先导薄膜材料广东有限公司专利技术

先导薄膜材料广东有限公司共有511项专利

  • 本发明公开了一种镍铬合金材料及其制备方法和应用,涉及合金材料领域
  • 本发明属于溅射靶材技术领域,公开了一种溅射用氧化亚铜靶材及其制备方法和应用
  • 本实用新型涉及铟金属提纯领域,特别是涉及一种阳极板模具,包括模架和固定在模架上部的模板,模板的中部设有与阳极板的外侧轮廓匹配的成型槽,成型槽中上下滑动匹配设有底板,模架的下部固定有伸缩驱动装置,伸缩驱动装置收缩以使底板向下滑动,能够使得...
  • 本实用新型涉及金属颗粒制备技术领域,公开了一种金属颗粒制备装置,包括安装底座、熔炼装置和接料桶,熔炼装置绕水平转轴转动装配在安装底座上,安装底座上还布置有驱动件;熔炼装置包括盛料模具和加热组件,盛料模具具有顶部开口的模腔,模腔的腔壁的材...
  • 本实用新型涉及过滤装置技术领域,公开了一种粉体筛分装置,包括进料装置和旋筛机,旋筛机包括第一旋筛机和若干个第二旋筛机,第一旋筛机的进料口与进料装置连通,各第二旋筛机沿粉体的流动方向顺次串联,并且沿粉体的流动方向位于上游的第二旋筛机的进料...
  • 本实用新型提供了一种贴合式阳极袋及滤纸包板结构,涉及阳极袋领域。贴合式阳极袋包括阳极袋主体和魔术贴封口结构,阳极袋主体为上部敞口结构,魔术贴封口结构设置于阳极袋主体的上部敞口处;阳极袋主体包括两个侧面、两个侧边和底边,两个侧面的形状均为...
  • 本发明涉及靶材生产技术领域,公开了一种氧化锌靶材的制备方法,该方法通过将粒径为1~3微米的小颗粒氧化锌与粒径为3~5微米的大颗粒氧化锌按1.5~4:1的质量比混合,得到混合后的氧化锌物料;再将混合后的氧化锌物料真空热压,得到热压毛坯;最...
  • 本发明属于靶材制备技术领域,公开了一种镍铂铈合金靶材及其制备方法,该制备方法包括如下步骤:步骤2:将液态铈
  • 本发明涉及靶材生产技术领域,公开了一种氧化铟锌蒸镀靶材的制备方法,该方法先将分散剂、粘结剂、氧化锌粉末、氧化铟粉末加入纯水中混合,得到混合浆料;再将混合浆料喷雾制粒,得到IZO粉末;随后将IZO粉末铺入石墨舟、一次烧结、过筛,得到一次烧...
  • 本申请涉及靶材生产技术领域,公开了一种铝铜钪合金靶材的制备方法,该方法先将铝源
  • 本发明属于半导体技术领域,公开了一种高氧空位浓度的氧化锌铝靶材的制备方法,在真空环境下,将氧化锌铝前驱体、钛粉置于同一环境中且相互不接触,按照梯度升温的方法烧结,得到氧化锌铝靶材;所述梯度升温的方法为:以0.5℃~1.5℃/min的速度...
  • 本实用新型涉及流延机技术领域,公开了提供了一种防基带翘曲装置及流延机,所述防基带翘曲装置包括底座、支撑梁、调节组件和压迫块;所述底座用于固定至流延机上;所述支撑梁固定于所述底座的上端并沿第一方向延伸;所述调节组件设于所述支撑梁上;所述压...
  • 本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法,属于靶材制备技术领域。本发明所述硅铝靶材的制备方法不同于现有技术,先将硅粉和铝粉进行特定预处理得到均匀的硅铝合金,随后再将硅铝合金破碎成粉末进行等离子喷涂最终得到硅铝靶材,该产品的不仅对设备的要求低...
  • 本发明属于高纯非金属靶材技术领域,公开了一种高纯硒靶坯、平面靶及高纯硒靶坯、平面靶制备方法;该高纯硒靶坯的制备方法包括如下步骤:将玻璃状的硒块在无氧状态下以10~15℃/min的升温速率升高到210~230℃后保温20~40min得到高...
  • 本发明属于半导体技术领域,公开了一种提高氧化锡掺杂靶材表面氧空位的方法,在真空、烧结温度为1300
  • 本申请属于靶材检测技术领域,公开了一种Ln系元素掺杂In
  • 本发明属于氧化物靶材制备技术领域,公开了一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材及其制备方法。所述制备方法为:按质量比为98.73~99.42:0.43~0.19:0.64~0.30:0.20~0.09称取氧化铟、氧化铈、氧化钽和氧化钛粉末,将氧化...
  • 本发明属于靶材制备技术领域,公开了一种氧化铝掺杂氧化钛镨靶材及其制备方法。所述氧化铝掺杂氧化钛镨靶材由以下质量百分含量的组分组成:氧化铝99.3%~99.8%,氧化钛0.5%~0.1%,氧化镨0.2%~0.1%。所述制备方法为:将氧化钛...
  • 本发明属于靶材制备技术领域,公开了一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法。所述制备方法为:将稀土金属氧化物粉末、氧化镓粉末、第一分散剂经湿法研磨,得到浆料一;加入氧化锡粉末、第二分散剂经湿法研磨,得到浆料二;加入氧化铟粉末、第三分散...
  • 本发明属于合金靶材制备技术领域,公开了高钪含量的铝钪合金靶坯的制备方法,包括以下步骤:(1)按照铝钪合金靶坯中设计的钪含量、铝含量称取金属钪和金属铝,并将金属钪和金属铝混合熔炼,得到合金熔液;(2)将合金熔液浇铸到模具内,然后冷却成型,...