,进入分光瞳差动共焦探测系统(11);步骤三、沿光轴方向移动被测透镜组(6),使测量光束的焦点与被测透镜组(6)内各透镜的表面顶点位置,即每个透镜的前表面顶点和后表面顶点重合;在各表面顶点位置扫描被测透镜,由分光瞳差动共焦探测系统(11)得到差动共焦响应曲线,通过差动共焦响应曲线(17)的过零点来确定测量光束精确定焦在被测透镜组(6)内各透镜的表面顶点位置,并将顶点位置依次记为Z1,Z1,Z2,…,Zm,m为被测透镜组(6)内透镜的总透光面数;步骤四、根据建立的光线追迹及其补偿模型,依次计算得到被测透镜组(6)内第N个表面SN与第N+1个表面SN+1之间的轴向间隙dN=lN′。2.根据权利要求1所述的后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法,其特征在于:将激光差动共焦技术与光线追迹技术有机融合,建立光线追迹及其补偿模型,消除各层析定焦表面参数间的相互影响,进而计算得到被测轴向间隙。如图3和公式2所示,rN为第N个表面SN的曲率半径,nN为第N个表面SN与第N+1个表面SN+1之间的材料折射率,dN-1为第N-1个表面SN-1与第N个表面SN之间的轴向间隙,lN′为SN顶点到SN出射线与光轴交点的距离,uN′为SN出射光线与光轴的夹角。根据以上公式可消除各表面间参数对测量结果的影响,从而精确计算出第SN与SN+1之间的轴向间隙dN=lN′。3.根据权利要求1所述的后置分光瞳激光差动共焦镜组轴向间隙测量方法,其特征在于:采用差动共焦特性曲线零点附近的测量数据进行线性拟合,通过拟合所得直线的绝对零点来进行快速触发定焦,提升定焦精度、定焦...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵维谦,杨帅,王允,卜乙禄,
申请(专利权)人:北京理工大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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