本实用新型涉及一种介质熔炼炉，具体涉及一种便于更换石墨坩埚的介质熔炼炉，包括石墨坩埚，石墨坩埚外壁及底部包裹有炉衬，炉衬的外壁包裹有耐火胶泥，其特征在于石墨坩埚和炉衬之间填充有石棉布，炉体底部与石墨坩埚底部连通有千斤顶。本实用新型的有益...

本发明属于电子束熔炼技术领域，特别涉及一种电子束熔炼的温度场模拟方法及其设备，以液态流体作为模拟介质，对液态流体进行加热，并且对液态流体进行冷却水循环冷却，以加热功率和冷却水流量作为变量参数，当两个变量参数同时改变或单独改变时，对液态流...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束连续熔炼去除多晶硅中氧杂质的装置，本实用新型中，打破了传统的除氧模式，而是采用电子束熔炼进行除氧，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题。翻转机构和装载坩埚的加入，保证了电子书熔炼除氧的半连续化生...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的装置，本实用新型打破了传统的除氧模式，首先在中频感应装置中进行待除氧硅料熔化，能够有效降低熔化所需能耗，借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的装置，打破了传统的电子束熔炼模式，不在熔炼坩埚内进行电子束熔炼，而是借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼除氧...

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅提纯的氮化硅涂层回收方法，使用过后的氮化硅涂层主要含有氮化硅、二氧化硅和少量杂质元素，首先利用离心机分离，去除大部分密度较小二氧化硅部分，再利用硝酸和氢氟酸的混合液可以将剩余的二氧化硅和...

本实用新型属于多晶硅定向凝固领域，具体涉及一种分瓣式石墨护板。包括石墨底托和石墨护板，石墨底托上表面开设有凹槽，石墨护板位于凹槽内，石墨护板沿圆周方向等分成石墨片，相邻石墨片间有缝隙，缝隙处设置有防溢流棒。本实用新型将之前整体式的坩埚壁...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种介质熔炼与初步定向凝固衔接提纯多晶硅的装置。炉体内的石墨坩埚侧壁外依次安装有炉衬和感应线圈，在石墨坩埚底部安装有水冷拉锭机构，且石墨坩埚和水冷拉锭机构都在炉衬包绕内，石墨坩埚顶部安装有与石墨坩埚...

本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种电子束熔炼除氧与长晶技术耦合制备多晶硅的装置。包括炉体顶部通连安装有电子枪，侧部上端开有充气阀，下端开有放气阀，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕有石墨加热器和石墨碳毡，石墨碳毡顶部...

本实用新型属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的设备，该设备包括电子束熔炼组件和连续铸锭组件，包括水冷的熔炼坩埚和该熔炼坩埚一侧设有的水冷传输带，熔炼坩埚顶部炉体上固定安装有熔炼用电子枪，水冷传输带顶部炉体上固定...

本实用新型属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备，该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，电子束熔炼组件包括安装于炉体内上部的水冷传输带，该水冷传输带一侧的炉体壁上设置有加料装置，该加料装置的出料口位于水冷传...

本实用新型涉及一种应用于硅熔炼装置，具体涉及一种应用于硅熔炼的双感应线圈熔炼装置，包括坩埚，其特征在于坩埚外壁环绕有中频感应线圈，坩埚上方设置有电流方向为竖直环绕的工频感应线圈。本实用新型所具有的有益效果是：增设的工频感应线圈能够大大增...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于电子束熔炼多晶硅的水冷铜坩埚，包括埚体和底座，埚体底部通过连接件与底座固定连接，埚体与底座之间沿埚体外壁形成空腔，其特征在于底座中心部位与空腔通连形成进水口，空腔上端两侧与埚体通连形成出水...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅定向凝固提纯的石墨护板，包括坩埚底护板和坩埚壁护板，坩埚底护板上表面开设有圆形凹槽，坩埚壁护板位于圆形凹槽内，其特征在于坩埚壁护板沿圆周方向等分成石墨片，相邻石墨片间有缝隙。本实用新...

本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置，本发明中打破了传统的除氧模式，首先在中频感应装置中进行待除氧硅料熔化，能够有效降低熔化所需能耗，借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面...

本发明属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备，该方法首先将炉体和电子枪抽真空，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，最后通过水冷传输带引导...

本发明属于介质熔炼领域，具体涉及一种利用混渣的介质熔炼工艺。介质熔炼包括2～3次造渣熔炼，其步骤包括将渣剂与硅料按比例混合后放入熔炼炉内，调整功率分次进行造渣熔炼，介质熔炼结束后，把渣剂倒出，将硅液倒入耐热铸铁模具中冷却后取出，在每次造...

本发明属于多晶硅铸锭领域，具体涉及一种可减少多晶硅铸锭中细晶产生的铸锭工艺，主要在长晶过程中按照以下工艺进行：保温结束后降温至开始长晶温度，此过程中调节P1：P2=2:1；在长晶过程中，调节P1：P2=3:1。本发明的优点在于：（1）通...

本实用新型涉及定向凝固领域，具体涉及一种定向凝固设备，其炉体外设置有氩气罐，氩气罐的出气口上安装有充气阀，充气阀的出气口处通过水冷轴内的通气管道伸入到水冷盘中心处，通气管道的出气口端位于石英坩埚底部，固定在炉体上的排气筒伸入到保温套筒内...

本实用新型属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种应用于多晶硅定向凝固提纯的组合式坩埚，其特征在于包括石英坩埚壁和石墨坩埚底，石英坩埚壁的下端与石墨坩埚底相互拼接，拼接方式为石墨坩埚底沿石英坩埚壁下边沿相对应位置处开设有限位凹槽，石英坩埚壁下端...