用于传送托盘的托盘发动机制造技术

一种托盘发动机，包括竖直驱动柱，用于旋转竖直驱动柱的旋转机构，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括滑动件，其被附连到末端执行器底座以支撑托盘，当出现时。滑动件能使托盘沿着末端执行器底座的长度滑动。托盘发动机包括驱动机构，其被附连到末端执行器底座用于沿着末端执行器底座的长度运动以能使托盘(如果出现的话)沿着所述长度线性地滑动并装载托盘到滑动件或者从滑动件卸载托盘。

Tray engine for conveying pallets

A tray engine, including a vertical drive column, a rotating mechanism for rotating a vertical drive column, and an end actuator attached to a vertical drive column. The end actuators include the end actuators attached to the vertical drive column. The end executor further includes a slider which is attached to the end of the actuator base to support the tray when it appears. The slider allows the tray to slide along the length of the end of the actuator base. The pallet engine includes a driving mechanism, which is attached to the end effector base and is used to move along the length of the end actuator base, so that the tray can be slid along the length linearly and load the tray to the sliding part or the unloading tray from the sliding part.

【技术实现步骤摘要】
用于传送托盘的托盘发动机本申请是申请日为2014年3月13日、申请号为201480021125.0、专利技术名称为“用于传送托盘的托盘发动机”的专利技术专利申请的分案申请。专利技术人：A.C.博诺拉、B.康皮安、J.P.亨德森、R.W.卡尔森
技术介绍
托盘(tray)用来在制造设施中运送(transport)许多的装置和材料。例如，托盘用来运送脱氧核糖核酸(DNA)样品，半导体晶圆裸片(waferdie)，药品等。托盘可在建筑物内或穿过建筑物被运送。有时托盘被放置在托盘堆支架中以保护托盘防止在运送期间掉落。多个这样的托盘堆支架用来运送所述托盘。并且，托盘在托盘堆支架之间传送。例如，一托盘堆支架可被指定发送到实体A且另一个托盘堆支架可被指定发送到实体B。包括具有由实体A提供的技术规格的晶圆裸片的托盘要在托盘堆支架中从一堆支架被传送到指定要发送到实体A的托盘堆支架。类似地，包括用于实体B的晶圆裸片的托盘要在指定用于实体B的托盘堆支架中被传送。然而，托盘在托盘堆之间以将托盘传送到指定用于具体实体的托盘堆的这样的传送(transfer)未必是可用的(available)。
技术实现思路
在一些实施例中，分类器(sorter)被提供以在盒子和指示器(indexer)之间传送托盘。分类器包括托盘发动机(trayengine)，托盘发动机进一步包括竖直驱动机构。竖直驱动机构使用电机是可旋转的。而且，竖直驱动机构被连接到末端执行器。末端执行器包括夹持(grip)托盘并在盒子和指示器之间传送托盘的夹具组件。竖直驱动机构被旋转以旋转末端执行器从而面对盒子或者指示器。例如，当托盘要被取回或者被输送到指示器时，末端执行器被旋转以面对指示器，当托盘要被取回或者被输送到盒子时，末端执行器被旋转以面对盒子。所述夹具组件在水平方向线性地运动以从盒子或者指示器夹持托盘或者输送托盘到盒子或者指示器。在各个实施例中，识别托盘的信息在当托盘在指示器和分类器之间传送或者在盒子和分类器之间传送时被阅读。信息和分类器的标识允许托盘的排序，特征化和分类，用于传送托盘到指定被发送到希望的实体的盒子。在各个实施例中，用于传送托盘的分类器被描述。分类器包括用于从盒子装载或者卸载托盘的装载端口侧，用于从指示器装载或者卸载托盘的指示器侧，以及用于传送托盘(当出现时)在装载端口侧和指示器侧之间的托盘发动机。指示器侧和装载端口侧位于托盘发动机的相反侧上。托盘发动机包括旋转机构，附连到旋转机构的竖直驱动柱，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括末端执行器底座和附连到末端执行器底座的滑动件。末端执行器进一步包括耦连到末端执行器底座的线性驱动机构和附连到线性驱动机构的夹具组件。线性驱动机构用于沿着滑动件水平地运动从而使夹具组件在水平方向上运动。夹具组件在水平方向运动以在装载端口侧或者在指示器侧处装载或卸载一个或更多个托盘(当出现时)。在一些实施例中，托盘发动机被描述。托盘发动机可以是分类器、工具、或装备前端模块(EFEM)的一部分。托盘发动机包括竖直驱动柱，用于旋转竖直驱动柱的旋转机构，和附连到竖直驱动柱的末端执行器。末端执行器包括附连到竖直驱动柱的末端执行器底座。末端执行器进一步包括附连到末端执行器底座以支撑托盘(当出现时)的滑动件。滑动件能使托盘沿着末端执行器底座的长度滑动。托盘发动机包括驱动机构，其附连到末端执行器底座，用于沿着末端执行器底座运动以能使托盘(当出现时)沿着所述长度线性地滑动并且装载托盘到滑动件或者从滑动件卸载托盘。用于传送托盘的末端执行器被描述。末端执行器可以是托盘发动机的一部分。末端执行器包括末端执行器底座，位于末端执行器底座内的滑动底座，经由滑动底座相对于末端执行器底座是可滑动的线性驱动机构，和附连到末端执行器底座以支撑托盘(当出现时)的滑动件。线性驱动机构被构造为使托盘在滑动件上运动。其他的方面将从以下与附图结合的详细描述变得显而易见。附图说明图1A是根据在本公开内容中描述的各个实施例的用于在盒子和指示器之间传送托盘的分类器的示意图；图1B是根据在本公开内容中描述的一些实施例的分类器的顶视图；图1C是根据在本公开内容中描述的若干实施例的具有用于在盒子和指示器之间传送托盘的一个滑动件的分类器的示意图；图2是根据在本公开内容中描述的一些实施例的用来在多个盒子和多个指示器之间传送托盘的分类器的顶视图；图3是根据在本公开内容中描述的各个实施例的用于识别托盘在制造实验室内的位置的系统的顶视图；图4A-4C是根据在本公开内容中描述的若干实施例的装备前端模块(EFEM)的各个侧面的等距视图；图5A和5B是根据在本公开内容中描述的一些实施例的所述分类器的托盘发动机的等距视图；图6A是根据在本公开内容中描述的各个实施例的示出使用照相机和传感器获得与托盘有关的信息的EFEM的一部分的等距视图；图6B是根据在本公开内容中描述的一些实施例的示出不同类型的用来识别托盘的信息识别标记的EFEM的装载端口侧的示意图；图6C和6D是根据在本公开内容中描述的各个实施例的示出使用照相机和传感器的EFEM的一部分的等距视图；图7A-7H是根据在本公开内容中描述的若干实施例的示出托盘在EFEM和指示器之间传送的EFEM的指示器侧的视图；图8A-8H是根据在本公开内容中描述的各个实施例的为位于所述分类器内的末端执行器的一部分的夹具组件的视图；图9A-9F是根据在本公开内容中描述的一些实施例的示出托盘在图8A-8H的夹具组件和存储装置之间的传送的视图；图10A-10G是根据在本公开内容中描述的各个实施例的为位于所述分类器内的末端执行器的一部分的夹具组件的视图；图11A-11D是根据在本公开内容中描述的若干实施例的示出托盘在图10A-10G的夹具组件和存储装置之间传送的视图；图12是根据在本公开内容中描述的各个实施例的为位于所述分类器内的末端执行器的一部分的夹具组件的等距视图；图13是根据在本公开内容中描述的一些实施例的为位于分类器内的末端执行器的一部分的夹具组件的等距视图；图14A是根据在本公开内容中描述的各个实施例的夹具组件的等距视图；图14B是根据在本公开内容中描述的若干实施例的当夹具组件已经夹持托盘时图14A的夹具组件的等距视图；图14C是根据在本公开内容中描述的一些实施例的在其中夹具组件也许已经错过夹持托盘的位置中图14A的夹具组件的等距视图；图14D是根据在本公开内容中描述的若干实施例的图14A的夹具组件的右臂的等距视图；图14E是根据在本公开内容中描述的若干实施例的图14D的右臂的等距视图；图14F是根据在本公开内容中描述的各个实施例的其中所述夹具组件将要夹持托盘或者刚释放托盘的图14A的夹具组件的夹具主体的实施例的底部等距视图；图14G是根据在本公开内容中描述的一些实施例的其中所述夹具组件已经夹持托盘的图14F的夹具主体的实施例的底部等距视图。具体实施方式在以下描述中，许多具体的细节被阐述以便提供对在本公开内容中描述的各个实施例的彻底的了解。然而，对本领域内的技术人员将显而易见的是在本公开内容中描述的各个实施例可被实施为没有一些或所有的这些具体细节。在其他情况下，众所周知的工艺操作没有被详细描述以便不致使在本公开内容中描述的若干实施例不必要地晦涩。虽然各个实施例在下面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于传送托盘的分类器，包括：用于从盒子装载或者卸载托盘的装载端口侧；用于从指示器装载或者卸载托盘的指示器侧；以及用于当出现托盘时在所述装载端口侧和所述指示器侧之间传送该托盘的托盘发动机，所述指示器侧和所述装载端口侧位于所述托盘发动机的相反侧上，其中所述托盘发动机包括：旋转机构；附连到所述旋转机构的竖直驱动柱；以及附连到所述竖直驱动柱的末端执行器，该末端执行器包括：末端执行器底座；以及附连到所述末端执行器底座的滑动件；耦连到所述末端执行器底座的线性驱动机构；以及附连到所述线性驱动机构的夹具组件，所述线性驱动机构用于沿着所述滑动件水平地运动以使所述夹具组件在水平方向上运动，所述夹具组件在所述水平方向上运动以当出现一个或更多个托盘时在所述装载端口侧或者在指示器侧装载或卸载该一个或更多个托盘。

【技术特征摘要】
2013.03.14 US 13/830,6921.一种用于传送托盘的分类器，包括：用于从盒子装载或者卸载托盘的装载端口侧；用于从指示器装载或者卸载托盘的指示器侧；以及用于当出现托盘时在所述装载端口侧和所述指示器侧之间传送该托盘的托盘发动机，所述指示器侧和所述装载端口侧位于所述托盘发动机的相反侧上，其中所述托盘发动机包括：旋转机构；附连到所述旋转机构的竖直驱动柱；以及附连到所述竖直驱动柱的末端执行器，该末端执行器包括：末端执行器底座；以及附连到所述末端执行器底座的滑动件；耦连到所述末端执行器底座的线性驱动机构；以及附连到所述线性驱动机构的夹具组件，所述线性驱动机构用于沿着所述滑动件水平地运动以使所述夹具组件在水平方向上运动，所述夹具组件在所述水平方向上运动以当出现一个或更多个托盘时在所述装载端口侧或者在指示器侧装载或卸载该一个或更多个托盘。2.根据权利要求1所述的分类器，其中所述旋转机构被构造为旋转所述竖直驱动柱和所述末端执行器。3.根据权利要求1所述的分类器，其中所述竖直驱动柱被构造为竖直地向上和向下驱动所述末端执行器。4.根据权利要求1所述的分类器，进一步包括第二滑动件，该第二滑动件位于所述滑动件的顶部或底部上。5.根据权利要求1所述的分类器，其中所述滑动件包括两个臂，所述夹具组件在水平方向上运动以使托盘在...

【专利技术属性】
技术研发人员：AC博诺拉，B康皮安，JP亨德森，RW卡尔森，
申请(专利权)人：布鲁克斯自动化公司，
类型：发明
国别省市：美国,US