一种转印设备及其转印方法技术

本发明专利技术公开了一种转印设备及其转印方法，通过在转印头面向目标基板的一侧设置固定于转印头上的器件控制结构，在对目标器件进行转印过程中，在将目标器件进行拾取和转移时，通过器件控制结构固定目标器件，以使目标器件与源基板脱离，在将目标器件转移至目标基板的特定位置时，通过器件控制结构释放目标器件，以使目标器件与目标基板接触。与现有技术中需要精确的控制转印头的速度相比，本发明专利技术实施例提供的转印设备可以通过器件控制结构有效地将目标器件进行拾取与释放，从而可以降低控制难度，提高转印良率。

【技术实现步骤摘要】
一种转印设备及其转印方法
本专利技术涉及转印
，特别涉及一种转印设备及其转印方法。
技术介绍
微转印技术可大规模地将目标器件转移到目标基板上，可以实现集成电路(IntegratedCircuit，IC)与显示面板的集成，实现微型发光二极管(LightEmittingDiode，LED)显示集成等，有利于推动显示产品实现量产与成本降低。现有技术中的微转印技术一般是在打印头上设置弹性印模(Stamp)，以通过使用弹性印模结合高精度运动控制的打印头，有选择地从源基板上拾取(Pick-up)微型目标器件，并将其打印或放置到目标基板上。其中，通过改变打印头的速度，选择性地调整弹性印模和微型目标器件之间的黏附力，以拾取或放置微型目标器件。具体地，当打印头移动较快时，黏附力较大，以拾取微型目标器件，使微型目标器件脱离源基板。当打印头移动较慢时，黏附力较小，可以使微型目标器件脱离，以放置在目标基板上。然而，由于对微型目标器件的拾取和放置需要精准的控制转印头的速度，导致控制难度较大。并且，在控制的转印头的速度有偏差时，还会造成对微型目标器件的拾取或放置失败，导致转印良率降低的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种转印设备及其转印方法，用以解决现有技术中在拾取或放置目标器件时，存在的控制难度较大以及转印良率降低的问题。因此，本专利技术实施例提供一种转印设备，包括：用于将目标器件转移至目标基板的特定位置的转印头，设置于所述转印头面向所述目标基板一侧的器件控制结构；所述器件控制结构固定于所述转印头上，用于在将所述目标器件进行拾取和转移时，固定所述目标器件，以及在将所述目标器件转移至所述目标基板的特定位置时，释放所述目标器件。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述器件控制结构包括：间隔且相对设置的两个压电传感器，所述两个压电传感器之间的间隙用于放置所述目标器件；各所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极位于所述两个压电传感器之间。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述器件控制结构包括：四个相互独立的压电传感器；所述四个压电传感器在所述目标基板的正投影包围所述目标器件在所述目标基板的正投影；各所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极设置于所述四个压电传感器的内围。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述器件控制结构包括：环形设置的一个压电传感器；所述压电传感器在所述目标基板的正投影包围所述目标器件在所述目标基板的正投影；所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极设置于所述压电传感器的内围。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述转印设备还包括：控制单元；所述控制单元用于针对每一个所述压电传感器，对所述压电传感器的第一电极与第二电极施加不同的电压，以对所述压电材料部施加与所述压电材料部的极化方向相同方向的电场，固定并拾取所述目标器件；以及针对每一个所述压电传感器，对所述压电传感器的第一电极与第二电极施加不同的电压，以对所述压电材料部施加与所述压电材料部的极化方向相反方向的电场，释放所述目标器件。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述转印设备还包括：设置于所述转印头背离所述目标基板一侧的机械臂，所述机械臂用于固定所述转印头。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述机械臂还用于在所述转印头释放所述目标器件时，对所述目标器件施加由所述转印头指向所述目标基板方向上的力。可选地，在本专利技术实施例提供的转印设备中，所述转印设备还包括：用于承载所述目标器件的第一机台，以及用于承载所述目标基板的第二机台。相应地，本专利技术实施例还提供了一种本专利技术实施例提供的上述任一种转印设备的转印方法，包括：控制所述器件控制结构固定所述目标器件，并控制所述转印头移动，将所述目标器件拾取并转移至所述目标基板的特定位置；控制所述器件控制结构释放所述目标器件，将所述目标器件转印至所述目标基板的特定位置。可选地，在本专利技术实施例提供的转印方法中，所述控制所述器件控制结构固定并拾取所述目标器件，具体包括：针对每一个所述压电传感器，对所述压电传感器的第一电极与第二电极施加不同的电压，以对所述压电材料部施加与所述压电材料部的极化方向相同方向的电场，固定并拾取所述目标器件；所述控制所述器件控制结构释放所述目标器件，具体包括：针对每一个所述压电传感器，对所述压电传感器的第一电极与第二电极施加不同的电压，以对所述压电材料部施加与所述压电材料部的极化方向相反方向的电场，释放所述目标器件。可选地，在本专利技术实施例提供的转印方法中，在所述释放所述目标器件时，还包括：控制所述机械臂对所述目标器件施加由所述转印头指向所述目标基板方向上的作用力。本专利技术有益效果如下：本专利技术实施例提供的转印设备及其转印方法，通过在转印头面向目标基板的一侧设置固定于转印头上的器件控制结构，在对目标器件进行转印过程中，在将目标器件进行拾取和转移时，通过器件控制结构固定目标器件，以使目标器件与源基板脱离，在将目标器件转移至目标基板的特定位置时，通过器件控制结构释放目标器件，以使目标器件与目标基板接触。与现有技术中需要精确的控制转印头的速度相比，本专利技术实施例提供的转印设备可以通过器件控制结构有效地将目标器件进行拾取与释放，从而可以降低控制难度，提高转印良率。附图说明图1a为本专利技术实施例提供的转印设备的俯视结构示意图之一；图1b为本专利技术实施例提供的转印设备的俯视结构示意图之二；图1c为本专利技术实施例提供的转印设备的俯视结构示意图之三；图2为图1a所示的转印设备沿AA’方向的剖视结构示意图；图3a为本专利技术实施例提供的压电材料的结构形变示意图之一；图3b为本专利技术实施例提供的压电材料的结构形变示意图之二；图4为本专利技术实施例提供的压电传感器的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的转印设备的具体结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的转印方法的流程图；图7为本专利技术实施例提供的转印方法中各步骤所用时间的示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图，对本专利技术实施例提供的转印设备及其转印方法的具体实施方式进行详细地说明。应当理解，下面所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。并且在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。附图中各器件对应的厚度和形状均不反映转印设备的真实比例，目的只是示意说明本
技术实现思路
。如图1a至图2所示，其中，图1a至图1c分别为本专利技术实施例提供的转印设备的俯视结构示意图；图2为图1a所示的示意图沿AA’方向的剖面结构示意图。本专利技术实施例提供的一种转印设备可以包括：用于将目标器件110转移至目标基板120的特定位置的转印头210，设置于转印头210面向目标基板120一侧的器件控制结构220；器件控制结构220固定于转印头210上，用于在将目标器件110进行拾取和转移时，固定目标器件110，以及在将目标器件110转移至目标基板120的特定位置时，释放目标器件110。本专利技术实施例提供的转印设备，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转印设备，其特征在于，包括：用于将目标器件转移至目标基板的特定位置的转印头，设置于所述转印头面向所述目标基板一侧的器件控制结构；所述器件控制结构固定于所述转印头上，用于在将所述目标器件进行拾取和转移时，固定所述目标器件，以及在将所述目标器件转移至所述目标基板的特定位置时，释放所述目标器件。

【技术特征摘要】
1.一种转印设备，其特征在于，包括：用于将目标器件转移至目标基板的特定位置的转印头，设置于所述转印头面向所述目标基板一侧的器件控制结构；所述器件控制结构固定于所述转印头上，用于在将所述目标器件进行拾取和转移时，固定所述目标器件，以及在将所述目标器件转移至所述目标基板的特定位置时，释放所述目标器件。2.如权利要求1所述的转印设备，其特征在于，所述器件控制结构包括：间隔且相对设置的两个压电传感器，所述两个压电传感器之间的间隙用于放置所述目标器件；各所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极位于所述两个压电传感器之间。3.如权利要求1所述的转印设备，其特征在于，所述器件控制结构包括：四个相互独立的压电传感器；所述四个压电传感器在所述目标基板的正投影包围所述目标器件在所述目标基板的正投影；各所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极设置于所述四个压电传感器的内围。4.如权利要求1所述的转印设备，其特征在于，所述器件控制结构包括：环形设置的一个压电传感器；所述压电传感器在所述目标基板的正投影包围所述目标器件在所述目标基板的正投影；所述压电传感器包括：相对设置的第一电极与第二电极、以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电材料部；其中，所述第一电极设置于所述压电传感器的内围。5.如权利要求2-4任一项所述的转印设备，其特征在于，所述转印设备还包括：控制单元；所述控制单元用于针对每一个所述压电传感器，对所述压电传感器的第一电极与第二电极施加不同的电压，以对所述压电材...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏燕，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11