本发明提出了产品标识制作方法、产品属性信息存储装置及产品标识制作装置，以提高产品标识制作效率。该方法包括：产品标识制作方从产品属性信息存储方获得待制作产品标识对应的产品属性信息；制作与所述获得的产品属性信息对应的产品标识。

本发明提出一种浅沟槽内绝缘材料高度的确定方法，包括下列步骤：提供绝缘材料高度不同的浅沟槽隔离结构；模拟绝缘材料在不同高度时，浅沟槽内绝缘材料对半导体衬底产生的机械压应力；当机械压应力为最小时，对应的浅沟槽内绝缘材料高度选定为最佳值。本发...

本发明提出一种增加热处理反应室利用率的方法，包括：在充满第一气体的热处理反应室中放入晶圆；抽出第一气体后，在反应室中通入第二气体。本发明提高了热处理反应室的利用率，增加了产能。

本发明公开了半导体器件制作方法及系统，以提高半导体器件的性能，尤其是稳定性。该方法包括：提供已在有源区上方形成栅极的半导体衬底；采用实时蒸汽产生制作工艺进行二次氧化，形成所述栅极的侧壁氧化层和有源区的电容氧化层；从所述侧壁氧化层及电容氧...

本发明揭露了一种牺牲氧化层的去除方法及相应的半导体存储器的制造方法，其先去除存储单元区的牺牲氧化层，完成氧化物－氮化物－氧化物（ＯＮＯ）结构的制作后，再去除周边电路区的牺牲氧化层，从而在预清洗过程中，利用相对较厚的底氧化层来减少周边电路...

本发明提供了半导体集成电路铜制程沟槽制作方法及系统，以提高制成的沟槽的质量，所述沟槽制作通常采取大马士革结构，且孔开口区位于沟槽开口区内，该方法包括：在连接孔的蚀刻后进行沟道蚀刻前表面填涂负光刻胶进行曝光，形成负光刻胶层；只是曝光用于制...

本发明提供镜头校验方法及系统，以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括：获得待检测ｄｉｅ的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Ｃａｎｅｒａ检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以...

本实用新型提供一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有害物质，所述排风装置包括：排风罩以及真空泵，所述排风罩罩设在所述反应腔上，所述真空泵与所述排风罩相连接。本实用新型提供的排风装置，在设备维护人员维护制程设备的反应腔时进行排风处理，可将...

本实用新型提供了一种探针卡支承板，所述探针卡支承板包括外环面和内环面，所述内环面上两侧设有开口，所述内环面分布有若干组孔，各组孔以所述内环面圆心为中心呈同心圆状排列，所述内环面开口处两侧连接有卡槽，所述卡槽与所述内环面以可拆卸方式连接，...

一种液压检测装置，所述液压检测装置通过充有被测液体的容器侧壁的开口与容器相连通以检测容器中被测液体在开口处的压强；所述液压检测装置包括压强计，还包括过滤器，所述过滤器具有一腔体，所述腔体具有两个开口；所述过滤器的腔体中充有缓冲液体；所述...

一种芯片转接板，包括：第一连接器，用于连接芯片转接板与测试板，该第一连接器具有若干引脚，其数目与排布方式与该测试板中用于插接芯片的插槽的数目与排布方式相配合；第二连接器，用于连接被测芯片与芯片转接板，该第二连接器具有若干插槽，其数目与排...

本实用新型提供树脂更换装置，以节约更换离子交换树脂床中树脂时需耗 费的人力资源，并避免更换树脂时树脂桶坠落等安全风险及将杂质带入离子交 换树脂床等污染风险；该装置包括：射流器、至少三个连接至射流器的导管、 树脂存储装置及提供树脂引入媒介...

本实用新型提供了一种轴承拆卸工具，它包括拆卸螺栓，横臂，以及至少 两组相互连接的可调支架和拆卸板；所述横臂的中心具有贯穿所述横壁的安装 孔，所述拆卸螺栓装配于所述安装孔内；所述横臂上以安装孔为中心，对称开 设有与可调支架对应数量的滑槽；...

本实用新型揭露了一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤，所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设...

本实用新型提出一种物质转移装置，包括翻转部和容纳部，所述翻转部的 一侧和所述容纳部相连，所述翻转部的另一侧具有弧状外边缘。本实用新型通 过提供一种倒容器装置，可以方便的将容器中的物质转移到另一个空容器中， 避免物质泄漏，提高工作效率。

本实用新型属于微电子装备领域，具体涉及一种水平炉管的炉门封闭装置。本实用新型所公开的水平炉管的炉门封闭装置包括：带有三个或三个以上支撑柱的炉门、与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置以及穿通于炉门的桨。通过调节支撑柱调节装置，炉管与水平炉...

本实用新型涉及一种自关闭阀门，包括阀体、阀进口、阀出口；所述阀进口的内腔一端为Ｖ字倒锥状，其锥底开有孔口连通阀体，另一端连接管道并设有一挡片；阀进口内腔还设有一位于挡片与Ｖ字倒锥端，可在两者之间自由滑动的防泄漏球，球径大于锥底的孔口孔径...

本实用新型提供一种探针台，包括：探针卡；载晶盘，用于承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移...

本实用新型涉及一种晶圆承放台，包括弧形的外框、设置在所述的外框上的向外框内侧突出且沿着外框延伸方向分布的多只支撑脚。采用分离的支撑脚替代传统的带状支撑座，可大大减小晶圆背面与承放台的接触面积。因为支撑脚的面积较小，所以支撑脚上落上灰尘颗...

本实用新型公开了一种灯管更换器，包括灯管夹持板，所述灯管夹持板分成相连接的夹持部和尾部，所述夹持部设有两个接线柱槽孔，所述两个接线柱槽孔通过一接线柱穿梭缝连接，所述接线柱穿梭缝径直延伸到夹持部的远离尾部的那一端端口。本实用新型灯管更换器...