用于制造显示装置的加热装置制造方法及图纸

公开了一种制造显示装置的加热装置，即使加热件由于热量而变形,也不使加热装置损坏或毁坏，并延长加热件的更换周期，其中所述加热装置包括：加热件，释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造显示装置的基板上；用于支撑所述加热件的第一安装装置；以及设置有通孔的第二安装装置，所述加热件的另一端穿过所述通孔。

【技术实现步骤摘要】
用于制造显示装置的加热装置本申请是于2012年12月24日提交的、申请号为201210567092.2的题为“用于制造显示装置的加热装置”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请的交叉引用本申请要求于2012年6月20日提交的韩国专利申请第10-2012-0066405号的权益，在此通过援引将该专利申请的内容结合在此，就像在这里被全部阐述一样。
本专利技术涉及用于制造显示装置的加热装置。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)、液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)以及电泳显示器(EPD)等显示装置是通过各种工序制造的。这些工序可以包括在基板上沉积薄膜的沉积工序，以及根据预定图案去除薄膜的蚀刻工序。例如，可以通过无机或金属材料的蒸发工序在基板上沉积薄膜，来制造OLED。此处，韩国专利申请第P10-0670360号(日期为2007年1月16日)公开了用于此工序的设备。图1是说明现有技术的沉积设备和用于该沉积设备的加热装置的截面侧视图。参照图1，现有技术的沉积设备10包括处理室11和加热装置12，处理室11用于执行在基板100上形成薄膜的工序，加热装置12用于蒸发材料以形成薄膜。加热装置12包括用于在其中容纳材料的容器121，以及用于对容器121中容纳的材料进行加热的加热件122。与容器121结合的加热件122覆盖容器121的外部。当对加热件122提供电力时，加热件122释放热量，从而对容器121中容纳的材料进行加热。于是，容器121中容纳的材料被蒸发，然后向基板100转移，从而在基板100上形成薄膜。加热件122以相当高的温度释放热量，以使得容器121中容纳的材料蒸发。例如，如果容器121中容纳的材料为无机或金属材料，则加热件122释放出具有高于大约1000℃温度的热量。在现有技术的沉积设备10的情况下，沿水平方向(X轴方向)覆盖容器121的多个加热件122，沿垂直方向(Z轴方向)与容器121结合。因此，在释放高温热量的工序期间，加热件122由于重力而在向下方向(箭头A的方向)上发生变形，由此导致加热件122朝向下方向(箭头A的方向)移动。于是，由于加热件122在沉积设备10中的移动，导致加热件122与容器121结合的位置发生改变，使得难以均匀地对容器121中容纳的材料进行加热。在现有技术的沉积设备10中，用于修理或更换加热件122的周期很短。此外，在修理或更换加热件122的过程中，应该停止在基板100上沉积薄膜的工序，因此降低了制造显示装置的工序的生产率。
技术实现思路
本专利技术涉及制造显示装置的加热装置，该加热装置基本上避免了由于现有技术的局限和缺点而导致的一个或多个问题。本专利技术的一方面是提供制造显示装置的加热装置，即使加热件由于热量而变形，也不使该加热装置损坏或毁坏。将在随后的描述中部分地阐述本专利技术其它的优点和特征，并且这些优点和特征的一部分在本领域技术人员研习下文后，对于本领域技术人员而言将变得显而易见，或者可以从本专利技术的实践中获悉。通过在文字描述的说明书和它的权利要求书以及附图中具体指出的结构可以实现和获得本专利技术的目的和其它优点。为了实现这些和其它优点并依照本专利技术的目的，如在此具体化和概括地描述的，提供了一种制造显示装置的加热装置，该加热装置包括：加热件，释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造显示装置的基板上；用于支撑所述加热件的第一安装装置，其中所述加热件的一端安装在所述第一安装装置中；以及在与所述第一安装装置相距预定距离处设置的第二安装装置，其中所述加热件的另一端安装在所述第二安装装置中，其中所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，使得由于热量而变形的加热件相对于被所述第一安装装置支撑的部分而膨胀或收缩。应理解本专利技术之前概括地描述和之后详细的描述是示例性和解释性的,并意图提供对要求保护的本专利技术的进一步的解释。附图说明被包括的附图提供对本专利技术的进一步理解，并且与本申请结合而构成本申请的一部分，附图图示本专利技术的实施例，并且与说明书文字一起用来解释本专利技术的原理。在附图中：图1是图示现有技术的沉积设备和用于沉积设备的加热装置的截面侧视图；图2是图示本专利技术的用于制造显示装置的加热装置的透视图；图3是沿图2的I-I线的截面侧视图；图4是用于解释当加热件的两端都被支撑时产生的问题的截面侧视图；图5是图示本专利技术的用于制造显示装置的加热装置的分解透视图；图6是图示本专利技术的用于制造显示装置的加热装置的一部分的透视图；图7是图示图6展开的II部分的前视图；图8是图示第一安装装置沿图5的I'-I'线的截面的平面图；图9是图示第二安装装置沿图5的I”-I”线的截面的平面图；图10是图示本专利技术的第三安装装置的平面图；以及图11是图示本专利技术的间隔装置的平面图。具体实施方式现在将详细参考本专利技术的示范性实施例，附图中图示了这些实施例的示例。尽可能地，将在全部附图中使用相同的标号来表示相同或相似的部分。以下，将参照附图描述本专利技术的用于制造显示装置的加热装置。参照图2，本专利技术的用于制造显示装置的加热装置1(以下称为“加热装置”)是用于制造诸如有机发光二极管(OLED)、液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)以及电泳显示器(EPD)之类的显示装置。本专利技术的该加热装置1可以设置在用于将薄膜沉积在基板(参见图1的“100”)上的设备中。例如，本专利技术的加热装置1可以设置在用于通过蒸发材料而将薄膜沉积在基板上的设备中，其中本专利技术的加热装置1可以对材料进行加热。通过加热而蒸发的材料转移至基板(参见图1的“100”)，然后在基板(参见图1的“100”)上沉积，由此在基板(参见图1的“100”)上形成薄膜。此处，材料可以是有机材料、无机材料或用于形成阴极的金属材料。可以通过本专利技术的加热装置1对容器(未示出)中容纳的材料进行加热。参照图2至图4，本专利技术的加热装置1包括用于释放热量以加热材料的加热件2、用于支撑加热件2的第一安装装置3、以及在与第一安装装置3相距预定间隔处设置的第二安装装置4。加热件2的一端安装在第一安装装置3中，而加热件2的另一端安装在第二安装装置4中。在释放热量的工序中，加热件2可能会由于热量而变形，由此导致加热件2膨胀或收缩。在此情况中，如图4所示，如果加热件2是在插入第一安装装置3和第二安装装置4中的同时进行结合，则加热件2的两端分别被第一安装装置3和第二安装装置4支撑。假设加热件2由于热量而膨胀，则由于加热件2的两端都被第一安装装置3和第二安装装置4支撑，加热件2可能会像图4中的虚线示出的那样弯曲。因此，加热件2会由于部分断路或短路而损坏或毁坏，从而无法执行加热材料的工序。因为加热件2是弯曲的，所以难以均匀地保持加热件2的每个部分与材料之间的距离，即难以均匀地加热材料。为了克服此问题，如图3所示，本专利技术的加热装置1设置有包括通孔41的第二安装装置4，通孔41使加热件2从其中穿过。假设在释放热量以加热材料的工序期间，加热件2由于热量而变形，则加热件2可以经由第二安装装置4的通孔41而自如地膨胀或收缩。也就是说，即使加热件2由于热量而膨胀，通过采用通孔41，膨胀的加热件2不会与第二安装装置4之间发生干扰。此外，即使加热件2由于热量而收缩，通过采用通孔41，收缩的加热件2也不会与第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造显示装置的加热装置，包括：加热件，用于释放热量；第一安装装置，用于支撑所述加热件的一端；以及第二安装装置，所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，其中所述加热件包括：多个插入槽，沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成，从而彼此间隔开；多个分离槽，沿着从所述第一安装装置朝向所述第二安装装置的方向形成，所述多个分离槽中的每一个被布置在所述多个插入槽之间；多个第一突出件，用于将所述加热件的通过所述插入槽划分的一对部分的所述一端连接起来；以及多个第二突出件，用于将所述加热件的通过所述分离槽划分的一对部分的所述另一端连接起来，其中所述第一安装装置包括：安装孔，所述加热件的所述一端穿过所述安装孔；以及多个支撑件，所述支撑件沿着与所述安装孔相交的方向形成，并且插进所述多个插入槽中的每一个中，以支撑所述多个第一突出件的每一个；其中，所述加热件的通过所述分离槽分离并且插进所述安装孔中的部分被布置为在所述安装孔内彼此直接面对。

【技术特征摘要】
2012.06.20 KR 10-2012-00664051.一种用于制造显示装置的加热装置，包括：加热件，用于释放热量；第一安装装置，用于支撑所述加热件的一端；以及第二安装装置，所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，其中所述加热件包括：多个插入槽，沿着从所述第二安装装置朝向所述第一安装装置的方向形成，从而彼此间隔开；多个分离槽，沿着从所述第一安装装置朝向所述第二安装装置的方向形成，所述多个分离槽中的每一个被布置在所述多个插入槽之间；多个第一突出件，用于将所述加热件的通过所述插入槽划分的一对部分的所述一端连接起来；以及多个第二突出件，用于将所述加热件的通过所述分离槽划分的一对部分的所述另一端连接起来，其中所述第一安装装置包括：安装孔，所述加热件的所述一端穿过所述安装孔；以及多个支撑件，所述支撑件沿着与所述安装孔相交的方向形成，并且插进所述多个插入槽中的每一个中，以支撑所述多个第一突出件的每一个；其中，所述加热件的通过所述分离槽分离并且插进所述安装孔中的部分被布置为在所述安装孔内彼此直接面对。2.如权利要求1所述的加热装置，其中所述第一突出件位于所述第一安装装置的上方，以及其中，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲荣，林玄泽，黄周焕，俞俊昊，洪硕敏，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR