本实用新型公开了一种晶片清洗装置，该清洗装置包括：清洗臂组件，所述清洗臂组件包括清洗模组、移动模组、二流体模组，所述清洗模组能够对晶片做出擦拭动作，所述移动模组的移动部与所述清洗模组固定连接，用来控制所述清洗模组贴合或者离开所述晶片表面...

本实用新型公开了一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂；外轴，所述外轴中空，所述外轴的顶部与所述摆臂的第一端固定连接，所述外轴的底部与步进电机的转子驱动连接；内轴，所述内轴设置在所述外轴的内部，所述内轴的底部与驱动电机的转子驱动连接，所...

本实用新型公开了一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。本实用新型的有益效...

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘的送料过程中，包括安装架、承载结构、以及设于所述安装架上的翻转驱动机构和陶瓷盘输送机构；所述输送机构用以输送陶瓷盘于所述翻转驱动机构；所述承载结构安装于所述翻...

本发明属于半导体技术领域，尤其为一种升降与平移的气缸组合机构，包括升降气缸结构和移动气缸结构以及用以连接该升降气缸结构和该移动气缸结构的安装板，该升降气缸结构用以该安装板升降，以及使得放置在该安装板上的工件同步运动，该移动气缸结构在该安...

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘加持机构与陶瓷盘送料系统，用于陶瓷盘送料过程中，包括滑台模组、加持组件以及滑动块，所述滑动块安装于所述滑台模组，所述加持组件用于加持陶瓷盘并与所述滑动块直接或间接固定连接；利用滑台模组实现滑动块...

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统，用于晶圆送料的过程中，包括滑轨、滑块、升降驱动机构以及承载结构，所述承载结构与所述滑块直接或间接固定连接；所述升降驱动机构用于驱动所述滑块沿着所述滑轨的长度方向做...

本发明提供了一种陶瓷盘翻转运输装置，包括：支架、夹持部、取盘驱动机构、翻转驱动机构与推送机构，所述取盘驱动机构、所述翻转驱动机构与所述推送机构均直接或间接安装于所述支架，所述取盘驱动机构用于驱动所述夹持部夹持外部的陶瓷盘，并将所述陶瓷盘...

本发明涉及半导体技术领域，具体为一种陶瓷盘360度旋装置，用于陶瓷盘的清洗过程中，包括设有开口结构的容体、旋转驱动机构以及安装于所述容体内的承载机构，陶瓷盘设于所述承载机构上，所述承载机构与所述旋转驱动机构直接或间接连接；所述旋转驱动机...

本发明涉及一种陶瓷盘清洗用机械手机构及清洗系统，上滑轨固定板和下滑轨固定板分别固定，且相互平行，上滑轨固定板上设置上滑轨，下滑轨固定板上设置下滑轨，上滑轨和下滑轨分别通过卡槽与第一陶瓷盘夹持器，第二陶瓷盘夹持器，第三陶瓷盘夹持器，第四陶...

本发明提供的空气阻隔装置、晶圆上料设备与空气阻隔控制方法中，利用空气阻隔装置中的空气阻隔板，可以阻隔在晶圆上料设备的内部空间与晶圆处理槽区之间，从而避免晶圆处理槽区中对晶圆进行处理时产生的酸雾和酸气等异物进入到晶圆上料设备中，防止其中的...

本发明提供了一种空晶圆盒送出装置与晶圆上料系统，所述的装置，包括水平移动滑轨、水平移动滑块、水平移动驱动机构、升降机构、水平调整机构，以及承载结构；所述水平调整机构用于沿所述水平移动方向调整所述承载结构的位置，所述升降机构用于驱动所述水...

本发明提供了一种陶瓷盘托举机构，包括：卡槽结构、升降板、固定结构与升降驱动结构；所述升降板沿竖直向设置，所述卡槽结构连接于所述升降板的上端，所述卡槽结构用于利用卡槽嵌入陶瓷盘；所述升降驱动结构装配于所述固定结构，用于驱动所述升降板，以及...

本发明公开了一种圆形件的传送翻转载具，所述载具包括：框架；第一夹持机构，所述第一夹持机构铰接在所述框架上，所述第一夹持机构包括两组能够沿着y轴相向或者反向运动的滑臂，所述滑臂上设置有与所述圆形件轮廓相匹配的凹槽；第一气缸，所述第一气缸的...

本发明提供一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统，包括无杆气缸和安装在所述无杆气缸的两端用以固定所述无杆气缸的固定调节架A和固定调节架B，所述无杆气缸的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板，所述辅助铝板上安装有晶圆盒，且所述辅助铝板的底面安装...

本发明提供的晶圆上料设备与晶圆处理系统，能够利用晶圆盒移入机构能够实现载货晶圆盒的接入，还能够利用横移机构与内部移动机构的转移输送将载货晶圆盒送入分离机构，进而使得分离机构分离晶圆与晶圆盒，也能够利用空盒移动机构与空盒移出机构将分离后得...

本发明提供了一种晶圆框架盒水平移动装置与晶圆上料系统，用于晶圆框架盒上料的过程中，包括滑轨、滑块、水平运动驱动机构、升降机构，以及承载结构，所述承载结构安装于升降机构，所述滑块与所述升降机构直接或间接固定连接；所述升降机构用于驱动对应的...

本发明涉及一种十二寸与八寸兼容炉管清洗槽机构及炉管清洗槽设备，支架上部设置主动轮，主动轮上的第一齿轮啮合从动轮的第二齿轮，从动轮的第三齿轮两侧分别啮合第一传动轴的第四齿轮，从动轮驱动八寸炉管；第一传动轴的第五齿轮啮合第二传动轴的第六齿轮...

本发明涉及一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备，支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支...

本发明公开了一种芯片卡匣及晶圆清洗设备，所述卡匣包括：主体，所述主体具有容置腔，所述容置腔内侧壁上具备相互平行的多个容置缝隙，所述主体上设置有一个与所述容置腔相连通的进出口，所述主体上设置有弧形槽；以及拦阻结构，所述拦阻结构包括一端铰接...