脱气装置以及涂布装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种脱气装置以及涂布装置。脱气装置具有：主配管(61)，连接作为供给源的第1槽罐(81)与作为供给目标的第2槽罐(82)，且具有大致水平地延伸的水平部(611)；以及脱气配管(62)，从水平部(611)朝向上方延伸。因此，能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种去除液体中的溶解气体的脱气装置、具备该脱气装置的涂布装置。
技术介绍
以往，在液晶显示装置用玻璃基板、半导体晶片(wafer)、等离子体显示板(PlasmaDisplayPanel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photomask)用玻璃基板、彩色滤光器(colorfilter)用基板、记录盘(disk)用基板、太阳能电池用基板、电子纸(paper)用基板等精密电子装置用基板的制造工序中，使用在基板表面涂布光致抗蚀剂(photoresist)等液体的涂布装置。关于以往的涂布装置，例如在专利文献1中有所记载。专利文献1的涂布装置对于由沿水平方向移动自如的载台(stage)吸附保持的基板，从具有狭缝(slit)状喷出口的缝模(slitdie)喷出涂布液。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2009-241056号公报
技术实现思路
[技术所要解决的问题]此种涂布装置中，若在液体中存在溶解气体，则在缝模中容易发生所谓的“起泡”。若发生“起泡”，将无法从喷出口均匀地涂布液体，涂布膜的均匀性有时会下降。因此，以往会进行从涂布前的液体中去除溶解气体的脱气处理。以往的涂布装置中，通过将贮存有涂布前的液体的容器内设为负压，从而预先使液体中的溶解气体气泡化。在液体的粘度低的情况下，能够容易地使液体中产生的气泡上浮至液面，以排出到容器外。然而，在使用高粘度液体的情况下，气泡上浮至液面需要非常长的时间。尤其存在气泡越细小越难上浮的倾向。因此，以往的方法存在无法效率良好地对高粘度液体进行脱气的问题。近年来，在柔性元件(flexibledevice)或电池的制造工序中，对作为处理对象的面涂布高粘度液体的装置的需求正在提高。伴随于此，正寻求一种能够效率良好地从高粘度液体中去除溶解气体的技术。本技术是有鉴于此种状况而完成，其目的在于提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的脱气装置以及具备该脱气装置的涂布装置。[解决问题的技术手段]为了解决所述问题，本申请的第1技术是一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置包括：主配管，连接作为供给源的第1槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部；脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及控制部，控制所述多个阀及所述减压部。本申请的第2技术根据第1技术的脱气装置，其中，所述多个阀包括：第1阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更上游侧；第2阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更下游侧；以及第3阀，设置在所述脱气配管的路径上。本申请的第3技术根据第2技术的脱气装置，其中，所述脱气配管包括：第1纵管，从所述水平部朝向上方延伸；横管，从所述第1纵管的上端以比所述第1纵管更接近水平的角度朝向侧方延伸；以及第2纵管，从所述横管的另一端朝向上方延伸，在所述第2纵管中设置有所述第3阀。本申请的第4技术根据第3技术的脱气装置，其中，所述横管的第2纵管侧的端部是与所述横管的第1纵管侧的端部同等的高度或比之更高，所述横管相对于水平面的角度为0°以上且45°以下。本申请的第5技术根据第3技术或第4技术的脱气装置，其中，所述第2纵管具有所述横管以上的容积。本申请的第6技术根据第2技术至第5技术中任一实用新型的脱气装置，其中，所述脱气配管至少包括：第1脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；以及第2脱气配管，从所述水平部的所述第1脱气配管更下游侧的位置朝向上方延伸，所述第1阀设置在所述主配管的路径上的与所述第1脱气配管的连接部更上游侧，所述第2阀设置在所述主配管的路径上的与所述第2脱气配管的连接部更下游侧，所述第3阀设置在所述第1脱气配管及所述第2脱气配管各自的路径上。本申请的第7技术根据第6技术的脱气装置，其中，所述第1脱气配管的上端部与所述第2脱气配管的上端部通过朝向斜上方延伸的倾斜配管而连接于1根排出配管。本申请的第8技术根据第2技术至第7技术中任一实用新型的脱气装置，其还包括：第4阀，设置在所述脱气配管与所述减压部之间。本申请的第9技术根据第1技术至第8技术中任一实用新型的脱气装置，其还包括：加热器(heater)，对所述主配管内的液体进行加热。本申请的第10技术根据第1技术至第9技术中任一实用新型的脱气装置，其中，所述主配管包括在所述第1槽罐与所述第2槽罐之间并联连接的多个所述水平部，所述脱气配管从多个所述水平部分别朝向上方延伸。本申请的第11技术是一种涂布装置，对作为处理对象的面涂布液体，所述涂布装置包括：根据第1技术至第10技术中任一技术的脱气装置；喷嘴(nozzle)，具有喷出流体的喷出口；以及供给机构，从所述第2槽罐对所述喷嘴供给液体。本申请的第12技术根据第11技术的涂布装置，其还包括：搅拌脱气机构，在所述第2槽罐内搅拌液体并对其进行脱气。本申请的第13技术根据第11技术或第12技术的涂布装置，其还包括：异物去除过滤器，设置在所述主配管的路径上。(技术效果)根据本申请的第1技术～第13技术，通过减压而在液体中产生的气泡借助主配管内的液体的流动而聚集到主配管的上缘部。因此，该气泡从主配管的水平部进入脱气配管。并且接续排出滞留在脱气配管内的气泡。由此，即使在液体的粘度高的情况下，也能够去除液体中的溶解气体。尤其，根据本申请的第2技术，滞留在脱气配管的第3阀更下侧的气泡与脱气配管内的气泡更上侧的液体进行置换，从而被排出至上侧。由此，能够效率良好地从脱气配管中排出气泡。尤其，根据本申请的第3技术，从主配管的水平部进入第1纵管内的气泡聚集在横管内，而成长为大的气泡。并且，该大的气泡经由第2纵管而排出到外部。由此，能够降低随气体一起排出的液体的量。即，能够效率良好地从液体中仅去除溶解气体。尤其，根据本申请的第4技术，能够使气泡在横管内更有效地成长。尤其，根据本申请的第5技术，能够以贮存在第2配管中的液体来更确实地置换横管内的气泡。尤其，根据本申请的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置的特征在于包括：主配管，连接作为供给源的第1槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部；脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及控制部，控制所述多个阀及所述减压部。

【技术特征摘要】
2015.02.18 JP 2015-0291491.一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置的特征在于包
括：
主配管，连接作为供给源的第1槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具
有大致水平地延伸的水平部；
脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；
多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；
减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所
述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及
控制部，控制所述多个阀及所述减压部。
2.根据权利要求1所述的脱气装置，其特征在于，
所述多个阀包括：
第1阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更上游
侧；
第2阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更下游
侧；以及
第3阀，设置在所述脱气配管的路径上。
3.根据权利要求2所述的脱气装置，其特征在于，
所述脱气配管包括：
第1纵管，从所述水平部朝向上方延伸；
横管，从所述第1纵管的上端以比所述第1纵管更接近水平的角度朝向
侧方延伸；以及
第2纵管，从所述横管的另一端朝向上方延伸，
在所述第2纵管中设置有所述第3阀。
4.根据权利要求3所述的脱气装置，其特征在于，
所述横管的第2纵管侧的端部是与所述横管的第1纵管侧的端部同等的
高度或比之更高，
所述横管相对于水平面的角度为0°以上且45°以下。
5.根据权利要求3或4所述的脱气装置，其特征在于，
所述第2纵管具有所述横管以上的容积。
6.根据权利要求2至4中任一项所述的脱气装置，其特征在于，
所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：时枝大佐，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：新型
国别省市：日本;JP