声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器制造技术

提供一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器，所述声波谐振器包括：基板；谐振部件，设置在基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极；以及盖，设置在基板的第一表面上并且包括容纳谐振部件的容纳部分。谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作：从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号，其中，第一装置基板被设置成在与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面，第二装置基板被设置在所述盖上。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2015年9月11日提交到韩国知识产权局的第10-2015-0128940号韩国专利申请的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
本申请涉及一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。
技术介绍
随着移动通信装置、化学装置以及生物装置的快速发展，对于紧凑型和轻型滤波器、振荡器、谐振元件、声波共谐振质量传感器的需求也随之增加。作为实现紧凑型和轻型滤波器、振荡器、谐振元件和声波共振质量传感器的装置，薄膜体声波谐振器(以下简称“FBAR”)在现有技术中已经公知。FBAR的优势在于它可以以最小的成本进行量产并且可实现超小型化。进一步地，FBAR的优势还在于：它具有高品质因数Q(滤波器的主要性质)，甚至可以用于微波频段，并可在高达个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的频段的频率运行。通常，FBAR具有包括谐振部件的结构，该谐振部件通过在基板上顺序堆叠第一电极、压电层和第二电极而形成。下面将对FBAR的工作原理进行描述。首先，当通过向第一电极和第二电极施加电能而使压电层包括电场时，电场会在压电层中产生压电现象，从而使谐振部件沿着预定的方向振动。因此，在与谐振部件的振动方向相同的方向上产生体声波，从而产生谐振。
技术实现思路
提供该
技术实现思路
以简化的形式对挑选出来的构思进行描述，并在具体实施方式中对所述构思进行进一步描述。本
技术实现思路
既不意在限定所要求保护的主题的主要特征或必要特征，也不意在帮助确定所要求保护的主题的范围。一个总的方面，声波谐振器包括：基板；谐振部件，设置在基板的第一表面并包括第一电极、压电层和第二电极；以及盖，设置在基板的第一表面上并且包括容纳谐振部件的容纳部分；其中，谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作：从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号，其中，第一装置基板被设置成在基板的与基板的第一表面的相对侧，面对基板的第二表面，第二装置基板设置在盖上。声波谐振器还可包括：第一连接图案，设置在沿基板的厚度方向穿透基板的第一过孔的内表面上，第一连接图案连接到第一电极上；第二连接图案，设置在基板的厚度方向上穿透基板的第二过孔的内表面上，第二连接图案连接到第二电极；第一基板连接垫，设置在基板的第二表面上并连接到第一连接图案；以及第二基板连接垫，设置在基板的第二表面上并连接到第二连接图案。第一装置基板可连接到第一基板连接垫和第二基板连接垫；并且谐振部件还可被构造成通过从第一装置基板输出到第一基板连接垫和第二基板连接垫中的任意一个或者两个的信号进行操作。声波谐振器还可包括穿透容纳部分并连接到第一电极的第一连接电极；穿透容纳部分并连接到第二电极的第二连接电极；设置在盖的外表面上并连接到第一连接电极的第一盖连接垫；以及设置在盖的外表面上并连接到第二连接电极的第二盖连接垫。第二装置基板可连接到第一盖连接垫和第二盖连接垫；并且谐振部件还可被构造成通过从第二装置基板输出到第一盖连接垫和第二盖连接垫中的任意一个或者两个的信号进行操作。第一连接电极可直接连接到第一连接图案；并且第二连接电极可直接连接到第二连接图案。第一盖连接垫、第一连接电极、第一连接图案和第一基板连接垫可在第一装置基板和第二装置基板之间形成第一信号连接通道；并且第二盖连接垫、第二连接电极、第二连接图案和第二基板连接垫可在第一装置基板和第二装置基板之间形成第二信号连接通道。另一总的方面，声波谐振器组件包括接收声波谐振器和发送声波谐振器，所述接收声波谐振器和所述发送声波谐振器各自包括：基板；谐振部件，设置在基板的第一表面上并且包括第一电极、压电层和第二电极；盖，设置在基板的第一表面上并包括容纳谐振部件的容纳部分；以及基板连接垫，设置在所述基板的第二表面上，第二表面位于所述基板的与基板的第一表面的相对侧；其中，发送声波谐振器还包括：盖连接垫，设置在盖的外表面上；并且声波谐振器组件还包括：第一装置基板，具有连接到接收声波谐振器的基板连接垫的第一表面和连接到发送声波谐振器的盖连接垫的第二表面；以及第二装置基板，具有连接到发送声波谐振器的基板连接垫的表面。接收声波谐振器被构造成通过从第一装置基板输出到接收声波谐振器的基板连接垫的信号进行操作。发送声波谐振器被构造成通过从第一装置基板输出到发送声波谐振器的盖连接垫的信号以及从第二装置基板输出到发送声波谐振器的基板连接垫的信号中的任意一个或者两个进行操作。发送声波谐振器被构造成作为第一装置基板和第二装置基板之间的信号连接通道。另一总的方面，声波谐振器包括：基板；谐振部件，设置在基板的第一表面上；盖，设置在基板的第一表面上并且覆盖谐振部件；基板连接垫，设置在所述基板的第二表面上，第二表面位于所述基板的与基板的第一表面的相对侧；以及第一导电通路，将基板连接垫连接到谐振部件。声波谐振器还可包括：盖连接垫，设置在盖的表面上，所述盖的表面与基板的第一表面平行；以及第二导电通路，将盖连接垫连接到谐振部件。谐振部件可包括：第一电极、第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的压电元件；并且第一导电通路可连接到第一电极或者第二电极。声波谐振器还可包括：盖连接垫，设置在盖的表面上，所述盖的表面与基板的第一表面平行；以及第二导电通路，将盖连接垫连接到第一电极和第二电极中与第一导电通路所连接的相同的一个。谐振部件可被构造成响应于下列信号中的任意一个或两个进行谐振：从第一装置基板输出到基板连接垫的第一信号和从第二装置基板输出到盖连接垫的第二信号。第一装置基板可通过基板连接垫和第一装置基板之间的第一凸起安装在基板上；并且第二装置基板可通过盖连接垫和第二装置基板之间的第二凸块安装在盖上。下面通过具体实施方式、附图以及权利要求，其他特点和方面将是明显的。附图说明图1是示出声波谐振器的示例的截面图。图2是示出声波谐振器的另一示例的截面图。图3是示出声波谐振器组件的示例的示图。图4和图5是示出包括声波谐振器的滤波器的示例的电路示意图。在整个附图和具体实施方式中，相同的编号指示相同的元件。说明书附图可能未按比例绘制，并且为清晰、说明和方便之目的，可夸大附图中元件的相对尺寸、比例和描绘。具体实施方式提供下述具体实施方式，以辅助读者获得对在此所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在此所描述的方法、设备和/或系统的各种变化、修改及其等同物对于本领域普通技术人员来说将是明显的。在此所描述的操作顺序仅为示例，且其不限于在此所述的操作顺序，而是除了必须按照特定顺序进行的操作外，可作出对于本领域普通技术人员将是明显的更改。同时，为更加清楚和简明，可省去本领域普通技术人员熟知的功能和构造的描述。在此所描述的特征可按照不同形式实施，且不应被解释为仅局限于在此所述的示例。更准确的说，提供在此所描述的示例的目的在于使本公开将是彻底的和完整的，并可向本领域普通技术人员传达本公开的全部范围。在整个说明书中，将理解的是，当诸如层、区域或晶圆(基板)等的元件称为“位于”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，该元件可以直接“位于”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件，或者可存在介于两者之间的其他元件。相比之下，当元件称为“直接位于”另一元件“上”、“直接连接到”本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波谐振器，包括：基板；谐振部件，设置在所述基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极；以及盖，设置在所述基板的第一表面上并且包括容纳所述谐振部件的容纳部分；其中，所述谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作：从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号，其中，第一装置基板被设置成在基板的与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面，第二装置基板设置在盖上。

【技术特征摘要】
2015.09.11 KR 10-2015-01289401.一种声波谐振器，包括：基板；谐振部件，设置在所述基板的第一表面上并包括第一电极、压电层和第二电极；以及盖，设置在所述基板的第一表面上并且包括容纳所述谐振部件的容纳部分；其中，所述谐振部件被构造成通过下列信号中的任一个或者两个进行操作：从第一装置基板输出的信号以及从第二装置基板输出的信号，其中，第一装置基板被设置成在基板的与基板的第一表面的相对侧面对基板的第二表面，第二装置基板设置在盖上。2.根据权利要求1所述的声波谐振器，所述声波谐振器还包括：第一连接图案，设置在沿所述基板的厚度方向穿透基板的第一过孔的内表面上，第一连接图案连接到第一电极；第二连接图案，设置在沿所述基板的厚度方向穿透基板的第二过孔的内表面上，第二连接图案连接到第二电极；第一基板连接垫，设置在所述基板的第二表面上并连接到第一连接图案；以及第二基板连接垫，设置在所述基板的第二表面上并连接到第二连接图案。3.根据权利要求2所述的声波谐振器，其中，第一装置基板连接到第一基板连接垫和第二基板连接垫；并且所述谐振部件还被构造成通过从第一装置基板输出到第一基板连接垫和第二基板连接垫中的任意一个或者两个的信号进行操作。4.根据权利要求1所述的声波谐振器，所述声波谐振器还包括：第一连接电极，穿透容纳部分并连接到第一电极；第二连接电极，穿透容纳部分并连接到第二电极；第一盖连接垫，设置在盖的外表面上并连接到第一连接电极；以及第二盖连接垫，设置在盖的外表面上并连接到第二连接电极。5.根据权利要求4所述的声波谐振器，其中，第二装置基板连接到第一盖连接垫和第二盖连接垫；并且所述谐振部件还被构造成通过从第二装置基板输出到第一盖连接垫和第二盖连接垫中的任意一个或者两个的信号进行操作。6.根据权利要求5所述的声波谐振器，其中，第一连接电极直接连接到第一连接图案；并且第二连接电极直接连接到第二连接图案。7.根据权利要求5所述的声波谐振器，其中，第一盖连接垫、第一连接电极、第一连接图案和第一基板连接垫在第一装置基板和第二装置基板之间形成第一信号连接通道；并且第二盖连接垫、第二连接电极、第二连接图案和第二基板连接垫在第一装置基板和第二装置基板之间形成第二信号连接通道。8.一种声波谐振器组件，包括：接收声波谐振器和发送声波谐振器，所述接收声波谐振器和所述发送声波谐振器各自包括：基板；谐振部件，设置在所述基板的第一表面上并且包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴浩洙，申济湜，孙尚郁，李玲揆，李文喆，金德焕，金哲秀，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR