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本发明提供了一种纳米线的制造方法，包括：提供体硅衬底；在所述体硅衬底上形成支撑柱；利用外延工艺在所述支撑柱的侧边形成纳米线，所述纳米线的材料与所述支撑柱的材料不同；去除所述支撑柱，使得所述纳米线悬空。在本发明提供的纳米线的制造方法中，所述纳...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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