【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种纳米线的制造方法，其特征在于，包括：提供体硅衬底；在所述体硅衬底上形成支撑柱；利用外延工艺在所述支撑柱的侧边形成纳米线，所述纳米线的材料与所述支撑柱的材料不同；去除所述支撑柱，使得所述纳米线悬空。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋化龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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