一种单片清洗设备的腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘、轴承马达、喷嘴和喷嘴帽，所述轴承马达镶嵌在所述腔体吸盘的中间，所述喷嘴安插在所述轴承马达上，所述喷嘴帽套装在所述喷嘴上，且喷嘴帽将轴承马达封装在腔体吸盘的中间，在所述喷嘴帽的外边缘与所述腔体吸盘的上表面相接触的位置上设有一圈第一卡槽，在所述腔体吸盘上与所述第一卡槽相接触的位置上设有一圈第二卡槽，且所述第一卡槽与所述第二卡槽相对，所述第一卡槽和第二卡槽之间固定填充有O型圈，所述O型圈将所述第一卡槽和第二卡槽密封连接。本实用新型专利技术防止轴承马达中磁性流体漏出腔体吸盘顶端对晶圆正面造成原油缺陷；同时可以减少设备工程师定期清理喷嘴帽及轴承马达的安装。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单片清洗设备，具体的涉及一种单片清洗设备的腔体。
技术介绍
湿法清洗设备对单片晶圆清洗过程中会用到清洗液，在进行晶圆背面清洗时，会使用清洗液喷嘴从腔体吸盘底端喷出清洗液用来冲洗晶圆正面，利用轴承马达的对流和旋转产生的离心力保证冲洗过程中腔体吸盘顶端喷到晶圆背面的清洗液不会顺流到晶圆正面，同时喷嘴帽起到固定喷嘴位置、保护喷嘴以及阻绝外环境的目的；但是，喷嘴帽与腔体吸盘之间存在缝隙，随着时间积累，轴承电机中的磁性流体不可避免的通过缝隙到达腔体吸盘的表面，并在清洗的过程污染晶圆正面造成原油缺陷。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能减少原油缺陷的单片清洗设备的腔体。本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘、轴承马达、喷嘴和喷嘴帽，所述轴承马达镶嵌在所述腔体吸盘的中间，所述喷嘴安插在所述轴承马达上，所述喷嘴帽套装在所述喷嘴上，且所述喷嘴帽将所述轴承马达封装在所述腔体吸盘的中间，在所述喷嘴帽上的外边缘与所述腔体吸盘的上表面相接触的位置上设有一圈第一卡槽，在所述腔体吸盘上与所述第一卡槽相接触的位置上设有一圈第二卡槽，且所述第一卡槽与所述第二卡槽相对，所述第一卡槽和第二卡槽之间固定填充有O型圈，所述O型圈将所述第一卡槽和第二卡槽密封连接。本技术的有益效果是：本技术一种单片清洗设备的腔体通过对喷嘴帽和腔体吸盘表面接触部位的改造，达到密封轴承马达环境的目的，防止轴承马达中磁性流体漏出腔体吸盘顶端对晶圆正面造成原油缺陷；同时可以减少设备工程师定期清理喷嘴帽及轴承马达的安装。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。进一步，所述喷嘴帽和腔体吸盘之间通过六角螺丝钉锁紧，所述六角螺丝钉的螺杆穿过所述喷嘴帽并连接至所述腔体吸盘内。进一步，所述六角螺丝钉设有六个，六个所述六角螺丝钉沿所述O型圈的外边缘均匀分布。进一步，所述第一卡槽和第二卡槽的纵截面均为半圆形。附图说明图1为本技术一种单片清洗设备的腔体的截面图；图2为本技术一种单片清洗设备的腔体的俯视图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、腔体吸盘，2、轴承马达，3、喷嘴，4、喷嘴帽，5、第一卡槽，6、和卡槽，7、O型圈，8、六角螺丝钉。具体实施方式以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。如图1和图2所示，一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘1、轴承马达2、喷嘴3和喷嘴帽4，所述轴承马达2镶嵌在所述腔体吸盘1的中间，所述喷嘴3安插在所述轴承马达2上，所述喷嘴帽4套装在所述喷嘴3上，且所述喷嘴帽4将所述轴承马达2封装在所述腔体吸盘1的中间，在所述喷嘴帽4的外边缘与所述腔体吸盘1的上表面相接触的位置上设有一圈第一卡槽5，在所述腔体吸盘1上与所述第一卡槽5相接触的位置上设有一圈第二卡槽6，且所述第一卡槽5与所述第二卡槽6相对，所述第一卡槽5和第二卡槽6之间固定填充有O型圈7，所述O型圈7将所述第一卡槽5和第二卡槽6密封连接。具体的：所述喷嘴帽4和腔体吸盘1之间通过六角螺丝钉8锁紧，所述六角螺丝钉8的的螺杆穿过所述喷嘴帽4并连接至所述腔体吸盘1内。所述六角螺丝钉8设有六个，六个所述六角螺丝钉8沿所述O型圈7的外边缘均匀分布。所述第一卡槽5和第二卡槽6的纵截面均为半圆形。本技术通过对喷嘴帽和腔体吸盘表面卡槽的设计改造，另通过O型圈和六角螺丝钉的固定能有效避免轴承马达在清洗过程中产生的次性流体通过喷嘴帽和腔体吸盘之间的缝隙污染晶圆正面。基于轴承马达产生的磁性流体是一直存在的现状，通过本技术的改进，可以根据实际情况设定更换O型圈及清洁轴承马达的时间，更换及清洗的周期一般为一年，这样，大大减轻了设备工程师的维护设备的压力。本技术可以应用于所有单片清洗设备中清洁晶圆背面时使用清洗液的情况。本技术一种单片清洗设备的腔体通过对喷嘴帽和腔体吸盘表面接触部位的改造，达到密封轴承马达环境的目的，防止轴承马达中磁性流体漏出腔体吸盘顶端对晶圆正面造成原油缺陷；同时可以减少设备工程师定期清理喷嘴帽及轴承马达的安装。以上所述仅为本技术的较佳实施例，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘(1)、轴承马达(2)、喷嘴(3)和喷嘴帽(4)，所述轴承马达(2)镶嵌在所述腔体吸盘(1)的中间，所述喷嘴(3)安插在所述轴承马达(2)上，所述喷嘴帽(4)套装在所述喷嘴(3)上，且所述喷嘴帽(4)将所述轴承马达(2)封装在所述腔体吸盘(1)的中间，其特征在于：在所述喷嘴帽(4)的外边缘与所述腔体吸盘(1)的上表面相接触的位置上设有一圈第一卡槽(5)，在所述腔体吸盘(1)上与所述第一卡槽(5)相接触的位置上设有一圈第二卡槽(6)，且所述第一卡槽(5)与所述第二卡槽(6)相对,所述第一卡槽(5)和第二卡槽(6)之间填充有O型圈(7)，所述O型圈(7)将所述第一卡槽(5)和第二卡槽(6)密封连接。

【技术特征摘要】
1.一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘(1)、轴承马达(2)、喷嘴(3)和喷嘴帽(4)，所述轴承马达(2)镶嵌在所述腔体吸盘(1)的中间，所述喷嘴(3)安插在所述轴承马达(2)上，所述喷嘴帽(4)套装在所述喷嘴(3)上，且所述喷嘴帽(4)将所述轴承马达(2)封装在所述腔体吸盘(1)的中间，其特征在于：在所述喷嘴帽(4)的外边缘与所述腔体吸盘(1)的上表面相接触的位置上设有一圈第一卡槽(5)，在所述腔体吸盘(1)上与所述第一卡槽(5)相接触的位置上设有一圈第二卡槽(6)，且所述第一卡槽(5)与所述第二卡槽(6)相对,所述第一卡槽(5)和第二卡槽(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琤，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42