【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片加工的辅助设备,具体涉及一种在切割硅片过程中使用的线切割机用硅片收集装置。
技术介绍
硅片生产过程中,需要采用线切割机将硅棒切割成一片一片的,在对切割后的硅片进行收集,现有的收集装置,仅仅为一槽体,这样在对切割后的硅片进行收集时,会产生相互挤压、重叠,且拾取时极易导致硅片破损,增加生产成本,同时拾取也不方便,工作效率低。
技术实现思路
针对上述技术问题,本专利技术提供一种线切割机用硅片收集装置,其在对硅片进行收集时,可以有效防止硅片下落后挤压、重叠,且便于拾取。实现本专利技术的技术方案如下:线切割机用硅片收集装置,包括一槽体,所述槽体的一端敞开,在槽体内至少设有一移动存放机构,其包括设置在槽体的支撑体,以及通过支撑体支撑设置在槽体内的移动平台。所述支撑体设置在槽体内壁并由槽体内的一端延伸至另一端的支撑长块,所述移动平台设置在支撑体的上端面,支撑体对移动平台形成支撑状态。所述支撑体上开设有滚槽,滚槽内设有滚动体,所述移动平台下端面开设有供所述滚动体滚动的滚道,减小了移动平台与支撑体之间的摩擦,在抽动移动平台时,不费力气。所述支撑体上设有对滚动体进行保持的保持架,保持架能够将滚动体限位在支撑体上的滚槽内。所述移动平台上设有手拉处,便于抽取移动平台。所述槽体的敞开端设置有端盖,所述端盖活动连接在槽体上,所述端盖上设置有把手。采用了上述方案,在 ...
【技术保护点】
线切割机用硅片收集装置,包括一槽体,其特征在于:所述槽体的一端敞开,在槽体内至少设有一移动存放机构,其包括设置在槽体的支撑体,以及通过支撑体支撑设置在槽体内的移动平台。
【技术特征摘要】
1.线切割机用硅片收集装置,包括一槽体,其特征在于:所述槽体的一端
敞开,在槽体内至少设有一移动存放机构,其包括设置在槽体的支撑体,以及
通过支撑体支撑设置在槽体内的移动平台。
2.根据权利要求1所述的线切割机用硅片收集装置,其特征在于:所述支
撑体设置在槽体内壁并由槽体内的一端延伸至另一端的支撑长块,所述移动平
台设置在支撑体的上端面,支撑体对移动平台形成支撑状态。
3.根据权利要求1所述的线切割机用硅片收集装置,其特征在于:所述支
撑体上开设...
【专利技术属性】
技术研发人员:周建国,夏利荣,
申请(专利权)人:常州市立威刀具有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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