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本实用新型涉及一种单片清洗设备的腔体，包括腔体吸盘、轴承马达、喷嘴和喷嘴帽，所述轴承马达镶嵌在所述腔体吸盘的中间，所述喷嘴安插在所述轴承马达上，所述喷嘴帽套装在所述喷嘴上，且喷嘴帽将轴承马达封装在腔体吸盘的中间，在所述喷嘴帽的外边缘与所述腔...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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