一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。本实用新型专利技术设计合理，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。

Spiral type two molybdenum silicide heating device on oxidation diffusion alloy annealing furnace

The utility model discloses a spiral two molybdenum silicide heating device on an oxidation diffusion alloy annealing furnace, including a shell, a lining on the inner surface of the shell, a spiral two molybdenum heating element inside the lining, and a number of U type and / or J shaped hooks on the spiral two molybdenum silicon carbide heating element. Two the heating element of molybdenum silicide is installed in the furnace lining through U and / or J shaped hooks. The utility model is reasonable in design, the two molybdenum silicide heating wire has good antioxidant properties, can be used in the environment of high temperature oxidation for a long time, long life of heating wire, longer service life of the equipment, strong practicality and suitable for popularization.

【技术实现步骤摘要】
一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置
本技术属于氧化扩散合金退火炉领域，更具体地说，涉及一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置。
技术介绍
半导体材料的氧化扩散合金退火工艺过程是在高温恒温状态下进行的，因此对加热装置要求耐高温、稳定性要好。常规的铁铬铝电阻丝加热，正常的最高使用温度不大于1280℃，当超出该温度时，电阻丝很容易烧坏。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，设计合理，螺旋型二硅化钼加热体升温速度快，减短工艺周期，从而提高设备效率；二硅化钼加热丝能够长期在1350℃及以上温度稳定工作，稳定性能好，高温变形小，保障加热装置内的温度恒定，给原材料提供更好的高温恒温的工艺环境，加快氧化薄膜等生长的速率，大大提高了生产效率，同时，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，与氧化扩散合金退火炉相对应，其特征在于：所述螺旋型二硅化钼加热装置包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。作为一种优化的技术方案，所述螺旋形二硅化钼加热元件包括二硅化钼加热丝以及设置在二硅化钼加热丝两端的连接电极，连接电极贯穿炉衬和外壳且与外部电源连接。作为一种优化的技术方案，所述二硅化钼加热丝是由二硅化钼丝螺旋绕制而成的加热丝；所述加热丝上设置有若干U型和/或J形挂钩，加热丝通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬上；所述加热丝的螺旋内径为50-500mm。作为一种优化的技术方案，所述炉衬是由耐火材料真空成型为硬质耐火纤维制品，厚度为50mm-300mm，数目为2-16片；每一个加热元件上设置有10-200个U型和/或J型挂钩。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本技术设计合理，螺旋型二硅化钼加热体升温速度快，减短工艺周期，从而提高设备效率；二硅化钼加热丝能够长期在1350℃及以上温度稳定工作，稳定性能好，高温变形小，保障加热体内的温度恒定，给原材料提供更好的高温恒温的工艺环境，加快氧化薄膜等生长的速率，大大提高了生产效率，同时，二硅化钼加热丝抗氧化性能好，可长期在高温氧化的环境中使用，加热丝寿命长，延长设备使用寿命，实用性强，适于推广。参照附图和实施例对本技术做进一步说明。附图说明图1为本技术一种实施例的截面结构示意图；图2为本技术一种实施例的外部的结构示意图；图3为本技术一种实施例的结构示意图。图4为本技术一种实施例的二硅化钼加热元件的结构示意图。具体实施方式实施例如图1-4所示，一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，与氧化扩散炉合金退火相对应，包括外壳3，外壳3的内侧面上设置有炉衬2，炉衬2的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件1，螺旋形二硅化钼加热元件1上设置有若干U型和/或J形挂钩4，螺旋形二硅化钼加热元件1通过U型和/或J形挂钩4安装在炉衬2内。所述螺旋形二硅化钼加热元件1包括二硅化钼加热丝以及设置在二硅化钼加热丝两端的连接电极，连接电极贯穿炉衬和外壳且与外部电源连接。所述二硅化钼加热丝是由二硅化钼丝螺旋绕制而成的加热丝；所述加热丝上设置有若干U型和/或J形挂钩，加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬上。所述加热元件的内径为50-500mm。在本实施例中，所述炉衬是由耐火材料真空成型为硬质耐火纤维制品，厚度为50mm-300mm，数目为2-16片；每一个加热元件上设置有10-200个U型和/或J型挂钩。二硅化钼绕制的螺旋形加热元件内径为Ø50mm～Ø500mm，在高温气氛下，加热元件表面形成一层致密的石英玻璃膜，使二硅化钼丝内层不再氧化，因此加热元件具有高温抗氧化性。炉衬是由耐火材料真空成型为硬质耐火纤维制品，厚度为50mm～300mm，耐高温、隔热性好。加热装置外壳分上壳和下壳，便于固定和安装。固定加热丝的挂钩是由二硅化钼丝和/或高纯刚玉弯制成U型和/或J型，对加热元件起到固定作用，如此当加热元件热胀冷缩时不会与炉衬发生位移，导致恒温区错位，很好的保证了加热体加热的稳定性。二硅化钼材质本身的特性导致用它做的加热元件最高使用温度更高，可达1500℃以上，并且升温速度快。本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，与氧化扩散合金退火炉相对应，其特征在于：所述螺旋型二硅化钼加热装置包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。

【技术特征摘要】
1.一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，与氧化扩散合金退火炉相对应，其特征在于：所述螺旋型二硅化钼加热装置包括外壳，外壳的内侧面上设置有炉衬，炉衬的内部设置有螺旋形二硅化钼加热元件，螺旋形二硅化钼加热元件上设置有若干U型和/或J形挂钩，螺旋形二硅化钼加热元件通过U型和/或J形挂钩安装在炉衬内。2.根据权利要求1所述的一种氧化扩散合金退火炉上的螺旋型二硅化钼加热装置，其特征在于：所述螺旋形二硅化钼加热元件包括二硅化钼加热丝以及设置在二硅化钼加热丝两端的连接电极，连接电极贯穿炉衬和外壳且与外部...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛华旗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37