载体的临时保管装置以及保管方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供载体的临时保管装置以及保管方法。即便在高架行走车产生故障、且无法进行高架行走车与控制器的通信的状态下，也能够防止高架行走车与现地台车的干涉。在高架行走车与装载口之间临时保管载体。沿着高架行走车的行走导轨的下方且在装载口的正上方部的现地台车的行走导轨使现地台车行走，并且设置多个缓冲区。高架行走车与上述现地台车经由终端与控制器自由进行通信，将检测高架行走车的起重机的构成要素以及升降中的载体的传感器设置于不与现地台车发生干涉的高度，当传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，限制上述现地台车的行走。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及收纳半导体晶片等的载体的临时保管。
技术介绍
为了增加半导体处理装置的运转率，要求在其装载口的附近设置临时保管装置(缓冲区)。关于此申请人在专利文献1(JP2012-111635)中提出了与高架行走车(OHT：OverheadHoistTransport)的行走导轨平行且在其下方设置现地(local)台车的行走导轨的方案。并且，如果将现地台车与高架行走车的双方能够移载的缓冲区设置在现地台车的行走导轨的下方且在装载口的正上方以外的部分，则例如能够设置4个缓冲区。在缓冲区的个数不够的情况下，考虑在高架行走车与现地台车追加载体的横向输送机构，在现地台车的行走导轨的斜下方追加缓冲区。申请人在专利文献2(WO2013/183384)中提出了通过基于通信终端的排他控制实现高架行走车与现地台车的干涉的方案。即，沿着高架行走车的行走导轨以及现地台车的行走导轨配置通信终端，当高架行走车先开始通信时，禁止现地台车的进入，当现地台车先开始通信时，禁止高架行走车的移载。由此，进行排他控制，以避免现地台车进入高架行走车移载载体中的位置。专利文献1：JP2012-111635专利文献2：WO2013/183384专利技术人发现即便如专利文献2那样也有可能产生高架行走车与现地台车的干涉。即，假设高架行走车在取得优先权并开始移载之后，因某种原因而发生错误。如果高架行走车发生错误，则与高架行走车进行联合作业的控制器也处于错误状态。由于通过手动检查处于高处的高架行走车并使之恢复(复原)需要时间，因此存在仅先恢复控制器的情况。此时，由于高架行走车发生错误，因此存在不朝通信终端输出移载信号的可能性。于是，存在控制器判断为现地台车的行走不存在障碍，而使现地台车朝高架行走车进行移载中的位置行走。
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种即便高架行走车发生错误，也能够可靠地防止现地台车与高架行走车的干涉。尤其是能够无需等待高架行走车的复原(恢复)便进行现地台车的行走。本专利技术的临时保管装置在沿着行走导轨行走且具备使载体升降的起重机的高架行走车与处理装置的装载口之间临时保管载体。本专利技术的位置时保管装置具备：现地台车，该现地台车具备使载体升降的起重机且行走自如；现地台车的行走导轨，该现地台车的行走导轨设置在高架行走车的行走导轨的下方，且设置在装载口的正上方部；多个缓冲区，上述多个缓冲区沿着上述现地台车的行走导轨设置，且在上述多个缓冲区，高架行走车与上述现地台车均自由地载置载体；控制器，该控制器对上述现地台车进行控制；以及传感器，该传感器设置在不与上述现地台车发生干涉的高度，且对高架行走车的起重机的构成要素以及利用起重机进行升降中的载体进行检测，上述控制器通过与高架行走车的通信避免高架行走车与现地台车的干涉，并且，上述控制器构成为，当上述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，限制上述现地台车的行走。本专利技术还提供一种临时保管方法，被用于临时保管装置，在沿着行走导轨行走且具备使载体升降的起重机的高架行走车与处理装置的装载口之间临时保管载体，其中，临时保管装置具备：现地台车，该现地台车具备使载体升降的起重机，且行走自如；现地台车的行走导轨，该现地台车的行走导轨设置在高架行走车的行走导轨的下方且设置在装载口的正上方部；多个缓冲区，上述多个缓冲区沿着上述现地台车的行走导轨设置，且在上述多个缓冲区，高架行走车与上述现地台车均自由地载置载体；控制器，该控制器对上述现地台车进行控制；以及传感器，该传感器设置在不与上述现地台车发生干涉的高度，且对高架行走车的起重机的构成要素以及利用起重机进行升降中的载体进行检测，在上述临时保管方法中，上述控制器通过与高架行走车的通信避免高架行走车与现地台车的干涉，并且，当上述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，利用上述控制器限制上述现地台车的行走。在本专利技术中，利用传感器对从高架行走车下降的起重机的构成要素或者载体进行检测。因而，不依赖于高架行走车与控制器间的通信，能够对高架行走车处于移载中的情况进行检测。因此，在高架行走车产生错误后，即使不等待高架行走车的复原便重新开始现地台车的行走，也不会产生问题。优选为，高架行走车的起重机构成为利用悬吊件使装卡载体的升降台升降，上述传感器配置于检测上述悬吊件的位置。在能够检测悬吊件的位置，也能够对升降台、支承于升降台的载体进行检测，因此，能够可靠地检测高架行走车处于移载中的情况。上述现地台车的行走导轨被沿着现地台车的行走方向划分成多个区域，上述传感器针对上述现地台车的行走导轨的各区域的每个区域设置，上述控制器构成为，当上述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，禁止上述现地台车朝检测到起重机的构成要素或者载体的传感器所处的区域进入。由于针对每个区域进行检测，所以能够仅对于高架行走车正在进行移载的区域禁止现地台车的行走，在其他的区域中无需限制现地台车的行走。优选为，上述缓冲区包括滑动缓冲区，该滑动缓冲区在上述现地台车的行走导轨的正下方的位置与退避至行走导轨的侧方的位置之间自由滑动，除了滑动缓冲区以外，也可以在现地台车的导轨的正下方设置固定的固定缓冲区。能够利用装载口的正上方部设置滑动缓冲区，能够设置的缓冲区的个数增多。此外，如果具备起重机的横向输送机构的高架行走车在从现地台车的行走导轨的正下方退避的位置处进行与滑动缓冲区之间的移载，现地台车在行走导轨的正下方的位置进行与滑动缓冲区之间的移载，则能够减少高架行走车与现地台车发生干涉的机会。附图说明图1是实施例的载体的临时保管装置的俯视图。图2是实施例的载体的临时保管装置的局部剖切的侧视图。图3是实施例的载体的临时保管装置的局部剖切的主视图。图4是示意性地示出使容纳能力更大的变形例的俯视图。图5是示意性地示出使容纳能力更大的变形例的侧视图。图6是示意性地示出与小的处理装置对应的变形例的俯视图。图7是滑动缓冲区的俯视图。图8是现地台车的俯视图。图9是示出实施例的现地台车与高架行走车的控制系的框图。图10是示出实施例的联锁机构的框图。图11是示出实施例的基于高架行走车的移载算法的图。图12是示出实施例的高架行走车与现地台车的干涉的避免算法的图。图13是利用支柱从棚顶支承载体的临时保管装置的变形例的局部剖切的侧视图。具体实施方式以下示出用于实施本专利技术的最佳实施例。本专利技术的范围应当基于权利要求书的记载、并参照说明书的记载和本领域中的公知技术根据本领域技术人员的理解确定。实施例在图1～图12中示出实施例的载体的临时保管装置(临时保管装置)2及其变形例。临时保管装置2设置于清洁间内等，从清洁间的棚顶支承图3所示的高架行走车30(OHT)的行走导轨4。6是半导体等的处理装置，在处理装置中包括检查装置，具备1个～多个装载口16。此外，半导体晶片、中间掩模等的物品收纳于FOUP(Front-OpeningUnifiedPod)等的载体18，临时保管于滑动缓冲区12、固定缓冲区14，并且，由高架行走车(OHT)30与现地台车10搬送。临时保管装置2在清洁间内的通路7上配置于不与人发生干涉的高度。现地台车10以装载口16的列的正上方部与处理装置6平行的方式沿着一对行走导轨8、8在临时保管装置2的最上部行走。在行走导轨8、8之间存在载体18能够通过的间隙，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种临时保管装置，在沿着行走导轨行走且具备使载体升降的起重机的高架行走车与处理装置的装载口之间临时保管载体，其中，在所述临时保管装置设置有：现地台车，其具备使载体升降的起重机，且行走自如；现地台车的行走导轨，其设置在高架行走车的行走导轨的下方，且设置在装载口的正上方部；多个缓冲区，该多个缓冲区沿着所述现地台车的行走导轨设置，且在所述多个缓冲区，高架行走车与所述现地台车均自由地载置载体；控制器，其对所述现地台车进行控制；以及传感器，其设置在不与所述现地台车发生干涉的高度，且对高架行走车的起重机的构成要素以及利用起重机进行升降中的载体进行检测，所述控制器通过与高架行走车的通信避免高架行走车与现地台车的干涉，并且，所述控制器构成为，当所述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，限制所述现地台车的行走。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.19 JP 2014-1260161.一种临时保管装置，在沿着行走导轨行走且具备使载体升降的起重机的高架行走车与处理装置的装载口之间临时保管载体，其中，在所述临时保管装置设置有：现地台车，其具备使载体升降的起重机，且行走自如；现地台车的行走导轨，其设置在高架行走车的行走导轨的下方，且设置在装载口的正上方部；多个缓冲区，该多个缓冲区沿着所述现地台车的行走导轨设置，且在所述多个缓冲区，高架行走车与所述现地台车均自由地载置载体；控制器，其对所述现地台车进行控制；以及传感器，其设置在不与所述现地台车发生干涉的高度，且对高架行走车的起重机的构成要素以及利用起重机进行升降中的载体进行检测，所述控制器通过与高架行走车的通信避免高架行走车与现地台车的干涉，并且，所述控制器构成为，当所述传感器检测到起重机的构成要素或者载体时，限制所述现地台车的行走。2.根据权利要求1所述的临时保管装置，其特征在于，高架行走车的起重机构成为利用悬吊件使装卡载体的升降台升降，所述传感器配置于检测所述悬吊件的位置。3.根据权利要求1或2所述的临时保管装置，其特征在于，所述现地台车的行走导轨被沿着现地台车的行走方向划分成多个区域，所述传感器针对所述现地台车...

【专利技术属性】
技术研发人员：高井要，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP