【技术实现步骤摘要】
本公开技术一般涉及源测量单元(SMU)电路,并且更具体而言,涉及有源分路电路 技术的某些方面并入到SMU电路中。
技术介绍
典型的有源分路电路一般使用增益和电容来产生虚拟阻抗,虚拟阻抗是实际电阻 除以增益。图1是图示了传统有源分路电路100的示例的电路图。在示例中,所述有源分 路电路100使用增益G 1(S)和电容Ctl来产生虚拟阻抗Zin,虚拟阻抗Zin是实际电阻R tl 除以增益(α)。 图2是图示了传统的两范围自动设换的源测量单元(SMU)电路200的第一示例的 电路图。该SMU电路200包括电压源V-DAC,电流源I-DAC,以及与被测设备(DUT)电耦合 的第一放大器206。 所述SMU电路200还包括在DUT和电流源I-DAC之间或DUT和缓冲器210之间(取 决于第一开关S 1的当前位置)电耦合的第二放大器208。第一增益级放大器212和第二增 益级放大器214被电耦合在DUT和电压源V-DAC之间或DUT和缓冲器210之间,这取决于 第二开关S 2的当前位置。第一电阻器Rtl与DUT和缓冲器210电耦合。第二电阻器R1被电 耦合在第一电阻器R tl和第二电阻器R :之间。 在示例中,当两个开关SdP S 2在如图所示的向下的位置时,所述SMU电路200提 供跨DUT的电压。SMU电路200具有在DUT和电流感应电阻器之间具有相互作用的控制回 路,其可以由下式确定: 其中Rs是第一电阻器Rtl玫弟二电阻益K【主权项】1. 一种用于输出电压和电流到被测设备(DUT)的电路,所述电路包括: 配置成与DUT电耦合的输出;以及 与 ...
【技术保护点】
一种用于输出电压和电流到被测设备(DUT)的电路,所述电路包括:配置成与DUT电耦合的输出;以及与输出电耦合的电源供应电路,其中所述电源供应电路可操作通过改变通过输出提供的电流来调节施加到输出的电压,并且其中所述电源供应电路进一步可操作通过改变施加到输出的电压来调节通过输出提供的电流,所述电源供应包括至少一个检测电阻器,其与输出串联并且可操作来测量通过输出提供的电流,其中,当所述电源供应电路在调节施加到输出的电压时,可控的反馈增益被施加到所述至少一个检测电阻器,以减少对电压调节的表观电阻。
【技术特征摘要】
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