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中国科学院声学研究所
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一种声表面波单端对谐振器制造技术
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下载一种声表面波单端对谐振器的技术资料
文档序号:19648947
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本发明涉及一种声表面波单端对谐振器,所述单端对谐振器包括:压电基片、第一叉指换能器、第一反射栅和第二反射栅;第一叉指换能器设置在压电基片上,第一反射栅和第二反射栅的结构相同,且对称的设置在第一叉指换能器的两端;还包括:敏感膜和第二叉指换能器...
该专利属于中国科学院声学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院声学研究所授权不得商用。
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