加载治具以及蒸镀机制造技术

本发明专利技术公开一种加载治具以及蒸镀机，加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。本体呈板状结构且夹设于承载平台与多个夹块之间。至少一片弹性膜片分别设于本体底部的对应夹块的至少一个位置，弹性膜片外接于信号转换器。其中，弹性膜片在夹块施压于本体底部时，能够测量夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至信号转换器而转换为压力值。本发明专利技术利用多片弹性膜片的设置，能够在夹固组件夹固工件时，准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态。

Loading and steaming machine

The invention discloses a loading tool and a steam plating machine, and the loading tool comprises a body and at least one elastic diaphragm. The body is in a plate-like structure and is sandwiched between the bearing platform and a plurality of clamping blocks. At least one elastic diaphragm is arranged at least one position of the corresponding clamping block at the bottom of the body, and the elastic diaphragm is externally connected to the signal converter. The elastic diaphragm can measure the pressure applied by the clamp when the clamp is pressed at the bottom of the body, and transfer the measured pressure signal to the signal converter and convert it to the pressure value. The invention can accurately measure the clamping force of each clamping fixture in each position of the clamping fixture when the clamping component is clamped to the workpiece by the setting of multiple elastic diaphragm, so that the spacing between the clamp and the clamp block, the spacing between the clamp and the bearing platform, and the clamp itself can be found through pressure. Position and other parameters for the operator to accurately and conveniently measure the clamping state of the clamping component.

【技术实现步骤摘要】
加载治具以及蒸镀机
本专利技术涉及OLED器件制造设备
，尤其涉及一种加载治具以及蒸镀机。
技术介绍
在OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)器件的现有蒸镀工艺中，LTPS(LowTemperaturePoly-silicon，低温多晶硅技术)背板在经Arrary工艺(例如包括镀膜、曝光、刻蚀等工艺)、切割工艺等进入OLED工艺，OLED工艺是将玻璃夹固在蒸镀机中的夹固组件(Alinger)中，夹固组件主要包括磁力板、掩膜版加载平台，且玻璃是采用具有多个夹块的夹具加载到玻璃平台上，经过CCD和夹固组件各部件协调动作进行玻璃和掩膜版对位，然后进行蒸镀，蒸镀机包含有多个腔室，每个腔室结构基本相同，其中夹固组件是多个精密小部件组成，动作频率高，易产生偏移，尤其是夹具各夹块的位置、间距或夹紧程度异常都会导致玻璃无法对位或碎片，需要定期检查和调整，目前没有便捷的治具用于检查各夹块是否对位准确，若对蒸镀机的全部腔室进行检查，将耗费大量时间和成本。其中，在现有蒸镀工艺中，对玻璃加载装置中的各夹块的管理，主要包括对夹块与夹块的第一间距(Distance)、夹块与承载平台的第二间距(Gap)以及夹块自身位置等参数的测量。其中，第一间距通常使用传统的钢尺测量，受尺子自身形变形和夹块周边其他部件的影响，测量准确度较差，且具有一定的难度。第二间距通常采用传统的塞尺测量，由于人员感知的力度不同，测量误差极大，往往会出现毫米级的误差。再者，由于各夹块的自身位置不存在参照依据，夹块自身微小的位置变化无法发现和测量。
技术实现思路
本专利技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够准确方便地测量夹固组件的夹固状态的加载治具。本专利技术的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述加载治具的蒸镀机。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：根据本专利技术的一个方面，提供一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中。所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块。其中，所述加载治具包括本体以及至少一片弹性膜片。所述本体呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间。至少一片所述弹性膜片分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器。其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述本体底部开设有多个开槽，多片所述弹性膜片分别设于多个所述开槽的槽底；其中，多个所述夹块夹固所述加载治具时，多个所述夹块分别卡入多个所述开槽。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述开槽的形状与所述夹块的形状匹配。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述夹块夹固于所述本体底部的周缘；其中，所述开槽开设于所述本体底部的邻接所述本体周缘的部分，且所述开槽的一侧槽壁开口于所述本体的侧边。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述本体底面标识有刻度图案，所述刻度图案上的刻度分别对应于所述本体的与各所述夹块接触的位置。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述本体底面标识有至少两组所述刻度图案，其中一组所述刻度图案沿所述本体的长度方向分布，另一组所述刻度图案沿所述本体的宽度方向分布。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述承载平台开设有多个第一通孔；其中，所述本体开设有多个第二通孔，多个所述第二通孔分别对应于多个所述第一通孔。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述本体的材质为PVC材料。根据本专利技术的另一个方面，提供一种蒸镀机，包括外壳和设于外壳内的夹固组件，所述夹固组件包括磁力板、承载工件的承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块。其中，所述蒸镀机还包括上述实施方式中所述的加载治具。其中，多个所述夹块将所述加载治具夹固于所述承载平台底部时，多个所述夹块分别施压于多片所述弹性膜片，所述弹性膜片将测量的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。由上述技术方案可知，本专利技术提出的加载治具以及蒸镀机的优点和积极效果在于：本专利技术提出的加载治具以及蒸镀机，利用多片弹性膜片的设置，能够准确测量出夹具各夹块施加在加载治具的压力，即测量出夹具各位置的夹固力，从而可通过压力得知包括夹块与夹块的间距、夹块与承载平台的间距以及夹块自身位置等参数，以供操作者准确、方便地测量夹固组件的夹固状态，有效降低设备维护时间，实现设备短时间内全面检查和维护，提升设备稳定性。附图说明通过结合附图考虑以下对本专利技术的优选实施方式的详细说明，本专利技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本专利技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种加载治具的俯视图；图2是根据一示例性实施方式示出的一种蒸镀机的结构示意图；图3是图2示出的蒸镀机的局部示意图。附图标记说明如下：100.加载治具；110.本体；111.开槽；112.第一刻度图案；113.第二刻度图案；114.第二通孔；120.弹性膜片；200.外壳；300.磁力板；310.磁条；400.承载平台；500.夹具；510.夹块；600.掩膜版。具体实施方式体现本专利技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本专利技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本专利技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本专利技术。在对本专利技术的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本专利技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本专利技术的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本专利技术范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之间”、“底部”、“外周”等来描述本专利技术的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本专利技术的范围内。加载治具实施方式参阅图1，其代表性地示出了本专利技术提出的加载治具的俯视图。在该示例性实施方式中，本专利技术提出的加载治具是以替代玻璃基板而设置在蒸镀机的夹固组件中为例进行说明的，其中所谓的“加载”主要指夹固在夹固组件中。本领域技术人员容易理解的是，为将本专利技术的相关设计应用于其他工艺设备中，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本专利技术提出的加载治具的原理的范围内。如图1所示，本专利技术提出的加载治具100主要包括本体110以及多片弹性膜片120。配合参阅图2和图3所示，图2中代表性地示出了了一种具有该加载治具100的蒸镀机的结构示意图；图3中代表性地示出了图2示出的蒸镀机的局部示意图，具体示出了加载治具100与夹块510的配合关系。以下结合上述附图，对本专利技术提出的加载治具100的各主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。本专利技术提出的加载治具100用于设置在蒸镀机的夹固组件中。具体而言，夹固组件主要包括磁力板300、承载平台400和夹固于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中，所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块，其特征在于，所述加载治具包括：本体，呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间；以及至少一片弹性膜片，分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器；其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。

【技术特征摘要】
1.一种加载治具，用以替代玻璃基板设置在蒸镀机的夹固组件中，所述夹固组件包括承载平台和夹具，所述夹具具有夹固于所述承载平台底部的多个夹块，其特征在于，所述加载治具包括：本体，呈板状结构且夹设于所述承载平台与多个所述夹块之间；以及至少一片弹性膜片，分别设于所述本体底部的对应所述夹块的至少一个位置，所述弹性膜片外接于信号转换器；其中，所述弹性膜片在所述夹块施压于所述本体底部时，能够测量所述夹块施加的压力，并将测得的压力信号传递至所述信号转换器而转换为压力值。2.根据权利要求1所述的加载治具，其特征在于，所述本体底部开设有多个开槽，多片所述弹性膜片分别设于多个所述开槽的槽底；其中，多个所述夹块夹固所述加载治具时，多个所述夹块分别卡入多个所述开槽。3.根据权利要求2所述的加载治具，其特征在于，所述开槽的形状与所述夹块的形状匹配。4.根据权利要求2所述的加载治具，其特征在于，所述夹块夹固于所述本体底部的周缘；其中，所述开槽开设于所述本体底部的邻接所述本体周缘的部分，且所述开槽的一侧槽壁开口于所述本体的侧边。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：关立伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11