【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数控机床故障诊断与预测领域,具体的说是一种基于故障先兆判定模型和动态置信度匹配的数控机床故障预测方法。
技术介绍
多腔室晶圆加工设备是半导体制造中的一种常见的设备,通常由卡匣模块、晶圆搬运设备和多个晶圆加工腔室组成,是一种典型的集束式半导体制造设备。不同生产厂商的多腔室晶圆加工设备可能各有差异,使用的晶元搬运设备所支持的通信协议也各有不同。生产控制软件的定制性开发对工厂来讲一方面需要耗费大量的人力、物力和财力,另一方面延长了生产线快速投入使用的时间,这给设备制造厂商带来了麻烦。虽然各晶圆加工设备不尽相同,但具有共同的控制功能需求。根据这些共性需求开发出一种实现基础功能且能够进行二次开发的平台是设备厂商的共同要求,同时也是市场上没有达成通用化应用的一片空白。因此构建一种半导体制造多腔室晶圆加工设备传输控制系统并使其具备平台化特征显得尤为紧要。
技术实现思路
针对多腔室晶圆加工设备的物料传输系统通用性要求,本专利技术提出一种具有普遍适用性的物料传输控制系统解决策略,并提供一种具有可配置性和二次开发的接口的多腔室晶圆加工设备传输控制系统。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统,包括系统初始化模块,用于完成半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备和该传输控制系统在开启时刻的初始化工作;错误与异常处理模块,用于在该传输控制系统运行过程中发生错误和 ...
【技术保护点】
一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统,其特征在于,包括系统初始化模块,用于完成半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备和该传输控制系统在开启时刻的初始化工作;错误与异常处理模块,用于在该传输控制系统运行过程中发生错误和异常情况的处理;通信模块,用于该传输控制系统与半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备的信息交互;传输任务处理模块,接收通信模块收到的传输任务,并对所述传输任务的命令进行解析和合法性判定,将判定结果反馈给通信模块,再由通信模块反馈给半导体制造设备控制系统;传输任务调度模块,结合晶圆加工设备的当前情况依据与设备匹配的物料调度算法对任务的执行过程进行规划和调度,确定传输任务的执行方案;执行模块,用于所述传输任务的执行,即根据传输任务调度模块确定的执行方案与晶圆传输机械手、晶圆加工腔室互相配合完成物料的传输动作;物料跟踪模块,用于传输任务执行过程中晶圆的ID、状态、源地址、当前位置信息的更新存储;错误与异常处理模块,用于该传输控制系统运行过程中出现错误或异常情况时的处理,同时将错误或异常情况及相应处理情况反馈给通信模块,并由通信模块反馈给半导体制造设备控制系统。
【技术特征摘要】
1.一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统,其特征在于,包括
系统初始化模块,用于完成半导体制造设备控制系统、晶圆传输设备和该
传输控制系统在开启时刻的初始化工作;
错误与异常处理模块,用于在该传输控制系统运行过程中发生错误和异常
情况的处理;
通信模块,用于该传输控制系统与半导体制造设备控制系统、晶圆传输设
备的信息交互;
传输任务处理模块,接收通信模块收到的传输任务,并对所述传输任务的
命令进行解析和合法性判定,将判定结果反馈给通信模块,再由通信模块反馈
给半导体制造设备控制系统;
传输任务调度模块,结合晶圆加工设备的当前情况依据与设备匹配的物料
调度算法对任务的执行过程进行规划和调度,确定传输任务的执行方案;
执行模块,用于所述传输任务的执行,即根据传输任务调度模块确定的执
行方案与晶圆传输机械手、晶圆加工腔室互相配合完成物料的传输动作;
物料跟踪模块,用于传输任务执行过程中晶圆的ID、状态、源地址、当前
位置信息的更新存储;
错误与异常处理模块,用于该传输控制系统运行过程中出现错误或异常情
况时的处理,同时将错误或异常情况及相应处理情况反馈给通信模块,并由通
信模块反馈给半导体制造设备控制系统。
2.根据权利要求1所述的一种多腔室晶圆加工设备传输控制系统,其特征在于,
所述系统初始化模块根据系统运行的配置文件需求进行系统的IP、端口号和配置
信息的初始化,并根据与系统配套的文档进行文档的建立与打开的初始化。
3.根据权利要求1所述的一种多腔室晶圆加...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘明哲,徐皑冬,王亚楠,金妮,王晨曦,刘元锋,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳自动化研究所,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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