The tooling of the invention is a micro hole abrasive particle fluid polishing fixture. It consists of four layers structure, upper guide plate, lower guide plate, upper liner plate and lower liner plate. The precise positioning pin of Mishmi ball head is used to ensure that the abrasive particles will not be blocked and the abrasive can not be discharged when they pass through the tool and the holes of the parts. The upper guide plate guides the abrasive from the outlet, constructs the passage, sets up the passage of each position, and discharges the abrasive from the lower guide plate, thus achieves the effect of fluid polishing micro-holes and guarantees the roughness requirements of the design drawings. One clamping can be completed without repeating in different positions, increasing grinding time and efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种微小孔磨粒流体抛光夹具
本专利技术属于机械制造业
,IC装备零部件的零件中对微小孔精度及粗糙度要求很高,不允许孔内有毛刺,但直径在¢0.3mm以下的微小孔不能通过人工去除毛刺,所以只能通过专门的磨粒流体抛光设备来完成,而必须根据零件的具体形状及孔的分布情况来设计专用的工装夹具才能完成。
技术介绍
随着电子集成电路,智能制造的快速发展和普及,对于IC装备的需求量也日益增加。国家也将集成电路制造归到9大专项中的02专项进行攻关和研发。云气盘就是IC装备中一种重要的零部件,其特点是,盘类回转体,上面均匀分布几百上千个微小孔,直径在¢0.5mm以下,这样的微小孔需要使用超高转速加工中心来保证孔的直径公差及位置度要求。但是孔内毛刺是难以去除的,并且云气盘的小孔对于粗糙度也是有要求的。因此需要采用专门的磨粒流设备配合专用的工装夹具才能达到去除毛刺,改善孔内粗糙度质量达到设计图纸的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是一种微小孔磨粒流体抛光夹具,为了实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:一种微小孔磨粒流体抛光夹具,包括上导流板,下导流板,上衬板,下衬板,精密定位销,精密衬套;下导流板上部通过精密衬套和精密定位销设有下衬板;下衬板通过精密定位销设有零件;零件上部通过精密定位销设有上衬板,上衬板上部精密衬套和精密定位销设有上导流板。上导流板,铝合计材质,引入磨料口尺寸与磨粒流下料孔尺寸一致,通过内部结构达到扩散磨料流动方向,扩大磨粒流接触零件微小孔分度圆直径范围,安装到整体结构的第一层。上衬板,材质为铝合金,根据零件的形状设计出于零件上表面相接触的结构,保证导孔 ...
【技术保护点】
1.一种微小孔磨粒流体抛光夹具,其特征在于:包括上导流板(1),下导流板(2),上衬板(3),下衬板(4),精密定位销(5),精密衬套(6);下导流板(2)上部通过精密衬套(6)和精密定位销(5)设有下衬板(4);下衬板(4)通过精密定位销(5)设有零件(7);零件(7)上部通过精密定位销(5)设有上衬板(3),上衬板(3)上部精密衬套(6)和精密定位销(5)设有上导流板(1)。
【技术特征摘要】
1.一种微小孔磨粒流体抛光夹具,其特征在于:包括上导流板(1),下导流板(2),上衬板(3),下衬板(4),精密定位销(5),精密衬套(6);下导流板(2)上部通过精密衬套(6)和精密定位销(5)设有下衬板(4);下衬板(4)通过精密定位销(5)设有零件(7);零件(7)上部通过精密定位销(5)设有上衬板(3),上衬板(3)上部精密衬套(6)和精密定位销(5)设有上导流板(1)。2.根据权利要求1所述的一种微小孔磨粒流体抛光夹具,其特征在于:上导流板(1),铝合计材质,引入磨料口尺寸与磨粒流下料孔尺寸一致,通过内部结构达到扩散磨料流动方向,扩大磨粒流接触零件微小孔分度圆直径范围,安装到整体结构的第一层...
【专利技术属性】
技术研发人员:褚依辉,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁,21
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