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分体式坩埚筒制造技术
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文档序号:16942999
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本实用新型公开了分体式坩埚筒,属于单晶炉技术领域,筒体是由结构相同且同轴设置的至少两个筒体单元拼接而成的分体式结构,所有的筒体单元沿竖直方向设置,筒体单元内壁的上端位于外壁上端的上方使筒体单元上端面形成为外低内高的上阶梯状结构,筒体单元下端...
该专利属于河北宁通电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北宁通电子材料有限公司授权不得商用。
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