本发明公开一种测量通孔硅形貌信息的装置，包括：一红外激光光源，用于提供一照明光束；一照明单元，用于调整该照明光束并照射至一待测通孔硅的刻蚀面或非刻蚀面；一成像探测单元，用于探测该照明光束照射至该待测通孔硅的正面或反面时所产生的衍射角谱信...

本发明公开一种半自动晶圆键合装置，包括：一键合腔，该键合腔中包括对称分布于该晶圆周向的抽真空口，用于减少并消除抽真空时的非对称气流扰动；一真空单元，用于排出该键合腔的空气，使该键合腔内部呈真空状态；一键合夹具，用于夹持该晶圆；一施压装置...

本发明提供了一种适用于浸没式光刻机的浸液系统，包括用于向光刻机浸没头内供给浸液的浸液供给系统，用于回收所述浸液的浸液回收系统，用于测量所述浸液的液压、流量、纯净度和温度的浸液测量系统，用于控制所述浸液的液压、流量、纯净度和温度的浸液控制...

本发明揭示了一种套刻误差测量装置及方法。所述套刻误差测量装置的光源系统提供宽波段的线形测量光束；测量光束入射到第一分光镜上分为两束测量光，一快门使得一束测量光通过，该束测量光入射第二分光镜上后反射；反射光通过显微物镜后每一点以不同的入射...

本发明公开一种大口径侧立镜组结构，其特征在于，包括：镜座、橡胶弹块、镜片、磁铁、限位块、铁圈；所述镜片通过所述橡胶弹块和所述铁圈固定在所述镜座内；所述镜片四周有多个限位块对所述镜片限位；所述橡胶弹块和所述磁铁构成柔性结构，对所述镜片进行...

本实用新型涉及一种硅片推顶机构，包括硅片承载单元、升降驱动单元及旋转驱动单元，所述硅片承载单元包括硅片承载板、推顶销、导向限位块、导向限位轴承及拉簧，导向限位块与硅片承载板固定连接，推顶销垂向活动穿设于硅片承载板和导向限位块之间，导向限...

本发明公开一种光子晶体工艺层的光刻拼接方法，其特征在于，包括：步骤一、定义一光子晶体结构图形特征，所述光子晶体结构图形特征为一距图形中心间距均为s，内圈为正六边形，外圈为正十二边形的图形结构，其中s大于两倍投影光刻机最小分辨率R；步骤二...

本实用新型公开了一种预对准机构和运动台装置，其中所述预对准机构包括：呈L型设置的2个基准定位单元和对应设置在每个所述基准定位单元对边的自适应夹紧单元；所述自适应夹紧单元包括：第一驱动装置和定位件，所述第一驱动装置包括：第一直线导轨、设置...

本发明公开了一种晶圆键合夹紧装置，包括承载台(110)、夹紧机构(120)、压头(130)、压盘(140)，所述压头(130)压接在所述压盘(140)的压接点设置于所述压盘(140)对应基片之外的区域；所述压盘(140)与所述承载台(1...

本发明提供一种晶圆键合方法，在晶圆对准定位时，在晶圆表面点涂有固态的隔离物，代替晶圆定位时使用的硬质固体隔离片。本发明通过使用可在键合时气化的固态的隔离物代替传统键合时的硬质固体隔离片，对晶圆之间进行隔离，在对准后先进行预键合，将固态的...

本发明公开了一种音圈电机，包括定子和动子，定子为沿Y轴方向平行分布的两个背铁和粘接在背铁相对一侧的第一磁钢，每块背铁上粘接至少两块间隔排列的第一磁钢，动子为平行设于背铁之间的若干线圈，每个线圈中部设有中空结构，中空结构内设有两块沿X轴方...

本发明通过动子部分对定子部分作相对运动，在曝光前基底交接时，动子部分向下运动，下气腔气压下降，使第一基底吸附腔内气压小于外界大气压使得基底吸附在交接装置上，直至第一泄压通道与外界联通，使腔内气压与外界相等，此时基底已被交接至吸盘上；在曝...

本发明公开了一种多自由度直线电机，包括定子和动子，所述定子包括两个背铁和与所述背铁粘接的若干磁铁阵列，所述动子包括设于所述两个背铁之间的若干线圈阵列，所述若干线圈阵列沿竖直方向排列，所述若干线圈阵列内通入的三相电流的初始相位不一致。通过...

本发明涉及一种表面3D检测装置及检测方法，该装置依次包括照明单元、偏振分束单元、多路光分束单元、多个相移板及探测器；照明单元产生的光束经偏振分束单元形成探测光束和参考光束；重合后的探测光束和参考光束分别经多路光分束单元分离为多路分支，每...

本发明公开了一种边缘曝光装置和方法，该装置包括：预对准部件，包括：旋转台，用于控制所述旋转台X向移动的X向运动机构、用于控制所述旋转台Y向移动的Y向运动机构和用于图像采集的检测装置；曝光部件，包括：曝光镜头和曝光控制器，所述曝光镜头位置...

本发明提供一种激光加热封装系统及方法，依次包括：激光器、光纤、扩束系统、可变狭缝装置、聚焦系统。本发明的激光加热封装方法，包括以下步骤，激光器发射激光束，经过所述光纤匀光后，进入所述扩束系统扩束；扩束后的光束形成光斑，通过所述可变狭缝装...

本发明涉及一种激光封装设备的垂向控制装置及方法，该装置包括大理石底座、基板台、轮廓仪、玻璃基板、龙门架、激光器及多个扫描振镜，基板台内安装有垂向运动执行器，驱动基板台沿垂向运动；龙门架通过龙门架导轨安装于大理石底座上，且龙门架能够在龙门...

本发明公开了一种光刻机减振框架，包括：内部框架，外部框架，包括第一外部框架、第二外部框架和第三外部框架，地基，用于支撑内部框架和外部框架；地基包括相互分离的第一地基、第二地基和第三地基；第一外部框架、第二外部框架和第三外部框架分别由第一...

本发明提供一种自动调焦的对准系统及对准方法，依次包括：光源、波长选择单元、照明镜组、照明调节单元、分束单元、成像物镜组、分光单元、参考标记面及参考标记、硅片以及对准标记、运动台，分光单元依次连接成像调节单元、成像镜组、探测器，探测器、成...

本发明提供了一种片盒存取设备及方法，所述片盒存取设备包括：第一支撑架，用于放置片盒；片盒进出口，设置存放或取出片盒的工作工位；缓存区，具有多个动态运行的工位，用于动态运输从所述片盒进出口处放置在缓存区中的片盒或者将缓存区的工位处的片盒动...