【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体制造设备
,尤其是涉及一种电泳机的机械传动装置。
技术介绍
电泳设备主要用于硅片PN结沟槽中快速附着玻璃粉,利用电泳法将玻璃粉均匀的沉积在硅PN结台面沟槽中,最后在温度800℃的纯氧气条件下,将电泳处理后硅片进行玻璃烧成,在电泳的工艺过程中,机械传动装置必不可少,但现有的电泳机上应用的机械运动系统下降速度较慢,且在上升过程中有抖动的现象。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种电泳机的机械传动装置,以解决现有机械运动系统下降速度较慢,上升过程中有抖动的问题。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种电泳机的机械传动装置,包括提升基板,所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆,每根导向杆的上部和中部由轴承固定,所述两导向杆中段之间固定有平衡臂,所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆,所述提升连杆上部由轴承固定,所述平衡臂下端正对所述提升连杆处设有电缸,所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上,所述提升架载板的侧面上设有提升左臂和提升右臂,所述提升左臂与提升右臂之间固定有提升架固定连杆,所述提升基板上还设有光电安装座,所述光电安装座上设置有光电开关。进一步的,所述提升左臂和提升右臂的前端设有固定销。进一步的,所述提升左臂、提升右臂与提升架载板的连接处设有提升连接块。进一步的,所述提升连杆与所述平衡臂的连接处设有卧式支架。进一步的,所述轴承为滚动轴承。相对于现有技术,本技术所述的电泳机的机械传动装置具有以下优势:通过采用上述技术方案,使得下降速度提高,同时上升过程中能够缓慢上升,有效克服了上升过程中的抖 ...
【技术保护点】
一种电泳机的机械传动装置,其特征在于:包括提升基板(1),所述提升基板(1)上平行放置有两根沿所述提升基板(1)长度方向延伸的导向杆(3),每根导向杆(3)的上部和中部由轴承(2)固定,所述两导向杆(3)中段之间固定有平衡臂(7),所述平衡臂(7)的中部上端固定有提升连杆(4),所述提升连杆(4)上部由轴承(2)固定,所述平衡臂(7)下端正对所述提升连杆(4)处设有电缸(5),所述导向杆(3)和提升连杆(4)的上端固定在提升架载板(6)的底面上,所述提升架载板(6)的侧面上设有提升左臂(11)和提升右臂(12),所述提升左臂(11)与提升右臂(12)之间固定有提升架固定连杆(13),所述提升基板(1)上还设有光电安装座(9),所述光电安装座(9)上设置有光电开关(10)。
【技术特征摘要】
1.一种电泳机的机械传动装置,其特征在于:包括提升基板(1),所述提升基板(1)上平行放置有两根沿所述提升基板(1)长度方向延伸的导向杆(3),每根导向杆(3)的上部和中部由轴承(2)固定,所述两导向杆(3)中段之间固定有平衡臂(7),所述平衡臂(7)的中部上端固定有提升连杆(4),所述提升连杆(4)上部由轴承(2)固定,所述平衡臂(7)下端正对所述提升连杆(4)处设有电缸(5),所述导向杆(3)和提升连杆(4)的上端固定在提升架载板(6)的底面上,所述提升架载板(6)的侧面上设有提升左臂(11)和提升右臂(12),所述提升左臂(11)与提升右臂(12)之间固定有提升架...
【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉,张学强,贾弘源,王国瑞,高树良,赵晓光,
申请(专利权)人:天津中环半导体股份有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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