声表面波装置制造方法及图纸

声表面波装置具备：压电基板(1)、具有形成在压电基板(1)上的梳齿状的电极指(3)的IDT电极(2)、和与IDT电极(2)连接的布线电极(5)，电极指(3)在与长边方向正交的剖面，下边的线宽以及上边的线宽比该电极指的最大的线宽小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及声表面波装置，更详细地，涉及即使缩小电极指间的间距也在IDT电极的电位不同的电极指间难以产生短路破坏、并且IDT电极与布线电极的电连接可靠的声表面波装置。
技术介绍
在移动体通信装置等中，声表面波装置作为滤波器而被广泛使用。在声表面波装置中，若将声表面波的声速设为v，将频率设为f，将声表面波的波长设为λ，则存在v＝f×λ的关系。因此，在根据以压电基板的材质为首的各条件而定的声表面波的声速恒定的情况下，声表面波的频率与声表面波的波长即IDT电极的电极指的间距成反比例的关系。近年来，移动体通信中使用的频率正在高频化，伴随于此，产生缩短IDT电极的电极指的间距的必要。但是，若缩短IDT电极的电极指的间距，则电位不同的电极指间的绝缘电阻变小，因此在向声表面波装置施加了浪涌电压等情况下，可能在电位不同的电极指间产生短路所导致的绝缘破坏。一般地，相比于空气中的路径，经由压电基板的路径更容易产生IDT电极的电位不同的电极指间的绝缘破坏。这是由于相比于空气，压电基板的绝缘电阻更小。因此，例如，在日本特开2001-85968号公报(专利文献1)中公开的声表面波装置中，采用了如下方法：在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声表面波装置，其具备：压电基板、具有形成在所述压电基板上的梳齿状的电极指的IDT电极、和与所述IDT电极连接的布线电极，所述电极指在与长边方向正交的剖面中，下边的线宽以及上边的线宽比该电极指的最大的线宽小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.07 JP 2014-0958941.一种声表面波装置，其具备：压电基板、具有形成在所述压电基板上的梳齿状的电极指的IDT电极、和与所述IDT电极连接的布线电极，所述电极指在与长边方向正交的剖面中，下边的线宽以及上边的线宽比该电极指的最大的线宽小。2.根据权利要求1所述的声表面波装置，其中，所述电极指的所述剖面从所述上边到所述最大的线宽部分，具有锥状的边。3.根据权利要求1或者2所述的声表面波装置，其中，所述电极指的从该压电基板到所述最大的线...

【专利技术属性】
技术研发人员：丰田祐二，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP