The invention discloses a vacuum coating device for the PVD coating of a tool, which comprises a target, a coating chamber shell, a coating chamber door, a heating pipe, and a workpiece frame, in which the coating chamber shell is combined with the coating chamber door to form a coating room, and the coating chamber includes a plurality of rectangles that are parallel to the central axis of the coating chamber and adjacent to each other. The range of the target and the target heating pipe is distributed on a plurality of rectangular surfaces of the coating room. The target material is detachably connected to the outer wall of the coating room. The heating pipe is connected to the inner wall of the coating room. The coating chamber shell has a coating chamber plate and a gear shaft connected with the motor on the floor of the plating room. Both sides of the gear shaft are set separately. A slideway is provided with a pulley and a driving rod at the bottom of the work piece. The workpiece frame is slid to the guide rail through the pulley to enter the film chamber, and the gear shaft on the plating room floor is connected to the driving rod at the bottom of the work piece and transfers the dynamic force to realize the rotation movement of the workpiece frame.
【技术实现步骤摘要】
一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置
本专利技术涉及刀具PVD涂层制备
,具体地说是一种应用于刀具PVD涂层制备的真空镀膜装置。
技术介绍
随着现代机械加工工业朝着高精度、高速、干式切削、环保以及低成本等方向发展,对刀具性能提出了更高的要求。高速钢或硬质合金作为传统的刀具材料,越来越难以满足现代机加工工业的发展需要。PVD技术能够获得纳微米级涂层并且做到机械制造与绿色环保相结合,同时在不影响原来的关键尺寸的情况下,用来增加耐磨性,改善提高表面的外观,提高表面强度,最后还有很好的防腐蚀、自润滑、导热以及抗摩擦的能力,因此超硬纳微米物理气相沉积涂层是刀具表面理想的耐磨保护涂层,可以大大的提高金属切削刀具的使用寿命。当前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金铣刀、钻头、油孔钻、阶梯钻、丝锥、铰刀、可转位铣刀片、车刀片、异型刀具、焊接刀具等表面。随着我国国民经济的发展,真空镀膜设备在工业中的应用越来越广,各领域的不同需求对真空镀膜设备的设计提出了越来越严格的要求。虽然近年来我国真空镀膜设备的设计和制造水平有了长足的进步,但是总体来说,国内真空镀膜设备的整体设计能力和生产水平不高,在品种和质量上难于参与国际市场的竞争。国内装饰涂层厂家遍地都是,然而却很少能够生产刀具的厂家,因此,设计一种具有高真空、对刀具进行高质量涂层的真空镀膜装置势在必行。
技术实现思路
本专利技术提供一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,它可以实现高真空,完成超细纳微米涂层的制备,制备的涂层具有高硬度、耐磨损、抗氧化、低摩擦等优良性能,因此显著提高金属切削刀具的使用寿命。本专利技术采用的技术方 ...
【技术保护点】
1.一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,包括靶材、镀膜室壳体、镀膜室门、加热管、工件架,其中,所述镀膜室壳体与所述镀膜室门结合形成镀膜室,所述镀膜室包括多个平行于所述镀膜室的中心轴线并且依次邻接的矩形面,且所述镀膜室的横截面为正多边形,所述靶材与靶材加热管间隔分布在所述镀膜室的多个所述矩形面上,所述靶材与所述镀膜室的外壁可拆卸式连接,所述加热管连接于所述镀膜室的内壁;所述镀膜室壳体内具有镀膜室底板,所述镀膜室底板上安装有与电机连接的齿轮轴,所述齿轮轴的两侧分别设有导轨,所述工件架底部设有滑轮和驱动杆,所述工件架通过所述滑轮滑动到所述导轨上从而进入所述镀膜室,并且所述镀膜室底板上的所述齿轮轴与所述工件架底部的所述驱动杆连接并传递动力,实现所述工件架的旋转运动。
【技术特征摘要】
1.一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,包括靶材、镀膜室壳体、镀膜室门、加热管、工件架,其中,所述镀膜室壳体与所述镀膜室门结合形成镀膜室,所述镀膜室包括多个平行于所述镀膜室的中心轴线并且依次邻接的矩形面,且所述镀膜室的横截面为正多边形,所述靶材与靶材加热管间隔分布在所述镀膜室的多个所述矩形面上,所述靶材与所述镀膜室的外壁可拆卸式连接,所述加热管连接于所述镀膜室的内壁;所述镀膜室壳体内具有镀膜室底板,所述镀膜室底板上安装有与电机连接的齿轮轴,所述齿轮轴的两侧分别设有导轨,所述工件架底部设有滑轮和驱动杆,所述工件架通过所述滑轮滑动到所述导轨上从而进入所述镀膜室,并且所述镀膜室底板上的所述齿轮轴与所述工件架底部的所述驱动杆连接并传递动力,实现所述工件架的旋转运动。2.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,所述加热管通过若干加热管固定垫片、多个内六角螺钉连接于所述镀膜室的内壁。3.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,所述镀膜室底板上设有两条所述导轨。4.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,所述工件架为行星齿轮传动工件架。5.如权利要求4所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,所述工件架包括顶盖和盖板以及设置在所述顶盖和所述盖板之间的多个夹具固定杆,所述夹具固定杆能够夹持夹具,每个所述夹具固定杆的不同高度处分别设有螺纹孔,每个螺纹孔的直径为8-10mm,相邻螺纹孔之间的距离为16-20mm。6.如权利要求5所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,多个所述夹具固定杆沿所述顶盖和所述盖板的圆周均匀排列。7.如权利要求5所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置,其特征在于,所述工件架还包括设置在所述顶盖和所述盖板之间的若干支撑杆;所述夹具包括...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴雁,王犁,王彦瑞,王开发,张而耕,
申请(专利权)人:上海应用技术大学,
类型:发明
国别省市:上海,31
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