一种声表面波单端对谐振器制造技术

本发明专利技术涉及一种声表面波单端对谐振器，所述单端对谐振器包括：压电基片、第一叉指换能器、第一反射栅和第二反射栅；第一叉指换能器设置在压电基片上，第一反射栅和第二反射栅的结构相同，且对称的设置在第一叉指换能器的两端；还包括：敏感膜和第二叉指换能器；第二叉指换能器设置在第一反射栅和第二反射栅之间，第二叉指换能器与第一叉指换能器的上下回流条相连接；敏感膜设置在第一叉指换能器和第二叉指换能器的中间位置。本发明专利技术的谐振器，通过增加一个叉指换能器，保证了谐振器高品质因子和低损耗的优点，有助于提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。同时在两个叉指换能器之间内置敏感膜，克服敏感膜成膜区域问题，很容易应用到传感器领域。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波单端对谐振器
本专利技术涉及声表面波器件领域，尤其涉及一种声表面波单端对谐振器。
技术介绍
声表面波传感器是近年来发展起来的一种新型微声传感器，是一种用声表面波器件作为传感元件，将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息(如温度、应力、气体密度)。由于体积小，声表面波器件被誉为开创了无线、小型传感器的新纪元；同时，其与集成电路兼容性强，在模拟数字通信及传感领域获得了广泛的应用。声表面波传感器能将信号集中于基片表面、工作频率高，具有极高的信息敏感精度，能迅速地将检测到的信息转换为电信号输出，具有实时信息检测的特性；另外，声表面波传感器还具有微型化、集成化、无源、低成本、低功耗、直接频率信号输出等优点。国内目前已经形成了包括声表面波压力传感器、声表面波温度传感器、声表面波生物基因传感器、声表面波化学气相传感器以及智能传感器等多种类型。声表面波传感器有两种基本构型，分别为延迟线型和谐振型。其中，延迟线型和谐振型声表面波传感器在结构上均由压电基片、第一叉指换能器和发射栅共同构成。Mau本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声表面波单端对谐振器，包括：压电基片(11)、第一叉指换能器(12)、第一反射栅(13)和第二反射栅(14)；所述第一叉指换能器(12)设置在所述压电基片(11)上，所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)的结构相同，且对称的设置在所述第一叉指换能器(12)的两端；其特征在于，还包括：敏感膜(15)和第二叉指换能器(16)；所述第二叉指换能器(16)设置在所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)之间，所述第二叉指换能器(16)与所述第一叉指换能器(12)的上下回流条(122)相连接；所述敏感膜(15)设置在所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)的中间位置。

【技术特征摘要】
1.一种声表面波单端对谐振器，包括：压电基片(11)、第一叉指换能器(12)、第一反射栅(13)和第二反射栅(14)；所述第一叉指换能器(12)设置在所述压电基片(11)上，所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)的结构相同，且对称的设置在所述第一叉指换能器(12)的两端；其特征在于，还包括：敏感膜(15)和第二叉指换能器(16)；所述第二叉指换能器(16)设置在所述第一反射栅(13)和所述第二反射栅(14)之间，所述第二叉指换能器(16)与所述第一叉指换能器(12)的上下回流条(122)相连接；所述敏感膜(15)设置在所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换能器(16)的中间位置。2.根据权利要求1所述的声表面波单端对谐振器，其特征在于，所述第一叉指换能器(12)和所述第二叉指换...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建生，齐晓琳，何世堂，
申请(专利权)人：中国科学院声学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11