The invention relates to a polycrystalline silicon ingot furnace with high purity argon usage, which solves the problems of high utilization rate, high cost and poor quality of ingot in the existing polycrystalline silicon ingot furnace. It comprises a furnace body, an insulating bracket in the furnace body, an annular insulating bracket with an annular insulating cover, a crucible in the inner circumference of the annular insulating cover, and a heater in the outer circumference of the annular insulating cover. The upper end of the furnace body is provided with an argon inlet, and the lower end is provided with a number of argon outlets. The upper end of the annular insulating cover is closed. The diameter of one end of the furnace body near the argon inlet decreases gradually, and a conical air supply passage is formed between the inner side of the furnace body and the outer side of the annular insulating cover. A circle is arranged between the inner side of the annular insulating cover and the outer side of the crucible. The air distribution channel is conical and cylindrical, and a connecting structure is arranged on the annular heat preservation cover. The invention has the advantages of low argon inflow, low cost and good ingot quality.
【技术实现步骤摘要】
降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉
本专利技术涉及多晶硅铸锭
,具体涉及一种降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉。
技术介绍
多晶硅是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,这些晶粒接合起来便形成多晶硅。在太阳能光伏工业中生产太阳能光伏产品的工艺包括多晶硅铸锭、切割成片、制成电池片和封装为太阳能组件,可见多晶硅铸锭是太阳能光伏工业的重要组成部分,在多晶硅铸锭过程中,高纯氩气能提供一定的炉压,也可减缓炉内活性气体与硅料的化学反应,并带走杂质,同时流动还改善了整个炉内热场分布,但是很多现有设备中生产过程中氩气消耗量较大,增加了成本,且有的设备铸锭品质比较差。为了解决现有技术存在的不足,人们进行了长期的探索,提出了各式各样的解决方案。例如,中国专利文献公开了一种多晶硅铸锭炉的氩气预热装置[201621283665.9],包括有炉体和氩气管,炉体内设置有保温罩,保温罩内设置有坩埚、顶部加热器和石墨盖板,石墨盖板位于坩埚上方,顶部加热器设置在石墨盖板上方,所述氩气管与氩气源相连,所述保温罩和顶部加热器之间设有水平安装的蛇管式预热器,蛇管式预热器具有进气口和出气口,进气口连通氩气管,出气口依次穿过顶部加热器的中部、石墨盖板的中部后伸入坩埚内。上述方案在一定程度上解决了现有多晶硅铸锭炉铸锭品质比较差的问题,但是该方案依然存在着诸多不足,例如,其通入的氩气没有较好的处理机构,通入的氩气较多,增加了铸锭的成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对上述问题,提供一种设计合理,有效降低高纯氩气使用量、 ...
【技术保护点】
1.一种降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉,包括炉体(1),所述的炉体(1)内通过若干支撑柱(2)设有水平设置的隔热托板(3),所述的隔热托板(3)上设有呈环形设置的环形保温罩(4),所述的环形保温罩(4)周向内侧设有设置在隔热托板(3)上的坩埚(5),且所述的环形保温罩(4)周向外侧设有与坩埚(5)相对应的加热器(6),所述的炉体(1)上端设有氩气进气口(11),下端设有若干氩气出气口(12),其特征在于,所述的环形保温罩(4)上端封闭,所述的炉体(1)靠近氩气进气口(11)的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小,且所述的炉体(1)周向内侧和环形保温罩(4)周向外侧之间形成圆锥筒状的送气通道(7),且所述的送气通道(7)靠近氩气进气口(11)的一端的直径至另一端直径逐渐变小,所述的环形保温罩(4)周向内侧和坩埚(5)周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道(8),且所述的布气通道(8)靠近氩气进气口(11)一端的直径至另一端直径逐渐变大,且所述的环形保温罩(4)上设有能将送气通道(7)和布气通道(8)相互连通的连通结构(9)。
【技术特征摘要】
1.一种降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉,包括炉体(1),所述的炉体(1)内通过若干支撑柱(2)设有水平设置的隔热托板(3),所述的隔热托板(3)上设有呈环形设置的环形保温罩(4),所述的环形保温罩(4)周向内侧设有设置在隔热托板(3)上的坩埚(5),且所述的环形保温罩(4)周向外侧设有与坩埚(5)相对应的加热器(6),所述的炉体(1)上端设有氩气进气口(11),下端设有若干氩气出气口(12),其特征在于,所述的环形保温罩(4)上端封闭,所述的炉体(1)靠近氩气进气口(11)的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小,且所述的炉体(1)周向内侧和环形保温罩(4)周向外侧之间形成圆锥筒状的送气通道(7),且所述的送气通道(7)靠近氩气进气口(11)的一端的直径至另一端直径逐渐变小,所述的环形保温罩(4)周向内侧和坩埚(5)周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道(8),且所述的布气通道(8)靠近氩气进气口(11)一端的直径至另一端直径逐渐变大,且所述的环形保温罩(4)上设有能将送气通道(7)和布气通道(8)相互连通的连通结构(9)。2.根据权利要求1所述的降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉,其特征在于,所述的炉体(1)周向内壁设有自上向下且呈螺旋状分布设置的螺旋导气凸条(13),且所述的螺旋导气凸条(13)上端延伸至炉体(1)靠近氩气进气口(11)一端,另一端延伸至炉体(1)靠近氩气出气口(12)一端。3.根据权利要求2所述的降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉,其特征在于,所述的环形保温罩(4)上端通过弧形顶盖(41)封闭,且所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪伟华,
申请(专利权)人:浙江羿阳太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。