一种MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置，包括：一第一气体入口；一第一气体出口；一第一直通阀门的一端与第一气体入口连通，该第一直通阀门的另一端与第一气体出口连通；一第一旁通阀门的一端与第一直通阀门的一端连接；一第二旁通阀门的一端...

本发明公开了一种双波长锑化物应变量子阱半导体激光器及其制备方法，该激光器由下至上依次包括n型电极、n型衬底、缓冲层、第一n型下限制层、第一下波导层、第一有源区、第一上波导层、第一p型上限制层、隧穿pn结、第二n型下限制层、第二下波导层、...

一种基于非对称相移光栅的窄线宽DFB半导体激光器，包括：一缓冲层；一下波导层，该下波导层制作在缓冲层上；一多量子阱有源层，该多量子阱有源层制作在下包层上；一光栅层，该光栅层制作在多量子阱有源层上；一上波导层，该上波导层制作在光栅层上；一...

本发明公开了一种雪崩光电探测器和提高雪崩光电探测器高频特征的方法，所述雪崩光电探测器用于探测目标探测光，并包括纵向依次排列的吸收层(8)、第一电荷层(61)、倍增层(5)、第二电荷层(62)和渡越层。吸收层(8)用于吸收目标探测光，将目...

本发明公开了一种改进p-GaN薄膜欧姆接触的材料结构及其制备方法，该材料结构包括：衬底(1)；生长在该衬底(1)上的缓冲层(2)；生长在该缓冲层(2)上的n-GaN薄膜层(3)；生长在该n-GaN薄膜层(3)上的p-GaN薄膜层(4)；...

一种在硅上集成HEMT器件的方法，包括以下步骤：步骤1：采用UHVCVD方法，在硅衬底上生长锗层；步骤2：将生长有锗层的硅衬底放入MOCVD反应室进行高温处理；步骤3：采用低压MOCVD的方法，在锗层上外延生长掺铁的半绝缘层；步骤4：在...

一种锑作为表面活性剂的InP基InAs量子阱材料的生长方法，包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在衬底上生长缓冲层；步骤3：在缓冲层上生长量子阱结构，该量子阱结构引入锑源作为表面活性剂；步骤4：在量子阱结构上生长盖层，完成量子阱的制...

本发明公开了一种集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，包括：清洗基片，在基片顶层上通过光刻、显影、刻蚀等步骤制作微纳平面波导型光学器件；在器件表面旋涂厚SU-8胶，通过对准曝光、后烘、显影等步骤得到SU-8胶微流通道；将PDM...

本发明公开了一种压差式光纤流量计，该压差式光纤流量计包括：安装于被测管道的导流管；安装于导流管上并且两端均与导流管联通的测量管，以测量流体的流量；安装于测量管内的测力膜片，以在导流管的两端的压力差下产生变形；安装于测力膜片的光纤光栅，以...

一种用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置，包括：一筒体；一水冷匀气板，该水冷匀气板制作在筒体内；一上盖板，该上盖板固定在筒体上，该上盖板与水冷匀气板之间形成一进气腔室；一气体隔离装置，该气体隔离装置固定在上盖板上，该气体隔离装置...

一种用于产生多波长多脉冲光纤激光信号的激光器，包括：多个锁模器件，用于产生脉冲信号；一合束组件，该合束组件的输入端分别连接多个锁模器件的输出端，合束组件将多个锁模器件连接入激光器光路中；一增益光纤，该增益光纤的输入端与合束组件的输出端连...

本发明公开了一种应用石墨烯作为导热层的倒装结构发光二极管，包括：衬底，该衬底上下表面均覆盖有绝缘层，绝缘层表面各有一层金属线层；LED芯片，该LED芯片由下至上依次包括外延衬底、成核层、电子注入层、发光层和空穴注入层，以及对空穴注入层、...

一种在Si基上制备InP基n-MOS器件的方法，包括以下步骤：在硅衬底上生长二氧化硅层；采用光刻和RIE方法在二氧化硅层上沿着硅衬底的方向刻蚀出多个沟槽；分别用piranha、SC2、HF和去离子水清洗，除去沟槽底部剩余的二氧化硅层，露...

本发明公开了一种高晶体质量超细砷化铟纳米线的生长方法，其包括以下步骤：步骤1：将去除表面氧化层的衬底放在分子束外延设备样品架上，所述分子束外延设备装有铟、砷和银源；步骤2：设定衬底温度为第一设定温度，待温度稳定后，打开银源挡板，以使得在...

本发明公开了一种片上超低功耗的无线收发装置，包括双工器、变增益射频前端、前置放大器、无源多相滤波器、自动增益放大器、比较放大器、数字处理器、缓冲器、除频器、频率综合器、变增益功率放大器、直接相位调制器和存储器；其中：双工器、变增益射频前...

本发明提供了一种制备石墨烯-金属纳米颗粒复合材料的方法。该方法包括：制备负载金属盐的聚苯乙烯-聚乙烯基吡啶PS-PVP胶束；将所述负载金属盐的PS-PVP胶束附着于具有催化剂的衬底上；以及将所述附着负载金属盐的PS-PVP胶束的衬底放入...

一种阵列式油包液滴结构的制备方法，包括如下步骤：步骤1：取一基片；步骤2：对该基片进行表面处理；步骤3：将基片置于3D打印平台；步骤4：利用3D打印平台上的多个喷头，对基片进行油滴和液滴交替的定量喷射打印，使基片的表面形成油包液滴阵列结...

一种采用压电材料制备的阵列微机电谐振器结构，包括：一激励平板谐振器；一输出平板谐振器；多个储能平板谐振器，其为菱形矩阵式叠置，其是通过边角直接互相接触连接，其中最上面的两个储能平板谐振器与激励平板谐振器通过边角直接接触连接，最下面的两个...

本发明提供了一种制备微纳米柱发光二极管的方法。该方法包括在发光二极管外延片上生长抗刻蚀层；在抗刻蚀层上制作微纳米尺度的周期结构图形掩模；采用物理刻蚀的方法，将周期结构图形掩模转移至抗刻蚀层和发光二极管外延片上，形成微纳米柱；在发光二极管...

本发明提供了一种制备微纳米柱发光二极管的方法。该方法包括：在发光二极管外延片上制作微纳米尺度的周期结构图形掩模；采用物理刻蚀的方式，将周期结构图形掩模转移至发光二极管外延片，形成微纳米柱；在发光二极管外延片上微纳米柱的间隙填充中间绝缘介...