分体式坩埚筒制造技术
【技术实现步骤摘要】
分体式坩埚筒
本技术属于单晶炉
，涉及到分体式坩埚筒。
技术介绍
坩埚筒是单晶炉的一个重要组成部分，现有的坩埚筒为一体式结构，只要有一部分因老化而无法正常使用，就要将整个坩埚筒报废，更换新的坩埚筒，坩埚筒的使用寿命较短、使用量较大，导致单晶硅的生产成本较高。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的缺陷，设计了分体式坩埚筒，可以延长坩埚筒的使用寿命，减少坩埚筒的使用量，降低单晶硅的生产成本。本技术所采取的具体技术方案是：分体式坩埚筒，包括设置在坩埚底与坩埚盖之间的筒体，关键是：所述的筒体是由结构相同且同轴设置的至少两个筒体单元拼接而成的分体式结构，所有的筒体单元沿竖直方向设置，筒体单元内壁的上端位于外壁上端的上方使筒体单元上端面形成为外低内高的上阶梯状结构，筒体单元下端面是与上端面形状相匹配的下阶梯状结构，上下相邻的筒体单元借助上阶梯状结构与下阶梯状结构的配合插接锁紧，坩埚筒还包括套装在筒体外部的定位套，所有的筒体单元都与定位套卡接固定，定位套与坩埚底锁紧固定。所述的定位套下端的内壁向内侧凸出形成为环形的筒体搭放凸沿，筒体搭放凸沿的内径与筒体内径相等，筒体搭放凸沿上与筒体下端面相对应的位置设置有与下阶梯状结构形状相匹配的定位沿，筒体借助下阶梯状结构和定位沿的配合与定位套卡接固定。所述的筒体单元外壁上沿圆周方向均匀排布有至少两个横截面为圆弧形的竖条，竖条朝向定位套的一侧设置有燕尾条，定位套内壁上开设有燕尾槽，筒体单元借助燕尾条和燕尾槽的配合插接固定。所述竖条的数量为两个，定位套上燕尾槽的数量为四个且四个燕尾槽沿定位套的圆周方向均匀排布。所述定位套的壁厚为21...
【技术保护点】
分体式坩埚筒，包括设置在坩埚底与坩埚盖之间的筒体，其特征在于：所述的筒体是由结构相同且同轴设置的至少两个筒体单元(1)拼接而成的分体式结构，所有的筒体单元(1)沿竖直方向设置，筒体单元(1)内壁的上端位于外壁上端的上方使筒体单元(1)上端面形成为外低内高的上阶梯状结构，筒体单元(1)下端面是与上端面形状相匹配的下阶梯状结构，上下相邻的筒体单元(1)借助上阶梯状结构与下阶梯状结构的配合插接锁紧，坩埚筒还包括套装在筒体外部的定位套(2)，所有的筒体单元(1)都与定位套(2)卡接固定，定位套(2)与坩埚底锁紧固定。
【技术特征摘要】
1.分体式坩埚筒，包括设置在坩埚底与坩埚盖之间的筒体，其特征在于：所述的筒体是由结构相同且同轴设置的至少两个筒体单元(1)拼接而成的分体式结构，所有的筒体单元(1)沿竖直方向设置，筒体单元(1)内壁的上端位于外壁上端的上方使筒体单元(1)上端面形成为外低内高的上阶梯状结构，筒体单元(1)下端面是与上端面形状相匹配的下阶梯状结构，上下相邻的筒体单元(1)借助上阶梯状结构与下阶梯状结构的配合插接锁紧，坩埚筒还包括套装在筒体外部的定位套(2)，所有的筒体单元(1)都与定位套(2)卡接固定，定位套(2)与坩埚底锁紧固定。2.根据权利要求1所述的分体式坩埚筒，其特征在于：所述的定位套(2)下端的内壁向内侧凸出形成为环形的筒体搭放凸沿(3)，筒体搭放凸沿(3)的内径与筒体内径相等，筒体搭放凸沿(3)上与筒体下端面相对应的位置设置有与下阶梯状结构形状相匹配的定位沿，筒体借助下阶梯...
【专利技术属性】
技术研发人员：李德建，
申请(专利权)人：河北宁通电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
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