本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物，其不仅维持高感度、透明性以及耐化学品性，并且显影时的密接性优异。上述感光性树脂组合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000。式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)(1)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物(以下有时仅称为“本专利技术的组合物”)。另外，还涉及一种使用上述感光性树脂组合物的硬化膜的制造方法、将感光性组合物硬化而成的硬化膜、使用上述硬化膜的各种图像显示装置。更详细而言，涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光(electroluminescence，EL)显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物以及使用其的硬化膜的制造方法。
技术介绍
在有机EL显示装置、或液晶显示装置等中设置有形成有图案的层间绝缘膜。为了形成该层间绝缘膜，就用于获得所必需的图案形状的步骤数少，而且获得充分的平坦性等而言，广泛使用感光性树脂组合物。感光性树脂组合物例如已知专利文献1中记载的。另外，光致抗蚀剂用途中，作为感光性树脂组合物还已知专利文献2中记载者。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2011-209681号公报[专利文献2]日本专利特开2000-66406号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题此处，感光性树脂组合物要求具有一定水平的感度，另一方面，也正在要求提高显影时的密接性以及耐化学品性。本申请专利技术是以解决上述课题为目的，目的为提供一种不仅维持高感度，而且显影时的密接性以及耐化学品性优异的感光性树脂组合物。进而，目的为提供一种使用此种感光性树脂组合物的硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置、以及液晶显示装置。解决问题的技术手段基于上述状况而发现，通过在包含包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物的组合物中，以一定的比例调配易溶于特定碱溶液中的聚合物，令人惊讶的是，不仅可维持感度，而且可提高显影时的密接性以及耐化学品性，从而完成本专利技术。具体而言，通过以下的解决手段<1>，优选为通过<2>～<11>，来解决上述课题。<1>一种感光性树脂组合物，其含有：(A)包含满足下述(1)及(2)中至少一者的聚合物、以及下述(S)聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，及(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000：式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)··(1)。<2>根据<1>所述的感光性树脂组合物，其中相对于所有固体成分，(S)聚合物的含量为0.5质量％～20.0质量％。<3>根据<1>或<2>所述的感光性树脂组合物，其中(S)聚合物为包括下述构成单元A组群的至少一者的聚合物：构成单元A组群[化1]<4>根据<1>至<3>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中(a2)具有交联性基的构成单元为可与羧基进行反应的交联性基。<5>根据<1>至<4>中任一项所述的感光性树脂组合物，其中(a2)具有交联性基的构成单元是选自具有环氧基及/或氧杂环丁基的构成单元、以及具有由-NH-CH2-O-R(R为氢原子或者碳数1～20的烷基)所表示的基团的构成单元中。<6>根据<1>至<5>中任一项所述的感光性树脂组合物，其为正型。<7>一种硬化膜的制造方法，其包括：(1)将根据<1>至<6>中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；(2)自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；(3)利用光化射线(activerays)对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；(4)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及(5)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。<8>根据<7>所述的硬化膜的制造方法，其中在上述进行显影的步骤后、上述后烘烤步骤前包括对经显影的感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。<9>一种硬化膜，其是利用根据<7>或<8>所述的方法来形成。<10>根据<9>所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。<11>一种有机EL显示装置或者液晶显示装置，其包括根据<9>或<10>所述的硬化膜。专利技术的效果依据本专利技术，可提供不仅维持高感度，而且显影时的密接性以及耐化学品性优异的感光性树脂组合物。附图说明图1表示液晶显示装置的一例的构成概念图。表示液晶显示装置中的有源矩阵基板的示意性剖面图，包括作为层间绝缘膜的硬化膜17。图2表示有机EL显示装置的一例的构成概念图。表示底部发光型有机EL显示装置中的基板的示意性剖面图，包括平坦化膜4。符号的说明1：TFT(薄膜晶体管)2：配线3：绝缘膜4：平坦化膜5：第一电极6：玻璃基板7：接触孔8：绝缘膜10：液晶显示装置12：背光单元14、15：玻璃基板16：TFT17：硬化膜18：接触孔19：ITO透明电极20：液晶22：彩色滤光片具体实施方式以下，对本专利技术的内容进行详细说明。以下记载的构成要件的说明有时基于本专利技术的代表性实施方式来进行，但本专利技术并不限定于此种实施方式。此外，本申请说明书中所谓“～”，是以包含其前后所记载的数值作为下限值以及上限值的含义来使用。此外，本说明书中的基团(原子团)的表述中，未记载经取代以及未经取代的表述不仅包含不具有取代基者，而且也包含具有取代基者。例如所谓“烷基”，不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，而且也包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。本专利技术的感光性树脂组合物(以下有时称为“本专利技术的组合物”)优选为用作正型感光性树脂组合物。本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于含有：(A)包含满足下述(1)及(2)中至少一者的聚合物以及下述(S)聚合物的聚合物成分、(B)光酸产生剂、及(C)溶剂，并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000；(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，及(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物，式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)··(1)根据本专利技术，可提供一种不仅维持高感度，而且显影时的密接性以及耐化学品性优异的感光性树脂组合物。以下，对本专利技术的组合物进行详细说明。<(A)聚合物成分>本专利技术的组合物包含以下聚合物作为聚合物成本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其含有：(A)包含满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物、以及下述(S)聚合物的聚合物成分，(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂，并且所述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000：式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)..(1)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.28 JP 2012-215770;2012.12.12 JP 2012-271021.一种感光性树脂组合物，其含有：包含满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物、以及下述聚合物S的聚合物成分A，(1)：包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元a1、以及具有交联性基的构成单元a2的聚合物，(2)：包括具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元a1的聚合物、以及包括具有交联性基的构成单元a2的聚合物，重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物S；光酸产生剂B；以及溶剂C，并且所述聚合物S的固体酸值为180mgKOH/g～250mgKOH/g，并且由式a所表示的值为50～2000：聚合物S的固体酸值×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的聚合物S的含有率··(a)聚合物S的固体酸值的单位为mgKOH/g，相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的聚合物S的含有率的单位为质量％。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中相对于所有固体成分，聚合物S的含量为0.5质量％～20.0质量％。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中聚合物S为包括下述构成单元A组群的...
【专利技术属性】
技术研发人员：山﨑健太，霜山达也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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