弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；支承构件(5)，设置在压电基板(2)上，具有开口部(5a)，且在开口部(5a)处包围IDT电极(3)；覆盖构件(6)，覆盖开口部(5a)，设置在支承构件(5)上；以及过孔电极(7A)，贯通覆盖构件(6)以及支承构件(5)。过孔电极(7A)具有在俯视时从侧面部向外侧鼓出的鼓出部(7a1)。鼓出部(7a1)位于覆盖构件(6)的内部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及具有WLP(WaferLevelPackage，晶片级封装)构造的弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1记载了具有WLP构造的弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有设置在压电基板上的框构件和设置在框构件上的盖构件。设置有过孔电极，使得贯通框构件以及盖构件。过孔电极具有位于框构件中的第一柱部和位于盖构件中的第二柱部。第二柱部的侧面倾斜。由此，在对弹性波装置施加了应力时等，使过孔电极不易从框构件以及盖构件脱落。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-222886号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1记载的弹性波装置中，在第二柱部的侧面的倾斜角度小的情况下，具有过孔电极变得容易脱落的倾向。本专利技术的目的在于，提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上；支承构件，设置在所述压电基板上，具有开口部，且在所述开口部处包围所述IDT电极；覆盖构件，覆盖所述开口部，设置在所述支承构件上；以及过孔电极，贯通所述覆盖构件以及所述支承构件，且具有：一端部，位于所述压电基板侧；另一端部，位于与所述压电基板侧相反侧；以及侧面部，连结所述一端部和所述另一端部，所述过孔电极具有在俯视时从所述侧面部向外侧鼓出的鼓出部，所述鼓出部位于所述覆盖构件的内部。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面。在该情况下，能够有效地抑制过孔电极从支承构件以及覆盖构件脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述鼓出面在与所述过孔电极延伸的方向正交的方向上延伸。在该情况下，能够更加有效地抑制过孔电极从支承构件以及覆盖构件脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述覆盖构件具有：粘接层，与所述支承构件粘接；以及保护层，设置在所述粘接层上，所述粘接层的弹性模量比所述保护层的弹性模量低。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部位于所述粘接层的表面或所述粘接层的内部。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，所述鼓出面与所述覆盖构件中的所述保护层的所述粘接层侧的主面接触。在该情况下，鼓出面与弹性模量比粘接层高的保护层接触。因此，过孔电极更加不易从支承构件以及覆盖构件脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，在将横穿所述过孔电极的方向设为宽度方向时，所述过孔电极的侧面部倾斜，使得所述过孔电极的宽度从位于所述压电基板侧的一端部起到所述鼓出面而变宽。在该情况下，过孔电极更加不易从支承构件以及覆盖构件脱落。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面，所述过孔电极中的位于与所述压电基板侧相反侧的另一端部的平面面积大于所述过孔电极中的所述鼓出面所位于的部分的横截面积。在该情况下，能够在将凸块等与过孔电极的与压电基板相反侧的端部接合时有效地增大该端部与凸块等的接合力。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述粘接层由环氧类树脂构成，所述保护层由聚酰亚胺构成。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种过孔电极不易脱落的弹性波装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图2是将本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。图3是将比较例的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。图4是本专利技术的第一实施方式中的过孔电极的俯视图。图5是将本专利技术的第一实施方式的变形例涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。图6的(a)～图6的(d)是用于说明本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的主视剖视图。图7是将本专利技术的第二实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。具体实施方式以下，通过参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，从而明确本专利技术。另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。弹性波装置1具有压电基板2。压电基板2例如由适当的压电单晶、压电陶瓷构成。在压电基板2上设置有IDT电极3。通过对IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。在压电基板2上设置有电极连接盘4A、4B。在本实施方式中，电极连接盘4A、4B与IDT电极3电连接。在压电基板2上设置有具有开口部5a的支承构件5。支承构件5设置为覆盖电极连接盘4A、4B。IDT电极3位于开口部5a内，IDT电极3被支承构件5包围。支承构件5由适当的树脂等构成。在支承构件5上设置有覆盖构件6，使得覆盖开口部5a。由此，形成有被压电基板2、支承构件5以及覆盖构件6包围的中空空间。覆盖构件6具有与支承构件5粘接的粘接层6a。覆盖构件6具有设置在粘接层6a上的保护层6b。保护层6b的弹性模量比粘接层6a的弹性模量高。粘接层6a没有特别限定，例如由环氧类树脂构成。保护层6b没有特别限定，例如由聚酰亚胺构成。另外，覆盖构件6也可以不具有粘接层6a以及保护层6b。设置有过孔电极7A、7B，使得贯通支承构件5以及覆盖构件6。过孔电极7A、7B分别具有作为压电基板2侧的一端部的第一端部7A1、7B1以及作为与压电基板2侧相反侧的另一端部的第二端部7A2、7B2。过孔电极7A具有连结第一端部7A1和第二端部7A2的侧面部。同样地，过孔电极7B具有连结第一端部7B1和第二端部7B2的侧面部。过孔电极7A、7B的平面形状没有特别限定，在本实施方式中，上述平面形状为圆形。过孔电极7A的第一端部7A1与上述电极连接盘4A连接。过孔电极7B的第一端部7B1与上述电极连接盘4B连接。在过孔电极7A、7B的第二端部7A2、7B2分别接合有凸块8。过孔电极7A、7B由适当的金属构成。凸块8由焊料等构成。在安装弹性波装置1时，弹性波装置1经由凸块8与安装基板等接合。在本实施方式中，IDT电极3经由电极连接盘4A、4B、过孔电极7A、7B以及凸块8与外部电连接。另外，在过孔电极7A、7B的第二端部7A2、7B2也可以接合有凸块8以外的导电性接合剂、端子。图2是将第一实施方式涉及的弹性波装置的过孔电极周边放大的主视剖视图。如图2所示，过孔电极7A具有第一端部7A1与第二端部7A2之间的一部分在俯视时从侧面部向外侧鼓出的鼓出部7a1。在本实施方式中，该鼓出部7a1具有在与过孔电极7A延伸的方向正交的方向上延伸的鼓出面7a2。另外，鼓出面7a2只要在与过孔电极7A延伸的方向交叉的方向上延伸即可。鼓出部7a1位于覆盖构件6的内部。更具体地，鼓出部7a1位于覆盖构件6中的粘接层6a侧。鼓出面7a2与保护层6b的粘接层6a侧的面接触。在此，将横穿过孔电极7A的方向设为过孔电极7A的宽度方向。此时，在本实施方式中，过孔电极7A的侧面部倾斜，使得过孔电极7A的宽度从第一端部7A1到鼓出面7a2而本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上；支承构件，设置在所述压电基板上，具有开口部，且在所述开口部处包围所述IDT电极；覆盖构件，覆盖所述开口部，设置在所述支承构件上；以及过孔电极，贯通所述覆盖构件以及所述支承构件，且具有：一端部，位于所述压电基板侧；另一端部，位于与所述压电基板侧相反侧；以及侧面部，连结所述一端部和所述另一端部，所述过孔电极具有在俯视时从所述侧面部向外侧鼓出的鼓出部，所述鼓出部位于所述覆盖构件的内部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.28 JP 2016-0900651.一种弹性波装置，具备：压电基板；IDT电极，设置在所述压电基板上；支承构件，设置在所述压电基板上，具有开口部，且在所述开口部处包围所述IDT电极；覆盖构件，覆盖所述开口部，设置在所述支承构件上；以及过孔电极，贯通所述覆盖构件以及所述支承构件，且具有：一端部，位于所述压电基板侧；另一端部，位于与所述压电基板侧相反侧；以及侧面部，连结所述一端部和所述另一端部，所述过孔电极具有在俯视时从所述侧面部向外侧鼓出的鼓出部，所述鼓出部位于所述覆盖构件的内部。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述鼓出部具有在与所述过孔电极延伸的方向交叉的方向上延伸的鼓出面。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述鼓出面在与所述过孔电极延伸的方向正交的方向上延伸。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述覆盖构件具有：粘接层，与所述支承构件粘接；以及保护层，设置在所述粘接层上，所述粘接层的弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田大辅，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP