一种用于管式PECVD的陶瓷杆及相应的石墨舟制造技术

一种用于管式PECVD的陶瓷杆，包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。一种石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上开设有通孔，各石墨舟片通过贯穿在通孔内的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨舟片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管，每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母固定在最外侧的两片石墨舟片上；所述陶瓷杆包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上对应于所述石墨螺母开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。本实用新型专利技术结构简单、使用可靠、使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池的制备，尤其涉及一种用于管式PECVD的陶瓷杆及相应的石墨舟。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在所有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。目前，在所有的太阳电池中，晶体硅太阳电池是得到大范围商业推广的太阳能电池之一，这是由于硅材料在地壳中有着极为丰富的储量，同时晶体硅太阳电池相比其他类型的太阳能电池有着优异的电学性能和机械性能，因此，晶体硅太阳电池在光伏领域占据着重要的地位。在晶体硅太阳能电池生产过程中，需要在硅片表面通过PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）设备制备一层氮化硅减反射膜，石墨舟是其中的重要部件，直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质等。在管式PECVD中，各石墨舟片通过陶瓷杆连接构成石墨舟，而陶瓷杆在使用过程中极易断裂，断裂后无法使用，造成生产成本的增加及库存压力的增大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种使用寿命长的用于管式PECVD的陶瓷杆及相应的石墨舟。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于管式PECVD的陶瓷杆，包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。为达到上述目的，本技术采用的另一技术方案是：一种石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上开设有通孔，各石墨舟片通过贯穿在通孔内的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨舟片之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管，每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母固定在最外侧的两片石墨舟片上；所述陶瓷杆包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上对应于所述石墨螺母开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。上述方案中，所述定位结构包括卡齿和卡槽。优选地，所述卡齿设于石墨芯棒的两端的外周面上，所述卡槽对应于卡齿开设于陶瓷套上，卡齿与卡槽配合以实现石墨芯棒和陶瓷套之间的定位。上述方案中，所述石墨芯棒的外表面与陶瓷套的内表面贴合。上述方案中，所述陶瓷套的厚度小于石墨芯棒的直径。上述方案中，所述石墨芯棒沿其轴向为两端细中间粗的结构，石墨芯棒与陶瓷套螺纹段对应的两端的直径小于中间段的直径。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1．本技术在陶瓷套内嵌入石墨芯棒，陶瓷套和石墨芯棒为一体结构，两者之间无缝隙，石墨芯棒不易断裂，即便陶瓷套断裂，由于卡齿存在，陶瓷套不会掉落，仍可继续使用；2. 本技术的使用寿命相较于现有的纯陶瓷杆大大增加；3. 本技术结构简单、使用可靠、适于推广。附图说明图1为本技术实施例一陶瓷杆结构剖视图。图2为本技术实施例二石墨舟片结构示意图。图3为本技术实施例二陶瓷管立体图。图4为本技术实施例二石墨舟结构示意图。其中：1、石墨芯棒；2、陶瓷套；3、螺纹；4、卡齿；5、石墨舟片；6、陶瓷管；7、石墨螺母；8、通孔。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例一：参见图1所示，一种用于管式PECVD的陶瓷杆，包括一石墨芯棒1，石墨芯棒1外设有一陶瓷套2，陶瓷套2两端的外周面上开设有螺纹3；所述石墨芯棒1和陶瓷套2之间设置有定位结构。所述定位结构包括卡齿4和卡槽。所述卡齿4设于石墨芯棒1的两端的外周面上，所述卡槽对应于卡齿4开设于陶瓷套2上，卡齿4与卡槽配合以实现石墨芯棒1和陶瓷套2之间的定位。所述石墨芯棒1的外表面与陶瓷套2的内表面贴合。所述陶瓷套2的厚度小于石墨芯棒1的直径。所述石墨芯棒1沿其轴向为两端细中间粗的结构，石墨芯棒1与陶瓷套2螺纹段对应的两端的直径小于中间段的直径。实施例二：参见图2~图4所示，各石墨舟片5上开设有多个通孔8，各石墨舟片5通过贯穿在通孔8内的陶瓷杆固定连接成舟体，相邻两片石墨舟片5之间的陶瓷杆上套装有陶瓷管6，每个陶瓷杆的两端通过石墨螺母7固定在最外侧的两片石墨舟片5上，以此构成石墨舟。所述石墨芯棒1和陶瓷套2之间设置有定位结构。所述定位结构包括卡齿4和卡槽。所述卡齿4设于石墨芯棒1的两端的外周面上，所述卡槽对应于卡齿4开设于陶瓷套2上，卡齿4与卡槽配合以实现石墨芯棒1和陶瓷套2之间的定位。所述石墨芯棒1的外表面与陶瓷套2的内表面贴合。上述实施例中，在石墨芯棒1的两端设置有定位结构，在实际应用中，石墨芯棒1的中段也可以设置有定位结构，而定位结构除了采用卡齿4以外，还可以采用定位销或粘接定位等方式。上述实施例中，卡齿4设于石墨芯棒1上，卡槽设于陶瓷套2上，在实际应用中，若将卡齿4设于陶瓷套2上，卡槽设于石墨芯棒1上，也可达到相同效果，只要能够实现陶瓷套2断裂后，两端的陶瓷套2仍固定在石墨芯棒1上以阻止陶瓷套2从石墨芯棒1上脱落即可。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。

【技术特征摘要】
1.一种用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：包括一石墨芯棒，石墨芯棒外设有一陶瓷套，陶瓷套两端的外周面上开设有螺纹；所述石墨芯棒和陶瓷套之间至少在石墨芯棒的两端设置有定位结构。2.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：所述定位结构包括卡齿和卡槽。3.根据权利要求2所述的用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：所述卡齿设于石墨芯棒的两端的外周面上，所述卡槽对应于卡齿开设于陶瓷套上，卡齿与卡槽配合以实现石墨芯棒和陶瓷套之间的定位。4.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：所述石墨芯棒的外表面与陶瓷套的内表面贴合。5.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：所述陶瓷套的厚度小于石墨芯棒的直径。6.根据权利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷杆，其特征在于：所述石墨芯棒沿其轴向为两端细中间粗的结...

【专利技术属性】
技术研发人员：张标，党继东，俞亚东，
申请(专利权)人：盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32