一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置制造方法及图纸

技术编号:22146814 阅读:55 留言:0更新日期:2019-09-21 03:51
本实用新型专利技术公开了一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置,包括底座,所述底座上固定设有搅拌箱,所述搅拌箱下设有空腔一,所述搅拌箱的侧壁内开设有空腔二,所述空腔二内填充有导热介质,所述导热介质内设有若干加热棒,所述搅拌箱设有封盖,所述搅拌箱内设有凹槽,所述凹槽内设有转盘,所述转盘上固定设有立柱,所述立柱周围与所述转盘之间固定设有搅拌挡板,所述搅拌挡板远离所述立柱的一侧中部固定设有搅拌杆。有益效果:相较于普通的浸泡清洗,针对性的清洁,增加了清洗的洁净度和清洗效率。增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一内设有超声波发生器,使得搅拌箱内的硅片在经受搅拌清洗外,增加超声波清洗,双重清洗,进一步的增加清洗的力度。

A Drum-type Stirring Cleaning Device for Silicon Wafers

【技术实现步骤摘要】
一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置
本技术涉及滚筒式搅拌式清洗硅片装置领域,具体来说,涉及一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置。
技术介绍
光伏是太阳能光伏发电系统的简称,是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应,将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统,其中所使用的半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。目前市场上的光伏硅片清洗设备在进行清洗的时候,大都只进行简单的浸泡清洗,清洗的不彻底,并且效率底下,导致硅片上任然会存在污染物。针对相关技术中的问题,目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置,以解决上述
技术介绍
中提出的本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)上固定设有搅拌箱(2),所述搅拌箱(2)下设有空腔一(3),所述搅拌箱(2)的侧壁内开设有空腔二(4),所述空腔二(4)内填充有导热介质(5),所述导热介质(5)内设有若干加热棒(6),所述搅拌箱(2)设有封盖(7),所述搅拌箱(2)内设有凹槽(8),所述凹槽(8)内设有转盘(9),所述转盘(9)上固定设有立柱(10),所述立柱(10)周围与所述转盘(9)之间固定设有搅拌挡板(11),所述搅拌挡板(11)远离所述立柱(10)的一侧中部固定设有搅拌杆(12),所述搅拌杆(12)贯穿所述搅拌箱(2)且,延伸至所述空腔一(3...

【技术特征摘要】
1.一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)上固定设有搅拌箱(2),所述搅拌箱(2)下设有空腔一(3),所述搅拌箱(2)的侧壁内开设有空腔二(4),所述空腔二(4)内填充有导热介质(5),所述导热介质(5)内设有若干加热棒(6),所述搅拌箱(2)设有封盖(7),所述搅拌箱(2)内设有凹槽(8),所述凹槽(8)内设有转盘(9),所述转盘(9)上固定设有立柱(10),所述立柱(10)周围与所述转盘(9)之间固定设有搅拌挡板(11),所述搅拌挡板(11)远离所述立柱(10)的一侧中部固定设有搅拌杆(12),所述搅拌杆(12)贯穿所述搅拌箱(2)且,延伸至所述空腔一(3)内,所述搅拌杆(12)位于所述空腔一(3)内的一端固定设有第一皮带轮(13),所述底座(1)的一侧固定设有正反电机(14),所述正反电机(14)的输出端设有第二皮带轮(15),所述第一皮带轮(13)与所述第二皮带轮(15)之间通过皮带(16)相连接,所述皮带(16)贯穿所述空腔一(3),所述空腔一(3)内固定设有若干超声波发生器(17),所述超声波发生器(17)的输出端设有超声波震板(18),所述超声波震板(18)位于所述搅拌箱(2)的底部,搅拌箱(2)底部开设有第一通孔(19)和第二通孔(20),所述第一通孔(19)与第一水管(21)相连接,所述第一水管(21)上设有第一阀门(22),所述第二通孔(20)与第二水管(23)相连接,所述第二水管(23)上设有第二阀门(24),所述第二水管(23)远离所述第二通孔(20)的一端与水泵(25)相连接,所述水泵(25)的另一端设有第三水管(26),所述第三水管(26)分别与数量为两个的第四水管(27)相连通...

【专利技术属性】
技术研发人员:汪伟华
申请(专利权)人:浙江羿阳太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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